| 半导体制造中多组合设备的Petri网建模及死锁分析 |
| |
| 引用本文： | 朱清华,伍乃骐,滕少华.半导体制造中多组合设备的Petri网建模及死锁分析[J].东南大学学报(自然科学版),2010,40(Z2). |
| |
| 作者姓名： | 朱清华 伍乃骐 滕少华 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，高等学校博士学科点专项科研基金，广东工业大学青年基金 |
| |
| 摘 要： | 在半导体晶圆加工中必须保证组合设备运行时不存在死锁,为此,建立了多组合设备的模型并研究了无死锁运行问题.首先介绍了多组合设备的结构特征,用面向资源Petri网对它的结构建模;然后,在模型中引入了着色令牌和受控变迁,能很好地描述多组合设备加工晶圆的过程.此模型结构紧凑简洁,能分析加工过程中的稳态、初始暂态和趋停暂态阶段;同时分析了初始暂态阶段如何过渡到稳态阶段.最后,分析了模型的活性等动态行为,提出了避免死锁的控制策略.结果表明如果应用控制策略,多组合设备系统能无死锁运行,有助于对多组合设备进行调度.
|
| 关 键 词： | 多组合设备 晶圆加工 建模 Petri网 死锁控制 |
Petri net modeling and deadlock analysis of multicluster tools in semiconductor manufacturing |
| |
| Zhu Qinghua,Wu Naiqi,Teng Shaohua.Petri net modeling and deadlock analysis of multicluster tools in semiconductor manufacturing[J].Journal of Southeast University(Natural Science Edition),2010,40(Z2). |
| |
| Authors: | Zhu Qinghua Wu Naiqi Teng Shaohua |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
