微机电系统(MEMS)技术的研究与应用

微机电系统是源于微电子加工技术，融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。其特征尺寸极小，学科交叉广泛；技术研究包括微系统理论、设计建模、微机械加工、微器件集成等多个方面；学科分类涵盖了机械、力学、光学、流体、电磁学、生物学等各领域，在民品和军品领域有许多热点应用。本文介绍了微机电系统发展概况、微机电系统技术关键、微机电系统有关传感器，以及微机电系统热点应用和微机电系统技术的发展前景。     

微系统研究展望

微系统是在微米/纳米尺度上开展研究工作的，涉及到多种科学和技术领域，含微电子、微机械、微光学、化学、生物技术和材料等，它是多种技术的综合和多学科交叉的前沿领域，已显示出强大的生命力。微系统研究在传统理论和技术基础上起步和发展，人们在硅片上制作微型机械、微马达和光路系统微型化的惊喜之余，又引起了一些困惑和思考。人们必将冲破传统科学技术和思想，通过科研有所创新和突破，不断开拓进取，真正成为高新技术的生长点和面向市场新的经济增长点，开创21世纪新兴产业，这是当前迫切需要研究的课题。 现在，微系统研究的热点是：微域的科学和技术基础；新的信息获取、传输和处理技术；超精密检测和操作；微系统新材料和微制造技术。     

微机械生产发展的前景分析

微机械元件和微机械仪器,适于大批量生产,具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点,近十年来,研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展,展现了美好的前景。一、前言微电子技术的发展,为通讯、信息处理和生产、生活及办公自动化等领域带来了巨大的进步,使人类的生活方式、思维方式和社会的产业结构发生了巨大的变化,将人类带入了信息时代。在电子技术深入发展的同时,一项新的技术棗微机械技术悄然的诞生。微机械发展迅速,具有巨大的发展潜力和应用前景。许多科学家坚信,它将成为继微电子技术之后又一项推动社会迅速进步的革命性技术。微机械的全称为微电子机械系统,是以微电子技术和微加工技术为基础的一项新技术。早在六十年代,微机械技术的概念就开始萌芽,一些富有创见的科学家开始探索用硅的微加工方法,制作传感器、执行器和控制器,并设想将它们集成在微小的几何空间,从而形成高度自动化、智能化、可以大批量生产、价格低廉的微电子机械系统。微机械压力传感器等技术的成熟并市场化,IC工艺制作的静电微电机的研制成功,标志着微机械技术已经发展成了一门独立的新兴学科。十余年间,微机械技术取得了众多新成果,微机械技术透浸到众多领域,产生了巨大的经济和社会效益,展现了美好的前景。     

浅析微网在配电系统中的应用

简要介绍了微网的概念及特点,总结了国内外微电网技术的研究现状,指出微网的接入以及其自身运行特点都将给在配电系统中的应用带来的新问题。在此基础上,提出现状含微网的配电系统在运行中亟需解决的问题,并且针对我国国情以及电力发展的情况提出一些建议。     

浅析微网在配电系统中的应用

简要介绍了微网的概念及特点,总结了国内外微电网技术的研究现状,指出微网的接入以及其自身运行特点都将给在配电系统中的应用带来的新问题。在此基础上,提出现状含微网的配电系统在运行中亟需解决的问题,并且针对我国国情以及电力发展的情况提出一些建议。     

微驱动器及其驱动原理

微机电系统(MEMS)是20世纪80年代在微电子技术的基础上兴起的一门应用技术。其中,微驱动器是微机电系统的重要组成部分。主要介绍了电磁驱动、静电驱动、压电驱动、形状记忆合金(SMA)驱动及热驱动等,介绍了它们各自的优缺点及其应用,对其应用前景进行了简要分析。     

微机电系统的发展

始于20世纪60年代的微机电系统(MEMS)是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域，是21世纪的核心技术之一．介绍了MEMS的形成、发展、基本研究内容、流行设计分析软件和主要制造工艺应用及微器件、微系统的种类和应用现状．     

十字型微谐振梁多场耦合振动及信号分析

微机电系统（MEMS）又称微系统或微电子机械系统，是在微电子技术基础上发展起来的一种高科技微型器件或系统。MEMS集光刻、腐蚀、LIGA、硅和非硅表面微加工、精密机械加工等技术于一体，其尺寸在微米量级。利用微加工技术生产的微传感器以结构简单、灵敏度高和工作稳定等特点而广泛应用于工程实际中。微传感器通常采用静电激励与电容检测方法检测信号，即利用谐振梁振动时的位移变化导致电极之间的距离变化，从而使电极之间的电容值产生变化，检测到的电容变化频率即为谐振梁振动的频率。为解决微传感器电容检测信号微弱、检测精度较低的问题，提出了一种十字型微谐振梁。为研究微谐振梁的多场耦合效应，在考虑范德华力、电场力的情况下建立了谐振子的多场耦合非线性动力学方程。采用林滋泰德-庞加莱法求解获得其非线性振动的动态位移，分析了多物理场参数对于谐振子振动位移平均值以及电容变化量的影响规律。运用微纳加工手段制作出十字型微谐振梁，采用静电激励-电容检测方法进行了谐振频率和振动位移导致的电容变化量测试。结果表明：十字型谐振梁增大了极板面积，电容变化量增加，其信号强度更强。当面积增大75%时，电容变化量为原来的4.2倍，信号强度...     

