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采用直流金属磁过滤阴极真空弧(FCVA)制造出Ti和乙炔(C2H2)气体的双等离子体在单晶硅(100)上制备非晶态碳膜.重点研究了乙炔气体和过滤线圈电流对非晶态碳膜的结构、形貌和机械性能的影响.研究结果表明,薄膜中主要成分是TiC,并以(111)作为主晶向;随着过滤线圈电流的增大,薄膜的晶粒度越来越小;薄膜表面的粗糙度逐渐减小,变得更加平整;薄膜的应力减小,可以下降到2.5 GPa.薄膜的显微硬度和弹性模量随着C2H2体积流qV(C2H2)的增大而降低,硬度和弹性模量分别可以达到33.9 GPa和237.6 GPa.非晶态碳膜的摩擦因数在0.1~0.25之间,大大低于衬底材料单晶硅片的摩擦因数0.6.随着过滤线圈电流增大,摩擦因数减小. 相似文献
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研究基于同步辐射的紫外-真空紫外光谱辐射测量装置. 通过切换前置镜位置来完成同步辐射光源和传递标准光源的测量. 讨论了辐射计偏振特性对测量结果的影响. 根据Schwinger提出的理论公式,利用同步辐射作为基准辐射源,在115~350nm的波长范围测量了作为传递标准的氘灯的光谱辐射亮度,测量不确定度为11%~14%. 相似文献
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SnAgCu合金粉末的真空蒸镀涂层机理 总被引:4,自引:0,他引:4
对SnAgCu合金粉末的真空蒸镀涂层硬脂酸的成膜机理进行了研究.采用扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)对涂覆后合金粉末的形貌及结构进行观测,采用傅里叶红外光谱仪(FTIR)和X射线光电子能谱仪(XPS)对涂覆后粉末的透射吸收谱和光电子能量进行测试.结果表明:硬脂酸在合金粉末表面形成一层均匀致密、厚度为5~10 nm的薄膜,硬脂酸涂层SnAgCu合金粉末的行为属于物理吸附行为,其生长方式遵循岛状生长机理模式,其过程实质是一个气--固转换、晶体生长的过程. 相似文献
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美磁悬浮科学家建议打造"太空列车",利用磁悬浮原理最高时速可达2万英里,"太空列车"将像高速炮弹一样被射向地球轨道——据美国媒体、英国《每日邮报》报道,遨游太空是许多人的梦想,然而高达数千万美元的"太空门票"使得太空旅游只能是富人们的烧钱游戏。 相似文献
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在传统压浆施工工艺的基础上,结合现场施工情况,根据真空辅助压浆原理及相关技术要求,通过对原材料、配合比及施工工艺的比选,在箱梁压浆过程中对水泥浆及压力的控制提出了相应的技术措施,并对施工中的常见问题提出了预防处理措施。 相似文献