Al—SiOxNy—Si系统有效功函数差和界面特性的研究

本文采用氩离子刻蚀法，将ＳｉＯｘＮｙ膜减薄成不同厚度的样片，并制成Ａｌ－ＳｉＯｘＮｙ－Ｓｉ系统的ＭＩＳ电容器。利用平带电压随膜厚度变化的关系和最小二乘法，测定有效功函数差和Ｓｉ－ＳｉＯｘＮｙ系统的固定电荷密度。结果表明，该系统的平带电压值明显高于Ａｌ－ＳｉＯ２－Ｓｉ系统的值，原因是固定电荷密度增大、有效功函数差减小和相对介电常数增大的综合结果。有效功函数差的减小与Ｓｉ－ＳｉＯｘＮｙ界面态密度的增大     

Al／BaTiO3／Si结构的湿敏特性

用氩离子束镀膜法制备ＢａＴｉＯ_３／Ｓｉ系统，并在４００－９００℃的温度下用氮气保护进行退火，然后制成Ａｌ／ＢａＴｉＯ３／Ｓｉ的ＭＩＳ结构。用俄歇电子能谱分析ＢａＴｉＯ３膜的化学组分．研究电容－相对湿度和电流－相对湿度特性，以及固定电荷密度对湿敏特性的影响．结果表明，当相对湿度从１２％变化到９２％时，电容量增加４８％到５０％；在３Ｖ偏压下，电流量增加４２０％到４４０％；随着固定电荷密度的减小，吸附响应时间增加，电流变化率减小．     

用快速热工艺氮化超薄SiO2膜的研究

将热生长的超薄（４－２３ｎｍ）ＳｉＯ２置于用卤素钨灯作辐射热源的快速工艺系统中，用快速热氮化工艺制备了超薄的ＳｉＯｘＮｙ膜。研究表明，设定温度是工艺的关键。研究ＲＴＮ过程的化学和动力学与温度关系及其对氮化质量的影响，比较各种不同条件ＲＴＮ制备的ＳｉＯｘＮｙ膜的ＡＥＳ测量的结果，得到ＲＴＮ反应的临界混度约为９００℃，初步了灯眼薄ＳｉＯ２生长动力学的氮／氧替代的微观过程。     

用于VLSI的新型介质膜界面陷阱的特征

采用雪崩热电子注入技术和高频Ｃ－Ｖ准静态Ｃ－Ｖ特性测试,研究了新型快速热氮化的ＳｉＯｘＮｙ介质膜界面陷阱的特征,侧重于研究界面陷阱的特性与分布。结果表明：这种ＳｉＯｘＮｙ薄膜禁带中央界面陷阱密度随氮化时间的分布变化呈现”回转效应“,且存在着不同类型、密度悬殊很大的电子陷阱、指出雪崩热电子注入过程中在Ｓｉ／ＳｉＯｘＮｙ界面上产生两种性质不同的快界面态陷阱;给出了这两种界面态陷阱密度在禁带中能量的分布     

背面氩离子轰击改善MOS系统界面特性和击穿特性

在室温下用低能量Ａｒ＾＋轰击ＭＯＳ电容器肾面，能改善ｉＯ２－Ｓｉ系统的界面特性和击穿特性。结果表明，随着轰击时间的增加，固定电荷密度、界面态密度和漏电流减少，高场击穿的比率增大，然后这些参数变化平缓并开始呈恶化趋势。轰击能量为５５０ｅＶ和束流密度为０．５ｍＡ／ｃｍ＾２时的效果比在３５０ｅＶ和０．３ｍＡ／ｃｍ＾２时的好。     

钾霞石与白榴石对铝碳材料影响的量化从头算

应用量子化学从头算方法探讨了Ａｌ２Ｏ３－Ｃ材料的碱蚀产物－钾霞石与白榴石对Ａｌ２Ｏ３－Ｃ材料的物理，化学性能的影响机理，给出了合理的微观解释。研究表明，Ａｌ２Ｏ３－Ｃ材料在高温碱蚀条件下，其中的Ａｌ２Ｏ３和ＳｉＯ２与Ｋ２Ｏ工Ｋ２ＣＯ３形成ＫＡｌＳｉＯ４及ＫＡｌＳｉ２Ｏ６Ｆ６。使原Ａｌ２Ｏ３中的原子间距增大，结构改变，原子间结合力大大下降。     

Fe－Si－Al系合金的耐碎裂性与组织的关系

Ｆｅ－Ｓｉ－Ａｌ系合金的耐碎裂性与组织的关系用于自动剪票机、磁卡电话机等的磁头铁芯材料必须使用同时具有高磁通密度、高耐磨性和高耐蚀性的磁性材料，目前能满足这些要求的材料只有Ｆｅ－Ｓｉ－Ａｌ合金。Ｆｅ－Ｓｉ－Ａｌ系合金的磁头铁芯，一般采用磨削加工方法从...     

