双膜片的硅-蓝宝石高温压力传感器

介绍了用硅-蓝宝石材料制作的通过采用双膜片结构及真空高温烧结工艺制成的高温压力传感器,并利用电路温度补偿来提高传感器高温压力的测量精度.350℃下测得传感器的准确度为0.1%.     

应变式钢杯压力传感器的多层介质膜研究

在应变传感器的使用过程中,通常是将应变片用胶粘到待测的传感元件上,这种结构导致被测的应变片产生温度漂移.同时,胶膜引起的蠕变和滞后,也限制了传感器的准确度和长期稳定性.开发良好的铂薄膜电阻应变式钢杯压力传感器的研究具有重要意义.通过多层介质膜解决金属薄膜衬底和铂薄膜电阻间的隔离层问题,提高了应变式钢杯压力传感器的力学特性和长期稳定性.     

背面引线压力／氢离子敏传感器的研究

报道了一种含微参比电极的差分结构，并可与其它敏感元和信号处理电路完全隔离的背面引线氢离子敏感场效应（ｐＨ－ＩＳＦＥＴ）新结构。基于硅的固相键合技术和硅微机械加工技术以及常规Ｎ阱ＭＯＳ工艺，研制成集成压力／ｐＨ－ＩＳＦＥＴ传感器，设计制作了高稳定的可调芯片自恒温系统，经实际工艺流水制成了样管，初步的测量结果证实了这种背面引线、微参比电极、全集成的新结构设计是成功的。     

一体化压力传感器的设计

硅压阻式OEM型压力芯体被广泛应用,但该封装结构的传感器在使用时需要二次设计引压接嘴和装配.提出了传感器改变了这一传统设计,将隔离膜片、引压接嘴及基体等一体化焊接,结构简单,装配环节少,成品率高,大大降低了产品的生产成本.试验结果表明:该传感器的性能达到了目前同类产品的水平.给出了该设计的具体结构形式、芯片的选用原则及各主要零部件的设计准则和注意事项.     

硅压阻式传感器与AD7705芯片在压力测量中的应用

介绍一种新型测量压力的元件——硅半导体压阻式传感器，并以MPX2100压阻式传感器为例，配合AD7705芯片构成压力测量系统，阐述压力测量系统的工作原理，说明系统的软、硬件设计方法．     

硅碳纳米管对甲醛气敏性能的理论研究

利用密度泛函理论,研究了不同含量甲醛在不同管径硅碳纳米管上的吸附,进而评估硅碳纳米管在设计气体传感器方面的应用.结果表明,甲醛分子能化学吸附到硅碳纳米管外表面,吸附能约为-1.48 eV,同时约有0.15个电子从硅碳纳米管转移到甲醛分子.因此从"电荷转移"角度来说,硅碳纳米管是一种良好的HCHO传感器.但是,两者间强的相互作用不利于甲醛分子的脱附,因而不利于硅碳纳米管的重复利用.因此,硅碳纳米管不适合作为甲醛的传感器.     

气体传感器静态测试系统电路设计

研究了一种气体传感器静态测试系统的电路设计原理和测量方法.采用匹配电阻串联分压的测试原理和微处理器程序控制技术,设计了匹配电阻自动切换电路和高精度工作电源、加热电源电路.提高了系统测试精度和测试范围.系统测试电路简单可靠;电源电压连续可调,可适应不同种类气体传感器的测试需求.     

智能高温压力传感器的研制

本文介绍了智能化硅－蓝宝石高温传感器的微机检测，运算处理和控制，由半导体工艺制成的硅压阻传感器，当其把压力信号转换为电信号以后，再由微机对检测的信号压力零点及灵敏度的温度补偿以及对压力非线性特性进行校正，最后对测量结果进行标定变换并显示，取得了理想的测量和控制效果。     

高精度力传感器的研究

高精度力传感器对计量,工业控制具有重要意义。本文介绍了电阻应变式力传感器的设计、计算、工艺及测试,并介绍了几种不同精度和结构的传感器,其精度可达0.03％F.S,0.1％F.S,0.2％F.S。     

在工作状态下感应反型层太阳电池的薄层电阻

给出了决定在工作状态下感应反型层太阳电池薄层电阻的一组方程.与以前的理论不同之处是考虑到了薄层电阻对电地工作状态的依赖性.分析中计及了电地外表面上的象电荷和二氧化硅-硅界面的界面电荷的作用.文中以氮化硅-二氧化硅-硅结构的感应反型层太阳电池作为实例,研究了它的薄层电阻与工作电压的关系.结果表明,当工作电压在0,4V附近时,薄层电阻有一最小值,而当工作电压大于0.4V时,薄层电阻随工作电压的增高而急剧增大.