Si基片各向异性腐蚀特性研究

为了制备高性能铁电薄膜红外探测器 ,对Si微桥的湿化学腐蚀工艺进行了研究 .利用Si基片各向异性腐蚀特性 ,在四甲基氢氧化铵 (简称TMAH )水溶液中加入氢氧化钾 (KOH)作为各向异性腐蚀液 (简称KTMAH) ,研究了TMAH与KOH摩尔比、腐蚀浓度、腐蚀温度对Si基片腐蚀特性的影响 .结果表明 :Si(1 0 0 )面的腐蚀速度随着腐蚀液浓度和温度的升高而增大 ,随着TMAH与KOH摩尔比的降低 ,KTMAH腐蚀液对掩膜层的腐蚀程度加剧 .选用 5 g/L的过硫酸盐 (PDS)与TMAH质量分数为 2 5 %、TMAH与KOH摩尔比为2的KTMAH混合液作为腐蚀液 ,并在 80℃× 2 .5h的腐蚀条件下能得到平整的腐蚀面 ,可以制备质量较好的微桥结构     

电火花加工机理与误差分析

电火花加工工艺虽已得到广泛采用,但对其微观放电过程的认识至今仍众说不一 作者通过分析和对比,认为将材料腐蚀的空间特性与脉冲放电的时间特性统一起来的分析方法,更能充分解释电火花加工过程中出现的各种现象和放电通道的形态及性质,也便于分析放电加工过程中出现的误差,以提高电火花加工精度     

测量GIS中快速暂态过电压的微积分系统响应特性研究

研制了用于测量ＧＩＳ中快速暂态过电压（ＶＦＴＯ）的微积分（Ｄ／Ｉ）系统。为了验证Ｄ／Ｉ系统实测ＶＦＴＯ的响应特性，安装了一套波阻抗为５０Ω的同轴传输单元，其传输性能良好，不会引起波的畸变。方波响应试验表明，Ｄ／Ｉ系统的方波响应时间为２．５ｎｓ，满足ＶＦＴＯ对测量系统的要求。另外，测量电极的杂散参数和传输电缆对Ｄ／Ｉ系统响应特性有较大影响，应特别注意减小对地杂散电容的影响。     

高压气体爆破破煤模型试验研究

在模型试验的基础上，得出有关高压气体爆破破煤随最小抵抗线变化的规律，对高压气体爆破参数的研究具有一定的指导意义。     

某化工厂硫酸稀释泵房的腐蚀机理及加固方法

本文针对某化工厂硫酸稀释泵房的事故现状、重点分析了事故的原因，硫酸对混凝土地面、毛石基础、砖墙以及湿陷性黄土的腐蚀机理，并提出了相应的防护措施及加固方法。     

PFBC—CC燃机叶片试片腐蚀／磨蚀初步研究

介绍了ＰＦＢＣ－ＣＣ燃机叶片腐蚀／磨蚀试验装置的系统，主要部件，允许试验参数及其主要特点，累计４００多小时的热态试验表明该装置性能稳定，达到了设计要求，初步试验结果是，高，低温试验区均为腐蚀／磨蚀联合作用，高温试验区腐蚀为主，低温试验区磨蚀为主。     

矿井瓦斯气体的浮升与压强扩散

论述了存在于矿井空气中两种状态的瓦斯气体所具有的上升运动或趋势的作用因素。矿井空气中局部瓦斯或局部较高浓度瓦斯的气体对象，由于存在小于周围环境气体的密度差，会在浮力作用下浮升；矿井空气中的瓦斯气体分子在压强梯度的作用下产生压强扩散，通常由于空气重力产生方向向下的压强梯度，瓦斯气体分子具有上升的运动或趋势     

金属的腐蚀与防护技术

论述了金属腐与防护在国民经济与国防建设的重要性，特别是以实例着重讨论了它对大型工程结构运行可靠性及其安全保障的技术－经济意义，探讨了技术科学的学科特点及其发展趋势。     

气空间中不凝结气体对自然循环流动沸腾的影响

为了研究不凝结气体对反应堆安全的影响，在清华大学核能技术设计研究院５ＭＷ热工水力实验台架上研究了气空间中有不凝结气体存在时自然循环两相流稳定性的变化。实验发现：在气空间中有很高的氮气分压情况下，即使冷凝器投入运行，系统仍可能出现沸腾和两相流振荡，汽液交界面的温度可达到气空间总压对应的饱和温度，蒸汽分压在气空间中存在不均匀分布。这些现象的研究对压水反应堆变工况运行有重要意义。并对汽液交界面的Ｓｔｅｆａｎ流现象进行了理论分析。     

SF_6/CF_4 作为变压器的冷却和绝缘介质的研究

城网规模的迅速发展迫切需要无油化的大容量ＳＦ６气体绝缘变压器。采用混合气体作冷却与绝缘介质可以综合解决ＳＦ６气体的散热和液化问题。在研究了混合比例和压力变化对混合气体性能的影响后，提出用ＳＦ６／ＣＦ４混合气体可以代替纯ＳＦ６和ＳＦ６／Ｎ２作为气体变压器的绝缘和冷却介质。当变压器内充入ＳＦ６／ＣＦ４混合气体时，采用离散化的差分模型对其温升分布特性进行理论计算，并与相同条件下充入ＳＦ６／Ｎ２和纯ＳＦ６时的计算相比较，结果表明：采用ＳＦ６／ＣＦ４混合气体不会过分影响线圈温升。研究工作为气体绝缘变压器朝高电压和大容量发展提供了参考依据。