使用测试图形法优化亚分辨率辅助图形

在亚波长光刻领域,基于规则插入亚分辨率辅助图形是一种重要的技术。现有的方法需要利用经验改善亚分辨率辅助图形,且不考虑光学邻近校正的效果。提出了一种新的利用测试图形优化亚分辨率辅助图形的方法。与一般的光学邻近校正流程结合,该方法能解决工艺窗口过小和亚分辨率辅助图形刻出等问题。通过对标准电路版图的测试,对边放置误差和工艺窗口进行了测量。边放置误差相比传统方法减小了10%,同时,不同工艺窗条件下的边放置误差也有改善。     

热光源谱域光学相干层析成像系统

根据热光源具有极短的相干长度、能够提高系统的轴向分辨率的特点,设计了一种使用热光源的谱域光学相干层析成像系统.利用高斯函数计算得到的理想光谱密度与光谱仪测量的实际光谱密度之间的比值,得出了不同波长对应的光源光谱密度的校正系数,将校正系数与所测干涉光谱值相乘,得到了校正后的理想干涉光谱值.实验结果表明:高斯校正后,样品的一维散射势得到锐化,散射势峰值变大,系统的轴向分辨率变高;高斯校正后使二维层析图像的质量得到了提高,样品的薄膜边界变得清晰.因此,系统具有分辨率高、成像速度快、测量精度高和对样品无损伤的特点,在薄膜厚度的无损测量方面有着广泛的应用前景.     

Landsat卫星不同分辨率影像的分级几何校正比较研究

以快速、准确地对Landsat卫星的系列影像几何精校正为研究内容，以长江口附近为研究区域，先用地形图对高空间分辨率影像几何精校正，后用该影像对低分辨率影像进行校正。研究结果表明：用校正好的高空间分辨率影像ETM＋-Pan对低空间分辨率影像进行校正，具有较好的效果；而相同空间分辨率的影像（如ETM＋-MULTI和TM）之间一般不适宜相互进行校正。     

基于频谱校正技术的光学相干振动和热变形层析系统研究

本文提出采用基于频谱校正技术的增强型频域光学相干层析系统(EOCT)及其在非接触结构振动和热变形检测的应用.该EOCT系统采用基于CCD的宽带光谱仪以及宽带低相干的白光,所以这个增强型光学相干层析系统具有很高的检测分辨率,可达到0.9μm精度.但是,由于光谱信号作傅里叶变换的过程中产生了能量泄露,从而导致振动或热变形检测存在一定程度的误差.为了解决这个问题,本文提出采用一种频谱校正技术来校正此误差.从振动、热变形以及压电驱动器标定等实验的结果可知该方法的检测精度最高可达0.1μm.因此,自研制的EOCT系统在非接触振动、热变形测量以及压电驱动器在线标定等领域具有很好的应用前景.     

用部分相干光理论对显微镜分辨率及其照明系统的讨论

本文用部分相干光理论简要地对显微镜分辨率及其照明系统进行了讨论,指出怎样获得最佳的分辨率并论证了照明系统的象差对分辨率没有影响,从而提出适合不同倍率通用的用光学补偿法变焦的照明系统.     

光学成像系统中非线性畸变的数字校正方法

该文通过对光学成像系统中非线性畸变的分析，提出了一个数字校正方法。该方法利用与光轴对称的径向畸变数学模型求出光学镜头的校正系数，对畸变图像进行校正。对校正方法的程序实现进行讨论，给出了对实际畸变图像进行校正的实验结果。     

广角成像系统光学畸变的数字校正方法

广角成像系统光学畸变的数字校正方法刘航毛义杜吉郁道银（天津大学精仪学院３０００７２）光学系统的畸变除了利用像差理论来实现校正外，还可以利用数字图像处理技术来进行校正。这为某些受其他条件的限制，很难用像差校正的方法来实现其畸变校正的光学系统，如内窥镜光...     

