高精度压印机热误差补偿中温度变量的辨识

为了提高压印机在压印光刻工艺中的套刻对准精度，提出了采用因子分析方法来选取压印机热误差模型中的温度变量，根据变量之间的相关性分组后，再根据各变量与热误差之间的相关性在每一组中选取一个代表变量，最终将压印机上布置的温度传感器从15个减少到3个．在压印机温度测量关键点处建立了温度与模具在x、z方向热误差关系的数学模型，模型的热误差预测精度达到了98％以上．实验结果表明，该方法不仅保证了模型的精度，而且大大地减少了模型的计算时间，是一种在压印机热误差建模中选择温度测量关键点的有效方法．它不仅避免了热误差建模过程中的变量耦合问题，而且提高了模型的精确性，经过补偿，压印机的热误差在x、z方向都减小到200nm以内．     

云计算环境下排序算法的性能分析

随着云计算环境中数据量的激增,人们急需研究在云环境下如何对大量数据进行快速有效的分析与处理。在云环境下对大量数据进行高效地排序是其中一个重要问题。基于Hadoop平台研究并实现了几种高效的排序算法,包括：Radix sort,Quicksort和Sample sort算法。对各个排序算法的执行效率、CPU资源的消耗,内存的消耗,以及处理机间的通信量进行了研究和比较分析。通过大量运行在Hadoop上的实验,发现Hadoop平台上的Sample sort相较于Radix sort和Quicksort具有排序速度快,负载均衡度高,CPU消耗低等优势。这一结果为云计算环境下设计更高效、节能的算法提供了有效的依据和基础。     

软紫外光压印光刻的模具制造研究

在软紫外光压印光刻中,提出以光刻胶为母版材料翻制聚二甲基硅氧烷软模具的工艺方法,并把图型母版材料对软模具制造过程的影响进行了实验研究.研究表明,软模具图型质量仅和浇铸过程的充型压力有关,在0.05 Pa的真空压力下充型,光刻胶母版图型强度足够抵抗充型压力,所翻制的软模具复型精度为(97.24±0.60)%,复型精度方差为0.376%,在翻制软模具50次后,光刻胶母版图型无明显扭曲变形和缺损、污物.因此,采用光刻胶作为母版图型材料,不仅可以满足工艺精度的要求,而且可以提高生产率、降低生产成本.     

基于STL模型几何特征分类的快速分层处理算法研究

在分析了影响ＳＴＬ模型分层处理速度因素的基础上,提出了基于ＳＴＬ模型几何特征分类的加快分层处理速度的算法,进一步提出了自适应分类算法和轮廓快速生成算法,并由此戈了快速分层软件、大量实际应用结果表明,该算法高效、稳定、可靠。     

基于模糊层次分析方法(F-AHP)的盟员优化选择算法

为了解决敏捷制造（ＡＭ）中组织动态联盟时的盟员选择问题,提出了一种基于模糊层次分析方法（ＦｕｚｙＡｎａｌｙｔｉｃＨｉｅｒａｒｃｈｙＰｒｏｃｅｓ,缩写为Ｆ－ＡＨＰ）的盟员选择算法．首先根据ＡＨＰ方法确定模糊评价矩阵和权重矢量,再通过模糊运算求出决策矢量,最终实现对侯选盟员的排序和盟员选择．