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多孔硅微机械技术的薄膜量热传感器结构研究 总被引:1,自引:0,他引:1
多孔硅的形成和刻蚀技术是一项新型的表面微机械加工技术,我们以多孔硅为牺牲层,利用多孔硅的选择性生长机理,以及利用在高阻衬底上横向形成速率大于纵向形成速率的特点,得到了距衬底很深的微桥、微梁、微沟道等微结构,并设计研制了一种绝热式量热传感器。 相似文献
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自然地理背景是一个城市得以发展的基础.基于城市发展所必需的自然地理要素,构建了城市发展的自然地理背景评价体系.利用均方差决策法,从自然地理背景角度,对山东省17个城市2006年的相关统计数据进行了分析,结果表明山东省各城市发展中受自然地理背景因素影响的程度不同;沿海城市明显表现出在自然地理区位条件要素上的优势;自然环境状况在推动城市发展中占据较为重要的地位,但城市间差异不大;城市发展既依靠自然资源,一定程度上又受其在环境污染方面的影响;人居环境状况在现代城市发展中发挥着极为重要的作用. 相似文献
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获得准确的电机参数是实现异步电机矢量控制、直接转矩控制、逆解耦控制等高性能控制策略的关键,尤其定子电阻误差对定子磁链观测精度有直接的影响.本文分析了传统基于变频器的异步电机定子电阻参数辨识存在问题,并提出了一种既可以消除电力开关器件通态压降影响又解决高频谐波干扰问题的定子电阻辨识方法.设计了跟踪-微分器从高频干扰电流信号中提取直流电流.搭建了仿真测试平台,测试了多组实验数据,构造数据矩阵,并采用最小二乘法估计待辨识的定子电阻,仿真结果验证了该方法具有很强的抗干扰能力及高的辨识精度. 相似文献
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