无衍射光莫尔条纹空间直线度误差的测量方法

将无衍射光与莫尔条纹技术相结合,发展了一种新的连续空间直线度误差测量技术。此方法利用了无衍射光和环状莫尔条纹的图像自定位基准特性。由于无衍射光的大光学口径和光学数值孔径,此方法适用于长、短距离连续空间直线度误差测量,并且测量系统具有体积小,操作简单,分辨率高等优点。     

无衍射光莫尔条纹空间直线度误差的测量方法

将无衍射光与莫尔条纹技术相结合,发展了一种新的连续空间直线度误差测量技术.此方法利用了无衍射光和环状莫尔条纹的图像自定位基准特性.由于无衍射光的大光学口径和光学数值孔径,此方法适用于长、短距离连续空间直线度误差测量,并且测量系统具有体积小、操作简单、分辨率高等优点.     

基于无衍射光莫尔条纹的微小位移测量分析

利用He-Ne激光器发出的激光经准直扩束镜后通过轴锥镜,形成径向光强分布呈零阶贝塞尔函数形式的无衍射光,该无衍射光方向性好,在通过反射与折射时不易产生能量损失.然后,通过多次分光与反射得到两束无衍射光,并产生干涉形成莫尔条纹.最后,根据莫尔条纹产生的数目和中心点的位置变化得出位移量,建立莫尔条纹数量变化与微小位移间的数学模型,分析判断工作台产生的偏摆角、滚转角以及俯仰角的误差,并通过ZEMAX软件仿真验证该数学模型的正确性,实现高精度的微小位移测量.     

一种新的莫尔条纹法

单色平行光照明全息双频位相光栅,1级衍射的直条纹投射到物体上,在另一相同光栅的1级衍射像中出现莫尔条纹.     

倍频光栅的莫尔条纹研究

用傅里叶频谱分析方法研究了横向莫尔条纹中一个光栅倍频时莫尔条纹的变化，论证了倍频光栅形成的莫尔条纹方向与等周期两RoncK光栅形成的莫尔条纹方向相同，其周期与两小周期光栅的莫尔条纹周期相同，其对比度随倍率的增加而减小的特点，呈现莫尔条纹效应的主要是等栅距光栅和二倍频光栅，介绍了产生倍频光栅的一些方法，如采用滤波的方法，消去光栅的0级衍射波，形成倍频光栅；采用球面波照明光栅，形成倍频的光栅的自成像等，举例说明了其应用，这些应用表明二倍频光栅莫尔条纹可使结构紧凑，测量简单，或使分辨率提高一倍。     

精密平面定位技术

针对精密平面定位影响因素多、控制复杂及定位困难等问题,提出了一种新的精密平面定位方法,该方法采用激光莫尔技术,以上下2组100 μm的衍射光栅作为定位标记,通过微机闭环控制,可实现X-Y-θ三自由度的全自动精密平面定位.2组光栅相位相差180°,构成差动光栅技术,可有效提高位置检测信号灵敏度及定位精度.系统在软、硬件方面采取的一系列抗干扰措施,确保了较高的定位精度及工作可靠性.实验结果表明,基于激光莫尔信号的精密定位装置可获得亚微米级的平面定位精度,对精密加工工程等领域具有重要的实用价值.     

基于莫尔干涉技术相位物体测试系统及其分析

基于莫尔条纹干涉技术,采用傅里叶频谱的分析方法,设计了相位测试系统,导出了不同光强分布对应的莫尔条效方程及光强度分布,给出了相位物体测试系统中两光栅之间的最佳距离.     

