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对准误差是MEMS表面加工工艺中的一个重要参数,对它的测量和控制有着重要的意义。目前大多采用光机械的方法来测量,但是测试方法复杂、测试时间长。主要对MEMS表面加工工艺中导电层和非导电层之间的对准误差测试结构进行了研究,可用于测量表面工艺中牺牲层和多晶硅层之间的对准误差。通过对集成电路中所用的锥形梳状游标结构进行改进,把对准误差的测量转化为电阻的测量,从而实现对准误差的快速电测量,理论上可达到0.1μm的分辨率,测试方法简单快捷,并且很便于测试系统集成。 相似文献
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网络安全协同防卫系统研究与实现 总被引:1,自引:1,他引:0
为了解决防卫体系中各安全模块缺乏协同控制以及不能有效发挥整体效应的问题,提出了一种基于代理的协同控制框架.将各个安全模块关联起来,以实现相互通信和协同工作.在此基础上,构建了包括预警定位、协同安全审计及态势评估、协同事故恢复、网络伪装等功能的网络安全协同防卫系统(NSCDS).以基于机器学习的系统调用序列审计模型为例,对关键技术模块进行了分析和验证,结果表明NSCDS软件在百兆级带宽下,安全审计预警漏报率小于6%,误报率小于8%,各功能模块工作稳定且配合正常,充分显示出系统的综合优势,实现了网络安全多层次、全方位的协同防卫目标. 相似文献
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采用流动注射分析(FIA)可以快速检测废水中的梯恩梯(TNT)。本文设计了应用碳糊作电极的简易喷壁安培检测池,组装了流动注射分析装置,选择pH=9.5伯瑞坦-罗宾森(Britton-Robinson)缓冲液作为载体,载体流速3.9ml/min,用N_2除O_2;电位-0.60V(SCE),进样体积100μl,连接管长50cm。在所选定的上述条件下,TNT在0.1-70mg/1之间有良好的线性关系,样品回收率在94.4-102.7%之间;进样频率96样/小时。 相似文献
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南京城东隧道采用自然通风方式,为判定其在火灾工况下能否满足安全性要求,开展了火灾工况下隧道自然通风模型实验,考察了最不利工况下烟气排除效果.从理论上探讨了模型与原型的相似规律,并以此为指导搭建模型实验台.结合实验现象和数据,分析了烟气温度、CO2浓度分布变化规律和烟气运动规律,与隧道原型实验进行了对比,验证了实验结果的可信性.并对火灾时逃生人员的安全性进行了分析,得到了烟气温度最高达77.2°C,烟气大部分时间维持在2 m以上高度的结论,此时逃生人员的安全能够得到保证. 相似文献
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该文介绍了一种在减员增效背景下,供电公司对低压用户抄表外委项目进行前期筹备的工作模式。通过工作现状调研,评估项目实施的必要性;通过年工作量测算模型,评估外委业务所需的人力资源成本,确立外委工作目标。根据订立的外委工作目标开展项目筹备工作,制定项目实施方案,完备项目前期工作,为项目的推进打好基础。通过该方案在某供电公司的开展情况,证实该文所介绍的方法切实可行;通过项目开展后人力资源成本的统计结果显示,基本实现了供电公司预期确定的降本增效目标,也推进了供电公司营销精益化的管理目标。 相似文献
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针对软件开发过程中安全性分析与设计不足的问题,在研究现有软件安全性建模及形式化验证技术的基础上,提出了一种适用于面向对象的软件安全性建模与验证方法.建立软件安全属性的非形式化UML模型,采用安全扩展有限自动机创建其形式化模型,并使用线性时序逻辑描述安全属性,将形式化模型与安全属性共同作为模型检测器的输入,得到模型是否满足性质的验证结果,从而实现了软件安全设计与验证技术的有机结合.实验结果表明,该方法能够在软件设计初期对所涉及的安全性进行有效分析与验证. 相似文献
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目的 为在软件设计与开发早期阶段对软件安全模型进行有效分析和验证.方法 软件安全分析验证法与形式化建模方法.结果 提出了一种安全扩展确定有限自动机(safety extended deterministic finite automata,SEDFA).在使用UMLsec建立软件安全相关的非形式化模型基础上,通过SEDFA准确的描述能够表达安全交互的序列图.首先创建序列图中单个对象的自动机,其次构造对象积自动机,从而得到表示系统整体交互的SEDFA.结论 为系统安全属性的验证提供了基础,可作为下一步生成软件安全测试用例. 相似文献
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引入本体ontology来描述web服务,对语言网格中的语言服务进行形式化描述,形成一个规范与标准,并重点结合服务质量指标QoS进行服务组合,以提高语言网格中组合服务的质量.实验结果表明,该方法能更好满足用户的需求. 相似文献
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以鄂尔多斯盆地黄陵地区延长组长6段为研究对象,基于区内丰富的钻井取芯、测录井及分析化验资料,对长6段深水砂岩特征及不同砂体类型储层之间的差异性进行了分析。结果表明,根据砂体形成机制及其构造特征的不同,研究区砂体类型可划分为砂质碎屑流砂体、砂质滑塌砂体及浊流砂体3大类。其中,砂质碎屑流砂体的石英、长石含量及结构成熟度相对较高,储集空间以长石溶孔和残余粒间孔为主,储层物性也明显优于其他两类砂体。进一步分析发现,由于结构成熟度和矿物含量的差异,砂质碎屑流砂体成岩早期抗压实压溶作用更强,中晚期易溶矿物溶蚀增孔、构造破裂增缝等建设性成岩作用也较为强烈,从而决定了砂质碎屑流砂体是研究区最有利的储集岩体。 相似文献
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从硅晶胞的空间原子结构出发,对(110)衬底进行研究,提出了针对(110)衬底上规则目标凸角结构的通用补偿方法.以(100)衬底上已提出的图形分析和共性补偿方法为依据,确定了(110)衬底表面特征晶向的平面关系,将所选70℃ 30%(质量分数)的KOH腐蚀液条件下的特征晶面(111)、(311)以及与衬底同簇的(110)晶面与衬底相交,得到平面特征晶向,从而构建补偿图形的拓扑框架,最终选择拓扑框架中的部分晶向构成具体的补偿图形.利用各向异性三维仿真软件对由该方法设计得到的补偿结果进行验证,模拟结果与设计预期相一致,充分证实了该设计方法的正确可行. 相似文献