IC_集成电路_掩模缺陷检查系统通过鉴定

IC光刻掩模质量的好坏,对集成电路产品的性能和成品率的影响极大.目前,国内集成电路生产中检查光刻掩模缺陷的方法,大多数采用显微镜检查法,这种方法花费的时间较长,检验人员的劳动强度大,眼睛极易疲劳,因而容易发生漏检现象.为了改进光刻掩模缺陷的检查工作,华南师大物理系于1982年承担广东省高教局下达的“IC掩模缺陷检查系统”的科研任务,经过两年多的努力,完成了预定的研究任务,广东省高教局于1985年4月24日在华南师大召开了鉴定会,中山大学、华南工学院、暨南大学、广州仪器仪表公司、广州光学应用研究所、中国科学院上海技术物理研究所、中国科学院物理研究所,上海无线电十四厂、佛山无线电四厂等有关高等院校、科研单位、工厂共20个单位、40名代表参加了会议,通过了鉴定证书.会上,代表们听取了各有关报告,进行现场使用审查,经过充分讨论,一致认为:华南师大物理系研究成功的”IC掩模缺陷检查系统”,应用信息光学的原理,理论依据可靠,技术措施可行.与常规的镜检法对比,本系统可以迅速地明显地检查出光刻掩模缺陷的位置和数量,大大缩短检查时间,减轻检验人员的劳动强度,降低漏检率,显著地提高工     

IC掩模的频谱分析及方向性空间滤波器

把IC掩模的图形看作由许多大小不等、但有相同取向的矩形单元组成,它们的频谱只分布在互相正交的两个特定方向上.如果掩模存在缺陷,因为缺陷的形状是任意的,其分布是随机的,所以,缺陷的频谱分布无特定的取向.根据掩模频谱分布的特点,可制成一个方向性空间滤波器,来阻挡掩模正常图形的频谱,而让缺陷的频谱通过,最后在检查系统的成象面上清楚地显示缺陷的位置及形状.     

光掩模制造:集成电路产业的风向标——从凸版光掩模公司看产业发展

光掩模制造是集成电路产业链中工艺、设备、管理技术要求最高,资金投入比重最大的瓶颈工序。任何商业化的集成电路制造都离不开光刻掩模版这一核心产业。硅片光刻技术中光掩模制造业的快速发展是集成电路行业长盛不衰的关键。上海凸版光掩模有限公司作为最早进入中国的专业制造光掩模的工厂,具有行业领先     

用相移掩模光刻技术制作大相对孔径二元透镜的研究

简述相移掩模的基本原理，提出了用相移掩模光刻技术制作大相对孔径的二元透镜的设想，通过数据模拟对相移掩模光刻技术做了探讨，给出了适合国内ｇ－线光刻机的相移掩模的设计。     

二维周期和准周期离散无衍射涡旋光束

理论上研究了用一束涡旋光和一个振幅掩模制作二维周期或准周期离散无衍射光场的方法.通过改变涡旋光的拓扑荷数和掩模上小孔数,模拟得到了不同的四角、五角和六角无衍射光场的强度分布、相位结构和远场衍射图.另外,还总结了关于涡旋光拓扑荷数及掩模小孔数这两个参数和产生的无衍射光场之间的有趣的规律.     

编码掩模红外成像系统的建模与指标分析

一种编码掩模红外成像系统的建模方法,模型由两个功能部分组成:编码掩模和理想透镜组成的成像部分以及实际透镜的非理想成像部分.其中,第一部分可表达为掩模按照掩模到镜头前平面的距离发生菲涅尔衍射的作用,第二部分可表达为平行光照射光瞳结构并按照同样的距离发生菲涅尔衍射后的聚焦结果.因此,编码掩模成像系统的点扩散函数PSF可以由编码掩模的衍射模式和实际透镜的PSF组成.根据编码掩模的评价函数以及系统PSF的估计,研究发现,基于Dammann光栅结构的编码掩模模式对于直接成像和图像恢复重建具有比较均衡的性能.实验结果表明,对于直接成像的编码掩模成像系统,其掩模应该具有较强的随机性,而对于图像重建系统需具有较多的周期性结构.     

面曝光快速成形系统中掩模图形的生成方法

针对STL模型生成掩模图形的问题,从现有的STL模型切层软件中获取轮廓数据,使用VC++6.0实现轮廓环内外轮廓属性的判断、轮廓环填充次序的确定和轮廓环的填充,得到适用于面曝光快速成形系统的掩模图形.验证结果表明,该掩模生成方法可对多层嵌套的轮廓环进行合理填充,生成正确的掩模图形.     

