半导体制造技术教学方法探讨

《半导体制造技术》主要讲述半导体集成电路的制造全过程。该课程专业性强,涉及到的专业知识面广,但是课时数少,笔者根据教学经验,从课堂教学手段,实践教学等方面提出了一些方法与措施,在解决课时数少和知识点多的同时,激发学生兴趣以及积极性,培养学生系统的思维方法。     

氩对四针状氧化锌场发射性能的影响

氧化锌是一种宽带半导体材料,由于其具有负电子亲和势,高的机械强度和良好的化学稳定性等特性,也被认为是一种很有发展潜力的场发射阴极材料。但是由于阴极材料在纳米量级,纳米材料的一些效应使其对工作的环境气体非常敏感。氩是采用薄膜型吸气剂的电真空器件中常见的残余气体成份。采用充气实验法研究了氩对氧化锌场发射的影响,得出其对氧化锌的场发射电流具有增强作用。由于氩的引入在一定程度上对系统起到了清洗的作用,系统内对氧化锌具有衰减作用的气体减少从而使得氧化锌发射电流在相同外加电压下增加。