Pyrex玻璃金属化凹坑的湿法腐蚀

为在Pyrex玻璃基片上湿法腐蚀出易于金属化（如电镀等）的深凹坑（或凹槽）,选用HF：HNO3：H2O为腐蚀液,分别以Cr/Au（30nm/300nm,溅射）加光刻胶（15μm）和Cr/Pt（30nm/300nm,溅射）加光刻胶（15μm）作为掩膜进行腐蚀实验。实验发现在Cr/Pt/光刻胶掩膜下,Pyrex玻璃的腐蚀凹坑横向钻蚀小（钻深比1.34：1）,侧壁倾斜光滑,并在凹坑（深约28μm）内成功地电镀了焊盘。该实验结果对要求高深宽比沟槽的微流体器件的制造也有一定参考意义。     

磁悬浮转子微陀螺悬浮线圈的结构设计

在磁悬浮转子微陀螺(MGELR)中,悬浮线圈是定子线圈的重要组成部分,它产生的电磁力将微转子浮起．基于多圈螺旋型悬浮线圈新型结构能产生较大的悬浮力,应用有限元方法对其进行建模仿真,研究了线圈的圈数、厚度和内径对悬浮力的影响规律．结果表明：随着悬浮线圈的圈数增多,悬浮力增大且幅度增加;线圈厚度增加,悬浮力减小;随着悬浮线圈内径增加,悬浮力呈线性增加．采用了光刻、电镀、溅射等微细加工工艺制造了MGELR的定子．初步的实验结果验证了该设计方案是可行的．     

反干涉齿轮集微机电系统密码锁鉴码问题

反干涉齿轮集微机电系统密码锁是一种用于要害系统的机电一体化装置,通过访问意图密码与锁体内部固化的机械授权密码比对鉴别实现安全保证.研究了三相四对极轴向磁场微电机的步进控制逻辑,建立了鉴码系统的动力学模型,分析了系统的模态和不同摩擦参数下的动力学响应.分析表明,密码锁实现鉴码功能不仅要考虑驱动器的电气控制,还要考虑鉴码轴系的动态特性.通过控制棘轮棘爪处的摩擦力矩可有效提高微机电系统密码锁的鉴码性能.     

柔性微热剪切应力传感器阵列 

设计了一种基于微机电系统的、制备在柔性聚酰亚胺衬底上的双热线结构微型热剪切应力传感器阵列,可用于复杂形状物体表面所受剪切应力的矢量化测量.基于传感器的原理,用Comsol软件对传感器进行了温度场和流场的仿真,说明了传感器制作工艺流程,用硅橡胶与聚酰亚胺在酒精中浸泡后易于剥离的特点实现柔性传感器脱膜.对传感器实物进行了温度电阻系数和响应频率的测试.实验结果表明,设计的工艺路线简单,结构参数合理,可以实现所需柔性传感器阵列.
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