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接近式光刻中一般采用柯勒照明系统,并采用蝇眼透镜形成多点光源均匀掩模面的光场分布.利用基尔霍夫衍射理论及多点光源的衍射光场非相干叠加方法,对光刻胶表面的衍射光场进行了快速计算机模拟,并与霍普金斯理论计算结果进行了分析比较.结果表明采用基尔霍夫衍射理论及多点光源的衍射光场非相干叠加的模型不仅快速而且也可以比较准确地模拟接近式光刻的衍射光场分布. 相似文献
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张自军 《太原师范学院学报(自然科学版)》2005,4(1):44-47
文章介绍了利用计算机和VB语言进行的温度继电器自动测试系统的硬件结构和软件程序的实现方法． 相似文献
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在不改变自动分输控制系统原系统结构的情况下,设计了一种基于模糊控制原理的自适应PID控制器,根据偏差和偏差变化率来实时调整参数KP,KI和KD,实现了小流量下的平稳分输任务.在天然气分输系统业务中取得了较好的分输控制效果,并给出了控制优化设计和软硬件改造方案.现场运行表明,这种模糊自适应PID控制器比常规PID控制器有更好的控制效果,改善了系统的动态响应性能和稳态性能,对改善和优化工业控制系统动态行为有现实意义和参考价值. 相似文献
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