真空紫外光直接光化学气相沉积SiO2界面特性的研究

通过ＭＯＳ结构Ｃ－Ｖ特性曲线和Ｃ－Ｖ特性滞后曲线，对不同淀积条件下的ＳｉＯ２－Ｓｉ界面特性进行了研究，并与热氧化法和ＰＥＣＶＤ法生长的ＳｉＯ２膜界面进行了比较，结果表明，在不同工艺条件下，其界面电荷密度有所不同，与热氧生长膜的界面电荷密度相近，比ＰＥＣＶＤ膜的界面电荷密度稍低，且其界面基本上呈现负电荷中心，根据俄歇电子能谱的结果，对其界面负电荷的形成作了定性的解释。     

CaO－Al_2O_3－SiO_2熔渣的作用浓度计算模型

根据相图和炉渣结构的共存理论，推导了ＣａＯ－Ａｌ２Ｏ３－ＳｉＯ２渣系作用浓度的计算模型，计算的ＮＣａＯ和ＮＳｉＯ２与相应的实测αＣａＯ和αＳｉＯ２基本符合，从而证明所得模型可以反映本渣系的结构本质。与此同时，还发现生成正硅酸盐（２ＣａＯ·ＳｉＯ２）的碱度因Ａｌ２Ｏ３的增加而变大的事实和本渣系有∑ｎ较小的活跃部分。     

AI~(3 ),Ph~(2 )掺杂提高SIO_2驻极体正电荷贮存性能

运用熔凝工艺在非晶态ＳｉＯ２薄膜驻极体中掺入质量分数为０．２的Ａｌ２Ｏ３和质量分数为０．４的ＰｂＯ．高温恒栅压正电晕充电及等温电荷衰减等实验表明,经Ａｌ(３＋)和Ｐｂ(２＋)离子掺杂改性的ＳｉＯ２薄膜（ＳｉＯ２－Ａｌ２Ｏ３－ＰｂＯ）具备较好的正极性驻极体性能,其正电荷储存稳定性在２１０ｄ后高于９５％;热激放电（ＴＳＤ）正电荷电流谱成为简明的负向放电曲线,峰值稳定于ｔ＝２９０℃附近;薄膜成形温度降低为８００℃左右,工艺得到简化．这表明有针对性的离子掺杂可以有效改善ＳｉＯ２薄膜体内的微观网络结构,从而提高其电荷注人与存储能力．     

步进电机细分运动控制量的优化

步进电机细分控制量优化对提高细分精度、减小细分误差有一定的重要性和必要性。定义了时间、控制量及角位移三维空间，介绍了离散控制量的优化方法，并提出了离散量控制细分优化方案。该方法对任何种类的步进电机控制细分都有意义。     

纤维素／PF／DMSO纺丝溶液的制备及其性能

本文研究了纤维素／多聚甲醛／二甲基亚矾（Ｃｅｌｌ／ＰＦ／ＤＭＳＯ）纺丝原液的制备及溶解时甲醛的回收。同时探讨了原液的粘度，原液中粒子分布，原液的流变性、稳定性和熟成等性质。研究表明．溶解时用碳酸铵溶液吸收甲醛，效果良好，回收率可达７４．２％。该体系溶液稳定，溶液中纤维素的临界浓度约为０．３７２ｍｏｌ／Ｌ。     

三七混合脂肪酸的GC／MS／DS分析

用ＧＣ／ＭＳ／ＤＳ的方法对三七的混合脂肪酸甲酯进行分析，共分离鉴定出了７种三七脂肪酸，其中主要成分为８，１１－十八碳二烯酸，９，１０－二羟基十八烷酸和２－己基癸酸。     

原油各组分表面膜性质的研究

从草桥重质原油和草桥重油中分离出饱和分、芳香分、胶质和沥青质,用Ｌａｎｇｍｕｉｒ膜天平研究了这些物质在水面上形成的表面膜的膜压及水相ｐＨ值对膜压的影响。研究结果表明,在相同的归一化面积下,沥青质表面膜的膜压明显高于其它组分的表面膜膜压。与沥青质相比,胶质的表面膜膜压随水相ｐＨ值的增大有较显著的增高。     

PVP对十二烷基甜菜碱/正戊醇/正庚烷O/W型微乳液性质的影响

研究了聚乙烯吡咯烷酮（PVP）存在时，由两性表面活性剂十二烷基甜菜碱（C12BE）/正戊醇（C5OH）/正庚烷（C6H16）和NaCl组成的O/W型微乳液的黏度、Ph、界面张力及形成热效应的变化，结果表明，加入PVP后，微乳液的黏出现电站效应；PH值呈下降趋势，但PVP的分子量不同，PH值下降的幅度不同；PVP的存在，导致微乳液与油相的界面张力稍有升高；微量热测定结果表明，PVP的存在导致微乳液的热效应减少。     

Ag/KC1/六氢吡啶体系中表面增强喇曼谱的稳定性

在对影响表面增强喇曼散射(SERS)谱稳定性的各种因素进行分析评述的基础上,重点研究了Ag/KCl/六氢吡啶体系中氯离子浓度、电极电位等因素的影响。结果表明,氯离子浓度、电极电位均有较明显的影响,并有一最合宜的数值;同时,激光照射和溶液中氧对稳定性的影响在两者共同作用时尤为明显。     

数模、模数转换器的测试方法研究

本文详细讨论了A/D和D/A转换器的动态特性和静态特性的测试方法,提供了测试装置的详细框图。     

溴化锂吸收式制冷循环热力计算程序的开发

对三效溴化锂吸收式制冷循环热力计算程序设计的基本思路和计算方法进行了说明，并对该计算程序的功能进行了演示。     

PDP-11/45与PDP-11/23微机系统综合改造技术探讨

本文提出一种在微机软件上实现18位地址磁带机与22位总线系统的联机技术,并研究了在一类 PDP-11宿主机上生成另一类具有不同型号主机和不同系统配置的PDP-11 目标系统的技术。利用这些技术对PDP-11/23和PDP-11/45两种系统进行了改造。实践证明,改造后的两个系统工作都很正常,实现了PDP-11/23磁带机的正常联机使用,并大大增加了其后备存贮容量。使 PDP-11/45的 CRT终端扩充到 9台,建立了PDP-11/45和 PDP-11/23机之间的正常通信渠道,共享软件资源。