X射线光刻机的开发研制

X射线光刻是一种能满足大规模集成电路生产的加工技术。本文论述了X射线光刻技术的发展历史和前景，阐述X射线光刻机的光源、曝光系统、掩摸和步进驱动平台等的主要结构和研制动机，提出在X射线光刻机设计中要注意的几个主要问题。     

基于特殊X射线光刻技术的空心微针制备技术

介绍了2种基于特殊X射线光刻技术的空心微针制备方法.一种为基于2次不同X射线光刻技术的制备方法,即第1次为通常意义的带掩膜板光刻,第2次为无掩膜板光刻;另一种为基于2次移动掩膜板光刻加1次通常意义的带掩膜板光刻技术的制备空心微针方法.结果表明:在面积为5mm×5mm的聚合物基板上制备了25根空心微针阵列.     

医用X射线诊断设备影像质量控制检测研究

目的探讨和分析医用X射线诊断设备影像质量控制检测的结果,为临床诊断工作提供科学依据。方法对该地区于2015年1~12月间使用的医用X射线拍片机、透视机的主要性能指标开展状态检测和评价。结果对95台X射线设备影像质量控制进行检测,其中医用X射线拍片机65台,医用透视机30台,公立医疗机构的医用X射线诊断设备检测合格率在45.46%~61.11%之间,民营医疗机构的检测合格率在20%~26.67%之间,二者之间的差异有统计学意义(P0.05)。拍片机的检测单项合格率在76.92%~93.85%之间,透视机检测单项合格率在42.86%~86.67%之间,拍片机影像质量检测合格率较透视机高,两组差异有统计学意义(P0.05)。结论从该次检测结果来看,X射线诊断设备影像质量控制情况良好,但还存在着一定的不足之处,需要做进一步的改进。     

电机保护罩自动冲孔机设计

电机保护罩自动冲孔机主要由机械和控制两个部分组成,机械部分包括X、Y工作台,冲孔装置和夹紧装置,X、Y工作台由步进电机带动丝杠螺母传动带动工件运动,冲孔装置和夹紧装置由液压传动实现;控制部分采用PLC控制。设计的自动冲孔机,解决了工厂加工速度慢、劳动费时费力的困难,提高了加工精度和工作效率。     

金刚石膜同步辐射X—射线掩模的研究进展

超大规模集成电路（VLSI）线宽不断缩小促进了光刻技术的发展和分辩率的提高，缩短光波长和改进掩模是提高分辨率的重要途径，探索采用X-射线光刻技术时，用金刚石薄膜作为掩模基膜的研究现状与发展方向，金刚石薄膜因其具有优异的机械、光学和热学性能，已成为新一代掩模基膜材料的理想候选材料，介绍了金刚石薄膜用作掩模基膜材料上取得的实验成果，面临的问题和可能解决的途径。     

一种改进的文本特征选择方法

随着Internet技术的飞速发展,网页上存在着各种各样、类目繁多的信息,因此网页分类技术就显得越来越有意义。本文使用向量空间模型（VSM）来表示网页文本,提出了一种改进X2的文本特征选择方法,最后通过支持向量机方法进行分类。实验结果表明,相对于传统的X2文本分类统计方法,改进后的特征选择方法的分类效果要好于传统的X2统计方法。     

矩形波导管均匀高斯光束的初步理论研究

波导管均匀光束能量分布是一种经济实用、方便可行的方法,在激光LIGA(德文缩写:深度X射线光刻、电铸成模、微塑铸)、激光微成型等新兴领域有着重要的应用,然而关于波导管均匀准分子、固体激光光斑能量分布的理论研究还没有成熟可靠的方法.本文提出了一种基于经典光线传播的均匀光斑能量的简单模型,探讨了一维高斯光束经矩形波导管后的能量分布均匀性问题,得到了波导管均匀光斑能量的表达式,阐明了经矩形波导管后光斑横截面能量分布与透镜、波导管尺寸以及输出截面的关系,为实验中波导管的加工、实验设计提供了理论依据和指导.     

数字X线机摆位操作训练仿真系统的实现

对数字X线机摆位操作训练仿真系统关键技术进行了初步探索。基于Delphi 7.0平台,根据串口通信原理,利用单片机及无锁式按钮开关分别对数字X线机的软硬件进行了模拟开发,实现了自动识别摆位的正确性,可以方便用于数字X线机摆位操作仿真教学和学生的自主练习。     

关于CT维修管理探讨

CT机显著地改善了X线检查的分辨能力,其分辨率和定性诊断准确率大大高于一般X线机,从而开阔了X线检查的适应范围,大幅度地提高了X线诊断的准确率。本文就CT维修管理进行了深入的探讨,具有一定的参考价值。     

X射线诊断机成像质量的检测控制

阐述了基于X射线诊断机成像质量检测控制的重要性,结合X射线发生原理、本质,介绍了X射线光学成像性能检测和X射线诊断质量检测的参数、方法及评价标准.     

