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51.
针对分步压印光刻工艺中多层套刻的高精度对准问题,提出一种应用斜纹结构光栅副实现x、y、θ三自由度自动对准的方法.光栅副分为4个区域,应用光电转换器阵列检测光栅副相对移动所引起的莫尔信号变化,通过电路系统处理可同时得到在平面x、y、θ三自由度的对准信号.驱动环节采用直线电机和压电驱动器作为宏微两级驱动,其分辨率分别为0.2μm和0.1nm,在激光干涉仪全程监测下,与控制系统一起构成闭环系统实现自动对准定位.实验结果表明,在多层压印光刻工艺中,实现了压印工作台步进精度小于10nm的高精度定位要求,使整个对准系统的套刻精度小于30nm.因此,应用这种莫尔对准方法可以获得较高的对准精度,同时能够满足压印100nm特征尺寸套刻精度的要求. 相似文献
52.
针对目前微电子机械系统(MEMS)制造中存在的三维加工能力不足的问题,将压印光刻技术和分层制造原理相结合,研究了三维MEMS制造的新工艺.采用视频图像原理构建了多层压印的对正系统,对正精度达到2μm.通过降低黏度和固化收缩率,兼顾弹性和固化速度,开发了适用于微压印工艺的高分辨率抗蚀剂材料,并进行了匀胶、压印和脱模工艺的优化实验.通过原子力显微镜对压印结果进行了分析,分析结果表明,图形从模具到抗蚀剂的转移误差小于8%,具有制作复杂微结构的能力,同时也为MEMS的制作提供了一种高效低成本的新方法. 相似文献
53.
54.
太阳能LED路灯照明系统优化设计 总被引:9,自引:0,他引:9
在珠海完成国内第一个太阳能LED路灯示范工程的工作基础上,从路灯光源、控制电路、太阳电池组件最佳倾角确定、太阳电池组件和蓄电池容量确定等几个方面对太阳能路灯进行了设计优化,做到既能保证系统的稳定可靠运行,又能尽量减少系统规模和降低成本.结果表明采用LED作为路灯光源、直接耦合的方式的充放电控制器是太阳能路灯很好的选择,同时通过科学计算的方法对在珠海地区使用时太阳电池组件最佳倾角和组件和蓄电池容量进行了讨论.使用的方法和结论可以为的其他的太阳能路灯设计提供有力的帮助. 相似文献
55.
56.
从多相流多流体模型、气相湍流k-ε模型与颗粒湍流kp模型出发,对底部向上射流悬浮床内气固两相流动进行数值模拟,得到了不同入口气速下各截面的颗粒相速度场、颗粒相脉动速度场的分布,结果与实验定性一致。计算结果与实验值对比的结果表明,数值模拟对进一步的研究有指导意义。数值结果与实测值间存在的差异则有待于进行直接三维流动模拟、进一步考察更为合理的边界条件及应用更先进的模型来解决。 相似文献
57.
基于三维有限差分束传输法(FD-BPM)对平面光波导器件中的关键元件之一-平面锥形模斑转换器作了深入的研究,对线性和数种非线性侧面边界的模斑转换器进行了数值仿真和对比,分析了平面锥形模斑转换器侧面边界函数对耦合损耗的影响,以及模斑转换器中模场分布随传输距离的变化,确定了不同长度的平面锥形模斑转换器的最佳侧面边界,指出长度在200-1000μm范围内具有余弦边界的平面锥形模斑转换器性能最佳,并且发现,光纤中的出射光进入模斑转换器以后,光波模式会逐渐发生变化,并最终转化为单模。 相似文献
58.
发展循环经济的科技策略的探讨 总被引:3,自引:0,他引:3
自工业革命以来 ,人类创造了大量的物质财富 ,但也付出了沉重的代价 ,环境污染和地球生态系统的破坏 ,已经严重影响并会制约经济的发展。当前的经济已经从工业经济向循环经济演进 ,如何在保持经济发展的同时不破坏环境 ,作者提出了发展循环经济的科技策略 ,即重构、调整、及合作 ,对当前经济发展具有一定的指导作用。 相似文献
59.
袁鼎生 《广西民族大学学报》2003,(6)
与相应的审美氛围、审美风范双向对生并走向整生的民族审美活动循环圈 ,构成民族生态审美场。民族生态审美场是民族生态审美学的整体对象 ,它的逻辑结构统观化整生化展开 ,构成当代民族生态审美学的理论体系 相似文献
60.
NIEYuchun KEYeyan WANGZai YUXiang DENGHongkui DINGMingxiao 《科学通报(英文版)》2003,48(13):1352-1357
The L protein (241kD) of vesicular stomatitis virus (VSV) is the most important snbnnit of the replication complex. The existence of specific localization signal in the L protein was investigated by making recombinant constructs expressing truncated mutants of the L protein fused to green fluorescent protein (GFP) in transient transfection assays. The chimeric genes encoding varied N-terminal of L and GFP gene were put under the control of T7 promoter or CMV promoter. The fusion proteins were transiently expressed in BHK-21, COS-7, CHO or Hep G2 cells. When more than 120 residues were deleted or only 96 residues were kept on the N-terminal, the fusion proteins were shown to be distributed throughout the cells, cytoplasm and nucleus under the confocal microscope. However, other chimeric proteins with 120 or more amino acids were dotted and distributed in the perinuclear regions. And the fusion protein with 96—120 aa has the similar distribution. A thirteen-residue peptide QGYSFLHEVDKEA (108—120) was identified as localization signal, whose function would be absolutely distributed with the deficiency of D or V. Our results show that there is an independent localizing signal in N-terminal domain of L protein of VSV and this functional signal is conserved in different cell lines. 相似文献