微机械加速度计的应用和发展趋势

介绍了微机械加速度计的基本原理及其分类.重点论述了微机械加速度计的特点和它在民用领域内的不同应用,并对微机械加速度计领域内一些新的进展进行了讨论,指出了微机械加速度计的发展趋势.     

用瞬态激振法测量微机械材料的弹性模量

利用蚀刻硅技术制造的微机械构件 ,由于其特殊的制作过程需要对其材料的机械性能如弹性模量等进行测试。文章综述了已有的微机械材料弹性模量测试方法。在此基础上 ,提出了用瞬态激振法来测量微机械材料的弹性模量的方法 ,这种方法把微机械构件做成悬臂梁 ,通过对悬臂梁进行瞬态碰击激励并使之产生一个短暂的振荡。然后求得振荡趋于稳定时的频率 ,这就是悬臂梁的固有谐振频率。再通过计算公式求出微机械材料的弹性模量。这种方法具有测试装置简单、测量容易、精度高等特点。可作为一种常用的测试方法     

微机械加速度计的分析与测试

概述了力反馈型微机械加速度计的基本结构和工作原理，对其在重力场静态翻滚试验的输出特性作了数据分析，并对这种微机械加速度计的性能特点进行了综合评价。     

第12届世界微机械峰会——微／纳技术与应用

世界微机械峰会（The World Micromachine Summit）是世界各国交流微米纳米技术进展和国家发展战略的重要平台之一。该峰会自1995年在日本微机械中心的倡议下成功召开后，已经先后举行过了10届，是微机械技术领域一年一度的盛会。该会议的目的是通过各个国家和地区代表之间就涉及微机械技术各个方面问题的直接交流来促进微机械技术的发展，会议讨论的主题包括技术的研究与发展、产品的产业化和国家相关决策等多个方面。近年由于纳米技术的蓬勃发展，峰会将纳米技术与微机械技术一起并列为会议的讨论中心。     

基于子结构法的微机械陀螺性能解析

在微机械陀螺性能健壮性设计的研究中,为了解决微陀螺性能解析的高精度和计算时间的问题,以体微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺结构为研究对象,提出了基于子结构法的微结构动态性能解析法.在实现了微陀螺的高精度解析和分析的基础上,进行了微陀螺弹性梁优化设计,得到了性能优良的微陀螺弹性梁结构.通过实例解析,不仅验证了基于子结构法的微结构动态性能解析法的有效性,而且证明了其在微机械陀螺性能设计中的潜在价值.     

微机械振动陀螺隔离耦合的结构设计

微机械振动陀螺是新型的惯性元件,其误差源主要有微机械结构的Brownian噪声、电路噪声、机械耦合误差,以及电子机械耦合误差等,这些误差严重影响着陀螺仪的精度,由于制造误差等引起的机械耦合误差,可以通过改善陀螺仪的结构来减小耦合误差,文中从结构设计方面,提出单级隔离耦合和双级隔离耦合的结构方案,有效减小机械耦合误差,提高了精度。     

亚毫米金属微机械部件加工工艺研究

用一种廉价，批量化加工微机械零部件的工艺（准ＬＩＧＡ技术）制作了亚毫米金属（镍）微齿轮，微马达．实验结果表明，紫外线深曝光和精密电铸这些常规并结合牺牲层技术，进行金属（镍）微部件加工这一套工艺是可行的，同时文中对于影响微部件加工精度的因素进行了初步讨论。     

载体驱动硅微机械陀螺的电学模型研究

本文针对载体驱动硅微机械陀螺的动力学特性，建立了基于微机械陀螺机械振动特性和电学特性的等效电路模型，利用电学模拟工具Pspice对模型进行了验证。模拟分析与实验结果表明，采用机电模拟方法建立的微机械陀螺电学模型可替代动力学模型，用于接口电路的设计与仿真， 利用该模型设计的电路能满足载体驱动硅微机械陀螺性能指标的要求。     

微机械单晶硅陀螺仪谐振器结构参数设计

微机械单晶硅陀螺仪谐振器的结构参数设计对陀螺仪的机械性能影响很大，它决定了陀螺仪的水平和垂直方向的固有振荡频率，并影响微机械单晶硅陀螺仪谐振器的振荡幅度，因而，也直接影响微机械单晶硅陀螺仪的灵敏度。研究了微机械单晶硅陀螺仪谐振器的结构参数设计与其机械性能的关系，探讨了微机械单晶硅陀螺仪谐振器结构设计的一般原则，微机械单晶硅陀螺仪谐振器的结构参数对其动态性能有显著的影响，文中对此进行了仿真研究。     

采用薄片溶解工艺制造微机械惯性仪表的实验研究

介绍了一种用以制造微机械惯性仪表（包括微陀螺和微加速度计）的微机械体加工方法——体硅溶解薄片法。它包括硅片工艺、玻璃工艺和组合片工艺。整个工艺过程只需单面处理,三次掩膜。硅片工艺包括刻凹槽,深扩散和干法刻蚀三次工艺过程。玻璃上用剥离的方法形成引线和电极的金属层。然后将硅片和玻璃倒接,进行静电键合。最后腐蚀掉硅片背面未掺杂的体硅,从而分离出结构。本文结合微陀螺的具体结构,详细阐述了每一工艺过程的要点,并着重介绍了硅上刻高深宽比槽的技术。该方法形成的结构与衬底不易粘附,成品率高,制造成本低,可形成的结构图形多种多样。     

