离子镀装饰膜厚度测量技术

本文首次利用Ｍｉｃｈｅｌｓｏｎ干涉仪对多弧离子镀ＴＩＮ装饰膜厚度进行了精确测量，该方法原理简单，测量精度高、可重复性强．是装饰膜厚度测量的最佳方法．     

多弧离子镀装饰膜工艺研究

本文介绍了多弧离子镀用于不锈钢钟表表面镀ＴｉＮ薄膜的工艺过程和主要参数，以及镀ＴｉＮ薄膜钟表的基本物理和化学性能的检测结果，并通过实例说明镀膜工件所具备的各项优点，对影响镀膜工件质量和使用效果的因素进行了分析讨论     

影响TiN掺金镀装饰膜质量的工艺因素

分析了用多弧离子镀和磁控溅射方法镀制 Ｔｉ＋ Ｔｉ Ｎ＋ Ａｕ 装饰膜的工艺中, 影响膜层质量的主要工艺因素实践表明, 在基材经过严格的前处理后, 只要对镀膜工艺进行合理的控制, 就能制出既有 Ｔｉ Ｎ 的硬度和耐磨性、又有黄金色泽的装饰膜层     

切削刀具多弧离子镀膜的应用研究

多弧离子镀膜是PVD(Physical Vapor Deposition物理气相沉积)技术中硬质耐磨镀层的主要方法之一,在刀具、模具上应用较多,也是近年来刀具表面强化的主要研究方向.文章研究了多弧离子镀膜技术在高速钢立铣刀表面涂镀纳米复合膜TiN/AlSiN,使其使用寿命得到提高.     

CrN/Cr镀膜改性的H13钢摩擦学性能

为提高AISIH13钢的硬度和耐磨性能,采用多弧离子镀(multi-arc)方法在H13钢表面沉积CrN/Cr双层膜。在600V直流负偏压下对样品表面进行氩离子轰击,随后沉积Cr中间层,采用3种不同的氮气分压,在200V直流负偏压下沉积CrN膜。SRV往复式摩擦磨损实验及表面形貌分析显示,H13钢镀膜样品磨痕深度只有未镀膜样品的1/4,膜层的显微硬度可达HV=1684,高于未镀膜样品的HV=780。膜层的主要相成分是CrN、Cr2N和少量的Cr。     

离子镀统计质量管理及分析

结合实际工作经验和数据，利用统计质量管理基本原理．对离子镀膜生产质量进行了较为系统的分析，提出了离子镀企业提高和控制质量的基本思路，为离子镀更为广泛的应用打下基础．     

离子镀CrN纳米叠层膜的磨损行为

低温状态下,采用离子镀技术在A3钢基体表面上制备了CrN纳米叠层膜;在扫描电镜下观察镀膜试样表面和截面的微观形貌;利用X射线衍射分析测定镀膜的相结构;使用磨轮式磨损试验机评价镀膜的磨损性能.结果表明:CrN纳米叠层膜具有明显的层状结构,消除了镀膜中柱状晶外延生长的缺陷,抑制了常规离子镀CrN膜在磨损过程中的大块剥落现象,CrN纳米叠层膜的失效形式为微区剥落;该镀膜较常规CrN膜的耐磨损性能得到显著提高,沉积电流为60 A时所制备的CrN纳米叠层膜在磨损3 000转后失重量为0.2 mg,仅为同条件下常规CrN膜失重量的1/10.     

多元Ti(CN)膜的制备和性能研究

为研究多元Ti（CN）膜层，用空心阴极离子镀方法，通入不同比例C2H2和N2反应气体，以研究反应气体流量变化对膜层性能的影响，筛选出C2H2与N2的最佳比例，确定镀膜的最佳工艺参数，并对最佳工艺条件下的膜层进行了硬度和膜基结合力等的测试，用X－衍射仪，电镜，金相显微镜等对膜层的微观组织结构进行了分析，结果表明，镀膜工艺可行，慕支性能优异，膜基结合好，为以后多元膜层的推广使用提供了实验和理论依据。ii     

多弧离子镀膜工艺的技术开发

目的 研究膜层牢固度好、满足各种用户对膜层厚度要求、质量一致性好的多弧离子镀膜工艺参数组合。方法 运用日本田口玄一创立的隐健性设计方法进行研究。结果 与原工艺膜厚相比均匀性提高约６．５ｄＢ,并找出膜厚与弧电流之间的线性关系;硬度一致性提高约３．４ｄＢ,显微硬度值提高约９３７ｋｇ·ｍｍ＾－２。结论 动态特性的稳健性设计是一种高效率、高再现性的技术开发方法。     

AlN／CrN纳米多层膜的制备及性能的研究

采用多弧离子镀技术制备A1N／CrN纳米多层膜,研究了多层膜调制周期对A1N生长结构的影响以及纳米多层膜的机械性能．结果表明：在小调制周期下A1N会以立方结构存在,并与CrN层形成同结构共格外延生长,使纳米多层膜产生较大的晶格畸变;A1N／CrN纳米多层膜硬度和弹性模量随着调制周期的减小呈现上升的趋势,当调制周期小于8nm时其增速明显增大,并在调制周期为3．8nm时达到最高硬度35．0GPa和最高弹性模量405GPaA1N／crN纳米多层膜的硬度和弹性模量在小调制周期时的升高与c-A1N的产生并和CrN形成的共格结构有关．     

