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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 78 毫秒
1.
利用MEVVA离子源进行离子束合成,制备了C^+离子注入单晶Si衬底的样品,并利用椭偏光谱法研究了退火和未退火两种情况。椭偏光谱测量波长范围为400 ̄2000nm。通过对所测量样品的椭偏光谱数据分析,可得到离子束合成SiC/Si异质结构的多层膜结构。椭偏光谱法的测量结果证实:退火样品形成了SiC埋层,即使进行高温、长时间退火处理,该埋层SiC仍难以得到SiC体材料的光学常数。  相似文献   

2.
椭偏谱法测量类金刚石薄膜的质量   总被引:1,自引:0,他引:1  
应用椭偏光谱法研究了一系列不含氢DLC样品,讨论了样品制备与测量、模型的建立及多样品分析法和椭偏数据拟合,表明椭偏光谱法可以确定DLC膜的厚度,并可反映出sp3成份百分比变化与制备时偏置电压的关系.  相似文献   

3.
应用椭偏光谱法,测量透明膜和吸收膜的折射率、厚度及消光系数.利用Delphi语言编程对实验数据进行处理,其结果与已正式出版的椭偏测厚数据表进行对比,各测量点绝对误差为0.01nm,该程序适用于椭偏光谱仪对各种匀质膜测量的数据处理.  相似文献   

4.
本文包括三个方面:(一)比较了用剥层椭偏光法和背散射法测得的注P~ 硅中的损伤分布.实验结果表明,当注入剂量为5×10~(14)/厘米~2、10~(15)/厘米~2及10~(10)/厘米~2时,注入区形成了不同厚度的非晶层,且由椭偏光法测得的非晶层厚度及分布区域与由背散射沟道分析法测得的符合很好;在注入剂量为2×10~(14)/厘米~2的较低剂量时,未形成非晶层,从椭偏光法测得的损伤峰位置亦与背散射法所得结果一致.(二)用椭偏光法研究了注As~ 硅表面层的离子注入增强腐蚀效应.文中提出了一种较精确地测量注入层腐蚀厚度的方法,并测得注As~ (剂量为10~(15)/厘米~2)的硅注入层在温度为43℃到45℃的23%稀释HF酸中增强腐蚀速率为6.5埃/分到22埃/分.(三)用椭偏光法研究了注入10~(15)/厘米~2As~ 的硅在500℃下的热退火过程.实验证实了离子注入引起的非晶层在热退火时发生固相外延.用剥层椭偏光法测量经过热退火后的注入区,发现△和ψ值都较正常硅的低,ψ最低可达9.2°,其原因还有待进一步研究.  相似文献   

5.
测量了12keV注入能量、8×10 ̄(14)~2×10 ̄(15)/cm ̄2剂量砷离子注入硅的椭偏光谱,并用最优化拟合算法从椭偏光谱定出损伤分布。这种低能量离子注入的结果表明,损伤分布呈现为平台型,体内不出现峰值,损伤深度为12.5~16.0nm,与背散射沟道技术测定结果相符合。  相似文献   

6.
利用经典模型,研究了激光脉宽对椭偏光驱动的Ar原子次序双电离(SDI)的影响.结果发现,二价离子动量分布强烈地依赖于激光脉宽.随激光脉宽增加,离子动量分布从二带结构变为四带结构,然后又变为六带结构.向后分析双电离轨迹既显示了椭偏光驱动的原子次序双电离中的亚周期电子出射现象,又表明带状结构随激光脉宽的演化取决于第二个电子电离时间随激光脉宽的变化.  相似文献   

7.
本文介绍了光纤生物传感器、椭偏光学生物传感器、纳米级PEBBLE传感器三种光学生物传感器的发展及在医学上的应用情况,并讨论了光学生物传感器的研究进展.  相似文献   

8.
本文介绍了光纤生物传感器、椭偏光学生物传感器、纳米级PEBBLE传感器三种光学生物传感器的发展及在医学上的应用情况,并讨论了光学生物传感器的研究进展.  相似文献   

9.
本文介绍了光纤生物传感器、椭偏光学生物传感器、纳米级PEBBLE传感器三种光学生物传感器的发展及在医学上的应用情况,并讨论了光学生物传感器的研究进展。  相似文献   

10.
采用阴极真空电弧离子沉积技术在硅基片上制备出了MgO薄膜。利用椭圆偏振光谱、原子力显微镜及扫描电子显微镜分别对不同氧流量下制备的MgO薄膜的厚度,光学常数,表面粗糙度及表面形貌进行了分析,并对椭圆偏振光谱的光学粗糙度结果和原子力显微镜的均方根粗糙度结果进行了对比和分析。结果表明,不同氧流量下制备出的MgO薄膜,表面粗糙度及薄膜颗粒随着氧流量的增加而增大。椭偏光谱与AFM得到的表面粗糙度存在线性一致关系,表明椭偏光谱可作为一种很好的无损分析手段。  相似文献   

11.
本文简述了尺寸基准及其概念的重要性,分析了有关尺寸基准概念一些初始提法中存在的问题,提出了在建立及表述尺寸基准概念中解决这些问题的新观点与设想。  相似文献   

12.
血小板减少症病人的护理   总被引:2,自引:0,他引:2  
本文介绍了造成血小板减少的原因及危害性。阐述了对血小板减少症病人的观察、护理和预防出血的措施。  相似文献   

13.
有限级随机全纯函数   总被引:3,自引:1,他引:2  
本文讨论了系数为随机N变量的有限级随机全纯函数级数的a.s.增长性及值分布问题,推广了有关狄里克莱级数在收敛平面上的增长性.  相似文献   

14.
本文研究弹塑性圆棒的颈缩,材料被认为是可压缩的。运用有限变形理论。获得了分岔荷载。  相似文献   

15.
本文研究R~n中任一个有界集的外域上SObolev方程的初边值问题 是R~n中任一有界集的外域且其边界■Ω光滑. 假设有:m≥2[n/2]+3,ρ(x),ψ(x)∈H~(2(m-1))(Ω);a_(ij)(i,j=1,2,…n)及f∈■w~(k·∞)(0,T;H~(m-k-1)(Ω)),则(G)存在唯一的经典解.  相似文献   

16.
本文从四个方面对禾本科作物特别是水稻的基因转化的新近研究成果进行了评述。作者认为,研究工作取得了不少成果,但尚未建立起一整套具体的操作模式.  相似文献   

17.
本文利用极限对一个古典衰分问题作了深入的研究.  相似文献   

18.
本文讨论了关于有限维半鞅序列的随机积分序列的弱收敛性和与此半鞅序列相对应的二次变差过程及张量二次变差过程的弱收敛性,推广和修改了Jakubowski A,Memin J,Pages G,[1] DarrellD,Philip P[2] 中相应的结果。  相似文献   

19.
有机配体EDTA对土壤中稀土生物可利用性的影响   总被引:2,自引:0,他引:2  
实验采用盆载的方法,研究了有机配体EDTA对稀土元素La、Sm、Ce、Gd、Y在土壤-植物系统中迁移和富集及生物可利用性的影响,结果表明:对每种土壤类型而言,稀土元素均主要订在小麦的要脱。  相似文献   

20.
学龄前儿童的营养调查和分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文通过对我院幼儿园学龄前儿童一周的中餐及全天膳食中蛋白质量的调查,发现热量、蛋白质、糖、维生素B1、C及钙的供给不足,指出应改进食谱,合理调配,提高以上营养素的含量,以确保学龄前儿童健康成长.  相似文献   

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