光学纤维面板制作中的排板工艺

光学纤维面板是一种分辨率高、传像清晰、体积小、质量轻的光学纤维玻璃,其制作工艺非常复杂。详细介绍了光学纤维面板制作中的排板工艺。     

自适应原则在激光准直仪中的应用

介绍了根据光学自适应原则设计的外差自适应激光准直系统。包括确定主要噪声因子以及对主要噪声因子实现光学自适应设计。该光学系统可以自动消除由于光束平移和角漂对测量产生的误差。同时允许在测量过程中将测量元件移出光路之外，因此可以用于同轴度测量。实验表明：该系统比其它准直仪具有更高的分辨率和稳定性。与ＨＰ公司双频激光准直仪相比具有相同的分辨率和稳定性，而没有近程死区，实现了状态测量，具有广泛的应用范围。该系统的设计表明：光学自适应原则对精密仪器的设计是非常有效的     

一种超光滑表面抛光装置的研制

针对“非探针超分辨光学显微镜”对光学元件表面提出的超光滑要求,发展了一种新颖的用于超光滑表面加工的经济装置。该装置为仅用一个单轴驱动工作盘,而随动聚四氟乙烯抛光盘的拟浴式抛光系统。加工件的原子力显微镜AFM测试结果表明该装置加工出的光学表面的粗糙度可优于1nmSq值,满足纳米分辨率光学测量系统对元件的要求及探测单个细胞或微生物样本时对载片的表面要求。     

孔斜校正最佳方案的研究

本文运用赤平投影方法研究了孔斜校正最佳投影方向和最佳作图方法,从而提高了孔斜校正的精度和可靠性。     

车牌倾斜校正研究综述

作为智能交通系统的核心技术之一,基于机器视觉的车牌识别一直受到广泛的关注.对车牌图像进行倾斜校正是车牌识别的重要步骤,其目的是解决拍摄角度随机性对识别过程的影响.该文将现有倾斜校正方法划分为直线检测、投影最值、角点检测、主方向分析四类,首先介绍了它们的研究究果,然后剖析了它们在鲁棒性方面存在不足的原因,展望了下一步的研究方向.     

水下电视摄象系统的研制与开发

论述了水下电视摄象系统中的光学设计，电气器件，精密机械设计，照明和与系统相关的综合因素。     

轻钢拱形屋面结构的优化设计与构造

结合实际工程设计 ,选取轻型薄壁钢管拱形屋面的矢高、拱形桁架高度、杆件截面面积作为优化设计变量 ,以轻型钢管拱形屋面的总造价最低为目标函数 ,建立了优化设计的数学模型 ,采用直接搜索法与准则法结合的综合优化设计方法 ,按规程要求对轻型钢管拱形屋面的几何外形及杆件的截面进行了综合优化设计 ,考虑了各种情况的荷载作用 ,编制了SLAOP软件 .     

LD端泵浦Er^3＋：Yb^3＋共掺固体激光器的耦合系统设计

利用矩阵光学方法对Er^3＋：Yb^3＋共掺固体激光器的耦合系统进行了设计,推导了高斯光束经耦合系统聚焦后束腰宽度和像距的计算公式．以此计算结果为依据,Er^3＋：Yb^3＋共掺磷酸盐玻璃为工作介质,成功地实现了常温下连续输出TEM00模的1．54μm激光,最大输出功率为30mW,光光转换效率约为1．06％．     

变焦距镜头电子变焦模式

提出一种全新的高斯光学算法，对电子变焦模式的变焦距系统高斯光学参数的计算方法进行研究．通过求解超越方程(组)及三次样条函数插值法计算凸轮曲线，处理了与自动调整物距(调焦)相关联的连续变焦模式以及与其无关的独立变焦模式，实现了任一变焦方式的高斯光学参数的计算．该算法基于高斯光学乘加递推算法，采用多项式，避免了有理函数的运算，比高斯括号法简明方便，有利于简化电子变焦模式变焦系统镜头参数的计算．     

全静电摄像管聚焦偏转系统的正交设计

采用图案电极的静电聚焦静电偏转(SS型)摄像管具有功耗低、扫描频率可变、分辨率高、体积小和重量轻等优点。该文采用计算机辅助设计,分析、讨论了改进型单透镜式(三电极结构)全静电摄像管的结构参量、电参量对电子束的聚焦偏转特性的影响,并应用正交设计法对聚焦偏转系统进行了正交优化设计,给出了该系统的结构参数。     

用楔角偏差改善正交光楔列阵大尺度的辐照均匀性

用楔角偏差的方法能有效的改善正交光楔列阵系统（SWA）的大尺度辐照均匀性，基标量衍量积分方法和旁轴矩阵光学方法，进行了详细的分析，给出焦斑光强分布特性的理论计算和实验结果，并给出了最优设计参数。     

长距离光纤孤子通信系统的参数优化设计

长距离光纤孤子通信系统的参数优化设计温扬敬陈健张欣杨祥林（南京邮电学院,南京２１０００３）光纤孤子通信是一种高速长距离通信,是利用光纤非线性压缩来补偿光纤色散展宽,来实现光脉冲稳定传输的一种通信方式．从应用角度看,光孤子通信系统可用于长距离越洋光纤...