不同杂散光模型对光刻掩膜特征尺寸影响研究

杂散光仿真模型在光刻投影系统应用中具有重要的作用。由于杂散光对光刻掩模特征尺寸CD(Critical Dimension)成像有一定的影响,亟需一种恰当的杂散光成像模型。通过采用PSF_F函数杂散光拟合模型和Kirk杂散光模拟模型,提出了一种改进的考虑杂散光成像的光刻模型。利用改进的杂散光模型研究了在相同杂散光总量下,不同比例中程、远程杂散光对特征尺寸的影响。结果显示,当总杂散光量相同时,仿真分析得出远程杂散光的影响大于中程杂散光,即远程杂散光的比例占的越大,显影后的特征尺寸比实际特征尺寸越小。     

轻型无人机在水利带状地形图中的应用

本文通过大疆Phantom4 RTK无人机在水利工程中的应用,论证了其航测解算所得成果DOM、DEM的精度可以满足1∶1 000比例尺的DLG精度要求,为测绘外业工作节省了大量的时间。今后,无人机也必将在水利行业中得到广泛的应用。     

MATLAB在测绘数据处理中的优越性及应用

简要介绍了MATLAB的特点、优势及不足。结合MATLAB强大的数学计算和数据分析功能,针对测绘数据的特点,阐述了如何利用MATLAB进行测绘数据的处理和分析,给出了MATLAB神经网络工具箱在GPS高程转换时的具体运用算例。实践表明,MATLAB易学易用,使用其可大大简化编程工作,特别适合非专业编程人员完成测绘数据计算、处理和分析等任务。     

轴承滚珠面型误差激光干涉测量系统的研究

在以激光干涉方法进行轴承滚珠面型误差测量时,为避免特制参考标准球面镜自身球度误差对测量结果的影响,提出了一种以平面镜代替球面镜的泰曼-格林轴承滚珠面形误差干涉测量方法,并设计了相应的测量系统。该方法基于相移干涉原理,通过计算机控制压电晶体使参考平面镜获得固定步数的位移,以获得多幅干涉图像,使用电荷耦合图像传感器(CCD)对得到的干涉图像进行采集,系统对获取图像进行相位提取解包裹运算以得到球面的面型误差。对于测量中由轴承滚珠定位精度而引起的离焦、倾焦调整误差,采用泽尼克多项式波面拟合的方法来消除其对测量结果的影响。实验表明,该系统的测量结果与ZYGO干涉仪所得到的结果相比较,峰峰值相差0.001 6λ,均方根误差相差0.004λ,能够有效地对轴承滚珠面型进行检测,且测量结果具有较高的可靠性。此外,该方法还可进一步推广应用于其他需要进行圆球度测量的领域,具有广泛应用前景。     

CO_2气井井筒压力梯度算法的研究

由于CO2气体的腐蚀性,有很多CO2气井在试井时不能按要求下入仪器,需要进行压力折算来计算井筒压力梯度和井底压力。CO2偏差因子是实现井筒压力计算的关键。文中介绍了CO2偏差因子实验图版的拟合公式,对天然气气井关井压力梯度计算方法法进行修改,使之成为CO2气井井筒压力梯度的计算方法,并对CO2气井实测资料进行了试算,取得了很好的计算结果。     

基于语义约束与Graph Cuts的稠密三维场景重建

本文提出一种新颖、有效的稠密三维场景重建算法.在城市建筑场景的重建中,为了快速恢复稠密、准确的深度信息,本文算法首先在视图中对建筑区域进行了语义分割以降低非重建区域(如天空、地面等)的干扰,在提高整体重建速度的同时也增强了采用平面模型对其进行重建的可靠性;然后,在通过基于DAISY特征的空间点扩散方法获取的初始深度图的基础上,针对传统算法难以重建的弱纹理、倾斜表面等区域,本文算法依据场景分段平滑的假设,在超像素级MRF能量优化框架中对其相应的空间平面进行了推断.由于能量函数融合了初始深度图的约束、空间平面先验及空间平面间的几何关系等信息,而且候选平面集通过平面拟合和已知平面约束下的多方向平面扫描两种方法构造,使得相应的两阶段迭代Graph Cuts对能量函数的求解更快速和精确.在标准数据集和真实数据上的实验表明,本文算法能有效克服光照变化、透视畸变、弱纹理区域等因素的影响,快速恢复建筑区域完整的深度图.     

基于图像处理技术的连续梁结构振动测试应用研究

采用普通USB摄像头和PC机作为硬件采集图像,利用Matlab软件编制相关程序实施了视频采集及分解、图像预处理、图像计算、信号分析4个模块的程序运行,进行了连续梁模型的振动试验,识别了连续梁模型的固有频率、阻尼比与振型,比较Dasp系统的模态参数识别结果,论证了数字图像测量技术进行参数识别的可靠性和精确性。     

实时动态RTK在公路测量中的应用

本文通过工程实例,介绍了实时动态RTK(欲了解更多?请见本期【科技词汇解读】)测量模式在公路测量中的应用,同时对作业过程中应注意的问题进行了剖析。     

中心逼近式灰色GM(1,1)模型

根据灰色 GM( 1 ,1 )模型的建模机理 ,指出现行建立模型方法的不确切之处 ,给出了处理导数信息号即背景的新方法 ,由此导出中心逼近式灰色 GM( 1 ,1 )模型.     

一类艾滋病例治疗的模型及数据分析

本文对艾滋病疗法的评价及疗效的预测问题进行了较全面分析,针对不同情况建立了不同的数学模型,并给出了相应的结果.