基地莫尔干涉技术的相位物体测试系统

基于莫尔条纹干涉技术,利用傅里叶频谱的分析方法,对相位物体的测试系统进行了设计,导出了不同光强分布对应的莫尔条纹方程及光强度分布公式。     

基于莫尔干涉技术的相位物体测试系统

基于莫尔条纹干涉技术,利用傅里叶频谱的分析方法,对相位物体的测试系统进行了设计,导出了不同光强分布对应的莫尔条纹方程及光强度分布公式．     

对纵向莫尔条纹测微系统中几个问题的分析

本文分析了纵向莫尔条纹在微小位移测量系统中的能量分布及稳定性。     

和型莫尔偏折术的探讨

探讨了一种和型莫尔偏折术．将两组周期相同的干涉条纹同时投射到接收面上，让光强相加而得到莫尔条纹．分析了其原理，并用计算机进行了模拟．     

减小光栅传感器测量信号误差的研究

在光栅传感器测量系统中，为了提高测量信号的精度，需要对系统输出信号的误差进行研究。介绍了莫尔 条纹的产生和光栅传感器测量系统，对测量系统的误差进行了分析，提出了利用基于误差修正技术的光栅测量系 统减小光栅测量信号的系统误差的方法，以及利用滑动平均滤波与中值滤波结合的方法减小动态莫尔条纹信号中 的随机误差，总结了设计光栅传感器测量系统的关键技术。仿真结果表明#混合滤波方法可以有效地减小动态莫 尔条纹信号中的噪声干扰，且算法简单。     

用错位云纹法测量位移导数场

采用衍射光栅在谱平面上滤波的光学系统，提出两次曝光之间在像平面上错动全息干版的错位云纹干涉法。用此方法分别获得面内位移导数（应变）场和平板弯曲离面位移的二阶导数（曲率）场的计算公式，并进行了实验验证，实验结果与理论值符合良好。     

用全息光栅作分束器的莫尔-泰曼干涉仪

本文论述了用全息光栅代替玻璃分束器,以莫尔条纹技术消除仪器综合误差的莫尔-泰曼干涉仪。     

计算机模拟Moire条纹现象

利用计算机图像技术产生周期性条纹方法模拟光栅叠加实现Moire条纹现象.考察Moire条纹的空间放大作用,研究一块光栅相对另一块平移时产生的Moire条纹移动过程,计算Moire条纹在平移过程中探测器的输出变化关系.     

光学频谱面定位精度与定位方法的研究

用Ｆｏｕｒｉｅｒ光学的理论分析了光学频谱面定位的理论精度，导出了相应的公式，提出了一种用Ｍｏｉｒｅ偏转术精密定位谱面的新方法，可以方便地将实际定位误差控制在理论精度范围内，实例表明相对定位精度达０．０２５％。     

几何云纹法和变线密度光栅的检测

变线密度光栅在激光核聚变装置、太空探测器上有着广阔的应用前景,但是它的检测方法长期以来一直没有发展,本文在介绍变线密度光栅的基础上,将几何云纹法引入变线密度光栅的检测中,从理论上介绍了几何云纹法,并就低线密度的变线密度光栅给出了有关理论公式,对数据处理方法进行了初步的探讨,从理论上提出了数据处理方法.     

基于BP神经网络的光栅莫尔条纹细分方法

一种基于BP神经网络的光栅莫尔条纹细分方法可以提高光栅莫尔条纹的细分精度。在1个莫尔条纹信号周期内采集多个样本点进行差值细分,利用3层BP神经网络,将获得的差值作为网络输入,该样本点在1个栅距内的微位移量作为目标输出,建立合理的网络模型,与DSP微处理器相结合实现莫尔条纹细分。通过对样本点的学习,莫尔条纹细分精度可以达到0．001微米级。同时对非样本点进行验证,实验结果表明该系统具有可行性。     

光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析

采用莫尔条纹法对光栅干涉仪在工作过程中产生的干涉条纹进行分析,利用莫尔条纹的平均误差作用减少光栅刻划过程中的局部误差。实验研究表明,该方法控制光栅刻划机刻划出300l/mm和600l/mm的光栅,受环境影响小、结构简单且装调方便。