从科学学到科学社会学

分析科学学到科学社会学这一研究发展趋向。认为科学学最初的定位具有局限性,很难将系统的观点贯彻到底;科学社会学的研究有助于弥补这种局限性,而且也为科学学的研究开辟了广阔的前景;科学社会学不能取代科学学的研究,两者应该按照互相利用对方研究成果及组织联合研究的方针发展。     

树立三位一体的科学观

树立自然科学、社会科学、人文科学三位一体的科学观,对于完整理解科学的涵义、充分发挥科学的功能和有效促进自然科学、社会科学、人文科学的全面发展、协调发展和可持续发展都具有十分重要的意义。     

浅谈表达与交流在科学认识活动中的重要意义

科学探究活动的每一个环节都有其存在的重要性和必要性,＂表达与交流＂也不例外.然而在当前的小学科学教学中,这一环节并没有真正地体现出它在科学教育与科学学习中应有的作用和价值.对这一环节弱化、形式化地处理,在小学科学课堂中较为普遍.反思其中的原因,可以总结为＂认识使然＂.很多一线科学教师并没有真正认识到＂表达与交流＂在科学发展的过程中的作用,没有真正地理解科学知识的性质等等.本文便是从＂对科学的认识＂这一角度来对科学学习中＂表达与交流＂这一环节的现状所做的粗浅的分析.     

素质教育落实与初中化学教学初探

科学知识是发展学生科学素质的基础,科学教育能逐渐培养学生的科学能力,培养良好的科学品质,使学生掌握科学方法,形成科学意识.初中化学教学应以提高和发展学生的科学素质为中心,使他们能够运用所学的知识解释身边的化学现象,处理身边的化学问题,破除迷信,崇尚科学,关注环保,造福人类..     

科学史教育：一种英雄史诗的励志教育？

现行的科学史教育大多是励志性的教育,一些学者也提倡这种科学史的教育功能。科学史励志教育有其不足：缺乏对于演化中的科学从学院科学走向后学院科学中本性改变的反思与批判;应然的科学与实然的科学有所不同,科学史教育不应粉饰科学。科学史教育中,融入了对科学的批判与反思,不会造成对科学的诋毁。融入反思与批判的科学史与科学史教育,符合主流的研究和教育。融入反思的科学史教育,可以更全面地理解科学的多样性,理解科学的限度,可以使学生获得一种独立思考和批判的意识和能力。     

科学传播中的议程设置

大众媒体在面向公众的科学传播中扮演着重要的角色。科学传播借助媒体影响着越来越多的公众,同时科学传播的问题也越来越受到媒体偏好的影响。在面向公众的科学传播中,媒体而不是科学共同体正在左右着科学传播的议程,这是应当引起我们重视的问题。     

明清之际中国传统科学发展缓慢之因探寻

[]?我们如果以西方近代科学为标准,通过将中国传统科学结构体系与西方近代科学结构体系对比,不难看出中国传统科学的内部结构存在许多先天缺陷.例如,科学发展的体制方面存在的问题以及科学发展缺乏可持续性的支持性要素是中国传统科学落后,中国辉煌的古代科学迟迟难以过渡到近代科学形态的原因.     

政府介入科技事业的理论分析

科学技术的重要作用日益为人们所认识，政府在促进科技进步和作用越来越明显，政府为何要介入科技事业，政府在什么范围内支持科技事业，政府如何更好的促进科技进步，这些都是是思考的问题，从分析科技，经济与财政的基本关系入手，阐述了政府介入科技事业的原因并根据科学技术的分类和社会主义市场经济条件下的政府职能，界定了政府介入科技事业的范围。     

浅谈现代科技进步与传统文化复兴

近代自然科学是西方文化的产物,并曾长期作为西方文化的组成部分而存在。而整个现代科学则基本上是近代自然科学传统的继续和发展。因此,在当今科学技术日新月异的形势下,正确认识和处理现代科学技术与传统文化之间的关系,显得尤为重要。     

关于空间科学概念的若干考证

 空间科学在不同语境中产生了各种各样的表达，带来一些不必要的歧义。为厘清基本概念、促进事业发展，在追根溯源、国际对照研究基础上，考证了空间科学概念，指出地球物理学和天文学是最早进入空间开展研究的自然科学；空间科学在中国学科专业目录和国家学科分类标准中，虽不是独立的门类，但下属的学科领域均属母学科的重大前沿，使得母学科得到前所未有的发展。辨析了空间科学与空间技术和应用、空间科学与天文学、日球层顶与太阳系边界、空间科学与深空探测、科学卫星与业务卫星、空间科学任务以及有效载荷技术等概念的内涵，呼吁各界重视和支持空间科学，加快发展空间科学卫星系列，使空间科学成为开放型的研究体系和学科群，可为相关战略规划、学科研究、项目申请和科学传播提供参考。