不同形貌纳米ZnO、ZnO2的制备及紫外光下光催化性能的表征

以Zn（CH3COO）2及NaOH为原料分别运用超声法和水热法制备两种不同形貌的纳米氧化锌颗粒,通过进一步反应制得了相应形貌的过氧化锌,并经过将过氧化锌进行180℃高温处理.运用X射线粉末衍射、紫外—可见漫反射吸收光谱等技术对所得产物基本物理性质进行了表征;同时以液相中的罗丹明B作为目标物,考察了所合成的光催化剂在紫外光下的光催化性能,发现两种不同形貌的ZnO纳米晶体和进一步合成的纳米ZnO2及高温处理后晶体都具有光催化活性,但不同形貌同一物质光催化活性不同,且在紫外光下用超声法得到的花状纳米ZnO对有机染料的降解效果更显著.     

微机械及微细加工方法的研究

基于光固化快速成型制造技术,结合光刻技术、牺牲层技术以及化学镀膜技术,研究了一种新型的微细加工方法,提出了非导电极板（光敏树脂固化物）镀膜的新方案,设计了一种有较大驱动位移的微型电容式激励器,并介绍了其加工制作的工艺流程。实验结果表明此微细加工方法是可行的,从而开辟了微细加工的新途径。     

合肥光源深X-射线光刻模拟

论文对合肥同步辐射光源开展深度X-射线光刻进行了理论模拟。利用Gauss积分法研究了菲涅耳衍射对深度光刻图形精度的影响。为了模拟衬底产生的光电子对光刻结果的影响，构建了一个Monte Carlo模型并进行了模拟。计算结果表明，合肥光源深度光刻的图形精度较高。     

玻璃上Ag/ZnO 薄膜的形成过程

扩展一种和玻璃基体结合力高的化学镀铜技术,它在玻璃表面上喷雾覆盖一层醋酸锌,然后热解形成半导体氧化锌薄膜．将此附有氧化锌的玻璃浸渍硝酸银稀溶液,利用光还原法将银离子还原为单质银,并以银为催化剂在附有氧化锌薄膜的玻璃上化学镀铜．文中通过差热-热重分析(TGDTA)、X-射线衍射(XRD)和扫描电境(SEM)表征了上述过程,探讨半导体氧化锌光还原银离子的机理．     

真空开关在分断过程中电弧引燃过程研究

为了深入了解真空电弧的引燃过程，测量了直流真空电弧起弧阶段的电弧电压，屏蔽罩电位以及屏蔽罩收集的离子电流等参数，分析了真空电弧的引燃过程，起弧后等离子体的扩散过程，以及纵磁场对等离子体扩散的影响。     

激光制导平仓技术在三峡工程RCC围堰施工中的应用

激光制导平仓技术是以激光扫平仪作为信号源，用安装于推土机设备上的激光接收器接收信号，再通过由PLC、工业触摸屏、调节阀等组成的控制器对推土机的工作实施自动控制．介绍了激光制导机械控制系统的组成及工作原理，阐述了该系统在三峡工程三期RCC围堰施工中的应用。     

X射线衍射和散射光束线设计

介绍了装备在合肥扭摆磁铁光源上一条Ｘ射线光束线的设计,包括光学系统,设计参数,光束线上的两台主要设备前置环面聚焦镜和双晶单色仪．该光束线建成后将用于生物大分子晶体结构分析、高分辨Ｘ射线粉末和单晶衍射、多层膜结构以及在特殊条件下的Ｘ射线衍射与散射研究     

镁合金表面激光刻蚀精密打标应用

镁合金具有比强度高、减振性和电磁屏蔽性好等优点,在电子产品上有越来越多的应用。镁合金电子产品的徽标及文字特征标识可以采用激光刻蚀打标方法,速度快、精度高、适应性广。针对激光种类及其参数对镁合金刻蚀的影响尚缺乏定量化的研究这一现状,本文利用光纤激光打标机进行打标实验,结合表面形貌的特征分析了激光种类和参数的影响,总结了镁合金激光精密打标技术的特点与应用。     

多晶体X射线分析实验中的误差分析与外推法

分析多晶体的X射线分析实验中的主要误差来源与消除误差的办法,讨论外推法在该实验中的局限性.     

基于深层迁移学习的DR胸片肺结核病灶检测

针对基于传统机器学习方法设计的DR胸片肺结核检测器存在着泛化能力不强,实际检测精度低等问题,提出了一种基于Focal Loss的深度学习检测方法Tuberculosis Neural Net(TBNN).医学图像的特殊性,存在带标注的数据量小导致无法充分训练深层网络模型等问题.该方法利用肺炎和肺结核同为呼吸道感染疾病且在DR胸片上有相似表征的特点,基于迁移学习原理训练特征提取子网络,减少肺结核胸片样本不足对模型训练造成的影响.首先在大型的肺炎胸片数据集上训练特征提取网络,以获取DR图像中丰富的深层图像语义信息,然后使用样本较少的肺结核数据集微调网络参数,并将多层卷积的输出作为TBNN分类子网络的输入,得到基于DR胸片的肺结核病灶检测模型.实验结果表明,该方法生成的检测模型在分类精度和性能上均优于基于传统机器学习的肺结核检测器.在同等训练数据量和训练周期下,模型性能高于其他采用传统数据增强方法的深层网络肺结核检测算法,且能标识病灶区域,准度上有不低于放射科阅片医生的表现.