具有2-空间缓冲模块的多组合设备的优化调度

随着半导体晶圆生产加工变得越来越复杂,多组合设备也越来越频繁的被采用.多组合设备的调度关键在于怎么协调好相邻机械手的操作.针对拥有2-空间缓冲模块的单臂多组合设备,同时它的瓶颈设备被假设为处于加工-边界,首先运用面向资源的Petri Net对系统进行建模,然后在分析系统调度特性的基础上提出了此多组合设备的周期时间一定可以达到下界,并给出了有效的调度算法.最后,用实例证明了该调度方法的可操作性.     

对象监控的协同入侵检测

 分析现有入侵检测技术存在的问题,主要在于数据的获取及检测方法上。据此,提出了一种解决这些问题的新途径,就是紧紧抓住入侵检测的本质问题,从对象分类入手,给出了一个协同入侵检测模型,描述了该模型的各个部件。设计了入侵事件检测代理及融合中心,重点阐述了如何应用场景与自动机技术,将检测一个入侵的方法扩展到检测一类入侵的问题,对可序列化的攻击,文章提出的检测方法能检测其变种攻击。实验检验了方法的有效性。     

基于eM-Plant的参数化虚拟组合设备

由于大直径晶圆的加工具有严格的逗留时间约束和时间波动, 使得组合设备的调度及其可行性的验证存在很大的困难, 而仿真是一个有效的方法. 如果组合设备的调度存在可行性, 那么, 通过仿真能够找到系统的可行调度. 利用eM-Plant建立了虚拟的单臂组合设备, 该系统是可重配置的. 不同类型的晶圆加工具有不同的晶圆流模式和加工时间, 该虚拟组合设备能够模拟不同的晶圆加工, 而参数化的虚拟组合设备实现了可重用性. 为了实现可视化, 建立了三维模型的虚拟组合设备. 对于操作组合设备的工程人员来说, 该系统是直观和有效的. 最后,通过例子验证了虚拟组合设备是可行的.     

晶圆制造中单臂Cluster tool的建模与仿真

对于单臂的Clustertool,由于晶圆驻留时间的约束和作业时间的波动性,还没有解析的方法能够验证其调度的可行性和有效的调度方法.介绍了晶圆制造过程并基于Petri网模型,利用eM-Plant仿真平台建立了相应的晶圆制造的仿真模型.通过实例说明仿真模型能够虚拟单臂的Clustertool、准确地仿真单臂的Clustertool的晶圆制造模式;晶圆制造的仿真模型为研究其调度可行性分析和控制器设计提供了一种有效的手段.     

基于Petri网的原油处理生产作业计划油罐动态分配分析

石化炼油企业采用递阶方法进行调度,以使短期调度方法在生产运作中切实可行.在上层,企业根据市场需求产生一个目标炼油计划.在下层,企业得到一个详细调度以实现目标炼油计划.在这个过程中,如何动态分配油罐将起到至关重要的作用,同时也是生产运作中的难题.为了解决这个难题,建立Petri网模型描述原油处理生产过程的行为特征.基于该模型,分析了油罐分配对目标炼油计划可实现性的影响,鉴别出那些使系统进入不可行状态的操作,并对其进行调整.这样,通过避免这样的不可行操作而提出一种实现目标炼油计划的油罐动态分配方法.最后,用一个工业实例验证了提出的方法的应用.     

运送任务合并下专用道设置问题的建模与求解

在大城市举办大型运动会，其拥挤的交通很可能无法满足赛事的运送要求. 设置专用车道是最常用的解决方法. 然而，对举办城市来说，设置专用车道对交通的影响是非常明显的. 因此，研究怎样设置专用道是非常必要的. 以往研究只考虑专用道设置的影响最小，若还考虑尽量减少运输车辆，则构成了一个新的问题. 通过事先评估的方法，可以将某些运送任务合并，从而减少运输车辆，降低运行费用. 对由此提出的新问题，建立了其线性整数规划模型. 该模型在交通网络、任务路径约束、专用道设置约束与措施等均与已有模型不同. 该问题被证明是属于NP-hard，在问题规模不是太大的情况下，它可用精确算法进行求解. 以广州亚运会为例，通过数学规划软件Lingo求解的结果验证了模型是正确有效的，且更符合实际需求.     

改进遗传算法在虚拟企业伙伴选择与优化中的应用

对虚拟企业构建中在满足产品交货期约束下,以成本最低为目标的合作伙伴选择与优化问题进行了描述,给出了数学模型.为提高遗传算法搜索性能,同时满足产品交货期约束,提出了一种改进的遗传算法———染色体过滤法,即以高适应度可行染色体取代不可行染色体(不能满足交货期约束),通过案例分析验证了方法的有效性.     

半导体制造中具有非重入过程的自动组合装置的性能分析

将面向资源的着色、赋时Petri网(coloredtimedresource orientedPetrinet,CTROPN)用于半导体制造业中自动组合装置的建模.CTROPN具有较强的建模能力,能够准确描述自动组合装置的加工过程.借助该模型,对非重入加工过程的初始特性、稳态特性和结束特性进行详细的分析.     

半导体制造中多组合设备的Petri网建模及死锁分析

在半导体晶圆加工中必须保证组合设备运行时不存在死锁,为此,建立了多组合设备的模型并研究了无死锁运行问题.首先介绍了多组合设备的结构特征,用面向资源Petri网对它的结构建模;然后,在模型中引入了着色令牌和受控变迁,能很好地描述多组合设备加工晶圆的过程.此模型结构紧凑简洁,能分析加工过程中的稳态、初始暂态和趋停暂态阶段;同时分析了初始暂态阶段如何过渡到稳态阶段.最后,分析了模型的活性等动态行为,提出了避免死锁的控制策略.结果表明如果应用控制策略,多组合设备系统能无死锁运行,有助于对多组合设备进行调度.     

基于混合系统控制的炼油过程短期生产计划优化

面对激烈的全球市场竞争和原油价格的不断上升，提高炼油企业的生产效率、降低成本和消耗是炼油企业的迫切需要。炼油过程短期生产计划优化是提高企业效益、降低成本和消耗的有效途径之一。文章介绍了炼油过程的短期生产计划优化问题，分析了问题求解的复杂性，以及研究和应用现状。指出了现有的基于混合整数规划的方法的局限性，无法解决从理论上解决方法上的问题，更无法在实际中得到应用。在项国家和广东省自然科学基金项目的资助下，我们创造性地提出了新的方法。基于新的方法可以解决所提出的问题，并且已经取得了重大的进展。沿着新的方法，通过进一步的研究，有望获得有效的算法，从而开发出能在实际中应用的软件工具。