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介绍一种用于nm级制造具有xyz三维微定位能力的扫描探针显微镜(SPM).采用电磁足周期性地夹紧与松开,结合压电陶管的轴向伸缩变形的微位移爬行器构成三维微定位机构.扫描范围可达20μm×20μm,且探针可在样品表面x和y方向上10mm×10mm范围内实行nm级的定位.探针在z方向接近样品表面也可自动进行.给出了微定位器的运动分辨率、速度与工作频率,以及在扫描道显微(STM)方法下测得的高定向石墨表面原子图像 相似文献
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为了对镗杆施加径向可控随动作用力.在镗床主轴与镗杆之间设置一个柔性铰链变形机构(转子),而在其外围设置一个多磁极加力机构(定子),两者形成一个回转式电磁微位移驱动机构.定子与转子之间的作用力取决于定子线圈中的控制电流,改变控制电流可以改变转子与定子之间的作用力,实现转子相对于定子的径向微位移.通过对电磁驱动力的数值建模,提出了实现电磁驱动机构同步驱动的控制方法;通过对电磁驱动力线性化误差进行分析,给出了电磁驱动器关键参数的设计方法.在正常工作范围内,电磁驱动器微位移与控制电流之间具有较好的线性关系.模拟试验表明,通过改变控制电流的大小,转子(镗杆)中心的回转半径随之变化,从而带动镗杆在径向上做精密微位移. 相似文献
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给出了复常系数线性微分系统的通解公式,并且利用变量替换的方法,给出了一类复变系数性微分系统的通解公式。 相似文献
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我们在140K到450K的温度范围内测量了真空蒸发的无定形和微晶硅薄膜的电导,结果显示出氢处理前后两种材料电导温度特性变化的明显差别。本文给出了新的解释并估计出了它们中的缺陷密度。 相似文献
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研究非均匀不可压磁微极流体方程组在全空间R3上的最优衰减率.首先,利用能量估计法给出方程组解的高阶导数的能量不等式.其次,在s∈(0,1/2]和s∈(1/2,3/2)的范围内,分别得到在负Sobolev空间中方程组解的估计.最后通过转化得到常微分方程进而求得不可压磁微极流体方程组解的高阶导数的最优衰减率. 相似文献
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制备了十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)/正丁醇/正庚烷/水体系拟三元相图;通过电导法确定了十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)/正丁醇/正庚烷/水微乳体系结构;研究了温度、酸度对微乳体系稳定性的影响。结果表明,在较大的表面活性助剂与表面活性剂的质量比值范围内(w(乳化剂)=m(C4H9OH)/m(CTAB)),体系能在较大的组成范围内形成微乳区,该微乳区对温度变化不敏感。随着体系水相酸度的增加,微乳体系的含水量呈不规则变化。 相似文献
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张恒道 《河北理工学院学报》1995,(1)
论述了斜交微面上应力合理的充分与必要条件,提出了两种描述方法,指出了其实质是平衡条件;以楔形微体为例给出了描写应力互换定律的一般公式。为迅速检查斜交微面上的应力是否存在(即是否合理),给出了求应力分量的解析式。 相似文献