低温反应射频溅射生长AIN膜

本文报导了用不加正交磁场的低温反应射频溅射生长C轴择优取向AIN多晶膜的方法,用该法在多种基片(特别是在镀铝玻璃片)上制得了择优取向的AIN多晶膜.文中还报导了用XRD与电镜测试AIN多晶膜的结果.初步分析了取向度和粒度大小与工艺条件的关系.     

激光探针测量层状结构的声表面波速度

本文改进了激光探针测速系统中的测角方法,提高了测量精度.通过实测值与理论计算值比较,分析了ZnO膜/玻璃层状结构中膜层质量对速度的影响.