40Cr表面TiAlN/TiN复合镀层的滑动摩擦试验分析

采用多弧离子镀工艺在40Cr表面制备了TiAlN/TiN复合镀膜,利用UMT-2摩擦磨损实验机考察了TiAlN/TiN膜层的承载能力和摩擦学性能,通过扫描电子显微镜观察了磨损试件的表面形貌,应用X射线能谱仪分析了磨痕中心区元素及其含量,通过40Cr基体和TiAlN/TiN膜在摩擦系数和磨损量方面的比较来评价TiAlN/TiN复合膜层的摩擦学性能。结果表明:TiAlN/TiN涂层与基体间的结合力是影响涂层承载能力的主要因素之一,TiAlN/TiN复合镀层的摩擦学性能优于40Cr基体,TiAlN/TiN复合镀层的减摩、耐磨性能优越,并能成功地抵抗磨粒磨损和粘着磨损。     

固态NaCl诱导的TiAlN多层涂层热腐蚀行为研究

采用高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)技术耦合多弧离子镀技术,在钛合金和304不锈钢基体表面沉积高致密TiAlN/Me多层纳米复合膜层,通过SEM、XRD、XPS等方法对涂层的宏微观结构进行表征,在500 ℃高温的固态盐膜环境下,研究不同金属子层种类对涂层高温热腐蚀能力的影响规律．结果表明:TiAlN/Ti多层涂层孔隙率低至0.049 %,以点蚀为主要腐蚀形式的涂层热腐蚀面积占比为2.948%,分别达到304不锈钢和Ti-6Al-4V钛合金基体耐腐蚀能力的24.046和23.041倍．TiAlN/TiAl涂层由于涂层表面缺陷和层间缺陷分布广泛,涂层腐蚀面积占比达到67.090 %．TiAlN/Ti比TiAlN/TiAl多层纳米复合膜层有更优的高温热腐蚀性能．      

空心阴极与多弧离子镀TiN薄膜的表面形貌及性能

分别采用多弧镀、空心阴极离子镀及电子束强化多弧镀的方法在高速钢表面制备TiN薄膜,对其进行表面形貌及性能的研究。经光学显微镜、扫描电镜（SEM）、激光共聚焦显微镜（LSCM）对TiN薄膜表面形貌及断口观察分析表明,空心阴极离子镀薄膜表面较为平整,无熔滴颗粒（大颗粒）存在,空心阴极发射的电子束对多弧离子镀薄膜表面熔滴颗粒数量和尺寸有着明显的改善作用。随着电子束功率提高,多弧离子镀薄膜表面熔滴颗粒尺寸呈明显减小趋势,且数量呈减少趋势。     

光学薄膜镀制技术的对比研究

本文介绍了两种光学镀膜真空淀积技术——离子辅助淀积和反应离子镀,并详述了近年来的应用及进一步的发展。     

多弧离子镀制备的耐事故燃料包壳铬涂层晶粒结构研究

本文通过从几十微米到几埃的多尺度表征展示了多弧离子镀制备铬涂层的详细结构.经XRD, SEM, FIB, TEM和HRTEM表征，结果显示该涂层是一种多重结构，包括表面上的微米级颗粒、缺陷带钉扎的微米或次微米级液滴、以堆垛层错为晶界的柱状晶、以刃位错和螺型位错为区分的微晶、位错末端的原子畸变以及原子排列无序化的区域.这些结构通过改变涂层的结晶度，影响了晶格常数、表面粗化和FIB溅射裂纹.此外，通过分析HTEM照片，确定了这些堆垛层错和位错的类型.最后，讨论了沉积参数对这些晶粒结构的影响.     

Preparation and thermal stability on non-vacuum high temperature solar selective absorbing coatings

Spectrally selective TiAl/TiAlN/TiAlON/TiAlO coating was deposited on stainless steel and copper substrates using a multiarc ion plating system.The structure,morphology,optical reflectance and electrical resistivity were investigated by X-ray diffraction(XRD),scanning electron microscopy(SEM),spectrophotometer and four-point probe meter,respectively.The results show that the coating exhibits high absorptance(―0.9) and low emittance(0.09―0.19).The coating remains stable in air up to 650℃ for 1h.These propert...     

高速钢基体表面除油对离子镀涂层制备性能的影响

综合采用了化学法、超声波联合化学法、机械喷砂等多种前处理方法,对高速钢基体样品进行除油处理.分析了其微观形貌及在基体处理前后用离子镀气相沉积技术沉积TiAlN涂层的性能.实验结果表明,在相同的情况下,采用化学试剂,NaOH 0.5%～1.0%;Na2SiO33.0%～4.0%;Na2CO35.0%～10.0%;H2O 100%,温度为60～90℃,时间为5～10 min,除油效果较好,离子镀后涂层与基体的结合力较好.     

复合稀土化学镀镍工艺及性能研究

研究了在复合稀土元素存在条件下,钢铁表面化学镀Ni P合金的工艺条件及镀层的耐腐蚀性能.结果表明,用最佳工艺镀得的镀层较厚,表面光亮、致密,耐腐蚀性能较好.     

Fe－SiC复合镀的工艺研究

研究了采用氯化亚铁为主盐，悬浮Ｓｉｃ微粒的低温直流复合镀工艺．详细介绍了镀液中ＳｉＣ浓度、镀液主盐浓度、镀液温度、镀液ｐＨ值、阴极电流密度及搅拌间歇时间等工艺参数对复合镀层中ＳｉＣ含量的影响，并以复合镀层性能，如结合强度、硬度、耐磨性等为考察参数，确定了Ｆｅ－ＳｉＣ复合镀层中ＳｉＣ的最佳含量．