基于微塑性成形的微型零件批量制造技术

针对微塑性成形工艺的特点,选择压电陶瓷作微驱动器,研制出微塑性成形专用设备,实现了在较小位移内获得较大输出载荷。使用研制的设备开展微型零件成形工艺研究。对微型齿轮件的成形质量进行分析表明,微型齿轮齿面光滑,表面质量好;在横截面上流线与齿轮轮廓一致,利于提高成形件的综合机械性能。使用3003铝合金箔板研究了微型杯的拉深成形工艺,分析了工艺参数对微拉深成形的影响规律,成功的拉深出最小外径为1mm的微型杯件。以上结果表明,微塑性成形技术能够批量地成形出高质量的微型零件。     

三维微流道支架直接压印成形方法

针对软质生物材料支架内部三维微结构成形难题,提出了结合分层制造、微压印与冷冻干燥技术的三维微流道支架直接压印成形方法.通过开发自动化成形设备,实现了材料溶液填充、微结构压印、结构预冻、层间黏结等工艺过程的可控化,从而解决了传统手工操作所造成的结构重复性差、成形效率低等问题.研究了模具表面等离子处理、亲水物质添加、改变溶液填充方式等工艺对自动化成形过程中微结构复型性能的影响.结果表明,向材料溶液中添加微量亲水物质并辅助溶液填充引导,可实现软质水溶性天然生物材料内部复杂微流道结构的精确三维压印成形.通过工艺装备保证了成形过程的自动化和稳定性,从而实现了支架微结构制造的可重复性与可控性.     

缩微技术与缩微品如何面向市场经济

本文指出缩微技术与计算机光盘的结合对现代信息社会具有重要作用，着重阐述了缩微技术与缩微品应面向市场及如何面向市场的问题。     

微博对行业知识传播的影响

微博发展迅速,通过其自身特点赢得了互联网用户的青睐,近年来,越来越多的行业和企业试图通过微博进行相关知识的传播。介绍了国内外微博的发展状况,对互联网微博信息传递的内外部环境进行了SWOT分析,指出了微博存在的问题并提出了相应的建议。     

微机械的快速成型微细加工技术

由于微机械制造具有加工尺寸大小、成型分辨率要求高等特点,微机械的快速成型微细加工工艺存在着不同通用快速成型工艺的特殊问题及关键技术。该文对微机械光成型微细加工工艺和系统构成等进行了研究,制作了国内第一台微机械光成型实验系统,并加工出微曲柄等微零件,探索了快速成型微细加工技术制造微机械的新路子。最后提出了微机械快速成型微细加工的几个研究方向。     

动态测试系统微功耗技术研究

本文介绍了在动态测试系统中实现微功耗的关键技术以及对电路进行优化设计的常用方法;着重阐述了微功耗优化技术的相关内容;在分析现有模拟器件和功耗模型的基础上,从物理逻辑设计、软件编程优化、低功耗映射等方面评述了当前低功耗关键技术,并提出了相关可行的改进方案。     

微型热光电系统中的微燃烧室研究

微型热光电TPV(thermo photovoltaic)系统是一种新型的微动力系(Power MEMS)，微燃烧室是微型TPV系统中最重要的部件之一．为了获得较高的电能输出，希望燃烧室壁面的温度高且分布均匀．由于微燃烧室面容比大，热损失显著增加，这会导致着火困难并使火焰淬熄．为了分析微燃烧室中燃烧的可行性和确定有关影响因素，对不同材料、不同结构的微燃烧室在不同工况下进行了实验．结果表明，在一定的流量和混合比范围内，可以在微燃烧器内维持稳定的燃烧，并在燃烧室壁面形成均匀分布的高温．     

微细通道相变传热动力学特性研究

对微细通道相变传热的动力学特性进行了研究,通过引入汽液固三相分子间产生的不连续压力及Lie对称性分析获得了描述汽液接触界面的微分动力系统,并对0.6mm2mm的矩形微槽进行了实验,获得了压力时间序列,对该序列的功率谱分析表明,在7.39Hz以上的频段,系统出现了混沌,从而表明微通道的高效传热性能与系统的混沌特征有一定的关系。利用所得微分动力系统对本实验的混沌特征进行了模拟,获得了奇异吸引子相图,所得结论与实验结果一致。     

“微时代”的网络问政——政务微博与政务微信

随着互联网的迅速发展,＂微时代＂的到来已成必然。简述了政务微博和政务微信的特点,分析了二者的不同点,展望了微博和微信动态多平台合作模式。     

构建我国微型金融体系研究

近年来,微型金融服务能力不断增强,但微型金融供需矛盾非常突出,文中对微型金融目前发展存在的问题和制约微型金融发展的原因进行了分析,并探究了微型金融体系的构建,促进了经济金融协调健康发展。     

基于移动技术系统架构方法的微课程设计模式的构想

文章通过对移动学习技术和微课程设计研究现状的概述,探讨了最近几年微课程的发展趋势,分析了移动学习的优势,提出基于移动技术系统架构的微课程设计模式的构想,用图例法阐述了这种微课程设计方法的可行性.另外还指出该构想要真正得到实践应用,还需要对相应的教学设计、需求分析、不同人群所需要的不同微视频以及这些课程的辅助教学资源等大数据融合进行深入的研究.     

微机证明系统的设计与实现

在微机上用ＰＡＳＣＡＬ语言实现的命题演绎机器证明系统为背景，说明实现该证明系统的主要技术和技巧。证明了系统的算法和总体设计、公理模式和归约法则的建立、符号的处理、存储结构的选取、联结词消除以及输入输出处理等。对用微机来实现命题（谓词）证明系统提供了具有参考价值的意见。