金刚石膜同步辐射X—射线掩模的研究进展

超大规模集成电路（VLSI）线宽不断缩小促进了光刻技术的发展和分辩率的提高，缩短光波长和改进掩模是提高分辨率的重要途径，探索采用X-射线光刻技术时，用金刚石薄膜作为掩模基膜的研究现状与发展方向，金刚石薄膜因其具有优异的机械、光学和热学性能，已成为新一代掩模基膜材料的理想候选材料，介绍了金刚石薄膜用作掩模基膜材料上取得的实验成果，面临的问题和可能解决的途径。     

心脏超声虚拟内窥镜图像预处理技术

虚拟内窥镜是近年来兴起的一项崭新医学影像技术,将虚拟现实与科学计算可视化技术相结合,模拟传统的内窥检查过程而生成具有仿真效果的可视化图像.研发的三维心脏超声虚拟内窥镜系统(3DEIESS)可重建三维虚拟环境,使观察者"进入"被检查患者的心脏内部进行检查观察.采用基于同质掩模区域的滤波算法对超声图像斑点噪声进行抑制,应用brFCM算法对降噪后的超声图像进行初始分割,并使用多尺度分析与纹理对比度相结合的分割技术完成最终的图像分割.实验结果表明,在消除斑点噪声的同时,实现对超声图像边缘细节的有效保持,有助于提高三维心脏超声虚拟内窥镜显示效果.     

探讨技术领域中温度控制方案

本文阐述了化学增强型抗蚀剂（CAR）到抗反射涂层（ARC）,远紫外（DUV）光刻技术需要特殊的温度条件以及一些解决措施。对抗蚀剂处理设备温度性能的技术进行监控及分析;同时说明了检查测试热循环过程中实际的圆片热测量和掩模温度的现场监控。     

基于DSP嵌入式实时图像处理系统的设计与实现

设计一个基于通用高速数字处理器TMS320C6416的视频图像信号实时处理系统,硬件电路以DSP为核心,主要包括视频信号采集电路、视频信号转换电路、单片机控制电路及逻辑控制电路等部分;软件设计包括对采集模块的设置与启动、中断的响应、采集与处理后的图像数据在存储器之间的搬移及对数据进行实时处理等部分。最后在所构建的图像处理系统上验证了边缘检测算法并给出了实验结果。     

一种实时图象处理子系统的硬件实现

本文论述了一种以 TMS 32020为主处理器构成的快速图象处理子系统.该系统配接在 MC68000微型机上作为计算机图象系统的附加硬设备.它克服了一般微机数据量不大、运行时间长、无法实现实时处理等缺点,具有造价低廉、处理速度快以及使用灵活等特点.此外,本文还论述了用 TMS32020汇编语言实现二维数字滤波,特别是卡尔曼滤波对该系统进行的实践验证.文章最后部分对系统的进一步完善作了展望,认为在 TMS 32020的运行速度和存贮空间有限的情况下,提高系统的处理速度须采用多片 TMS32020处理器并行处理的方式.     

医学文献数字化加工系统及其功能分析

针对中国医学科学院图书馆承担的文献数字化加工任务,从文献数字化加工的流程出发,明确了建设文献数字化加工系统的目标,设计了系统的主要功能模块及其关系,并在此基础上分析了各模块的功能需求。     

实时图像处理硬件平台的设计与实现

实时图像的数字化处理技术的出现,大大地拓展了图像处理技术应用领域的广度和深度。实时图像数字化处理技术广泛应用于社会各个领域,探讨实时图像处理硬件平台的设计与实现,具有很高的研究和实用价值。本文针对实时图像处理系统平台中的硬件平台的设计与实现,进行了解、分析,基于目前所有平台现状,提出一种优化的实时图像处理系统平台。     

利用信号与系统概念分析线天线的互阻抗

基于信号与系统理论 ,并利用数字信号处理技术 ,提出了一种分析线天线互阻抗的新方法 .在这种方法中 ,借用信号与系统的概念 ,将天线阵中天线单元的电流视为激励信号 ,将天线阵的空间结构视为系统函数 (或传递函数 ) ,而将单元天线间的互阻抗 (或其它电磁特性 )视为整个系统的响应 .通过这种等效 ,可将天线阵中天线单元间相互耦合看作信号与系统中的系统响应 ,进而可利用数字信号处理方法进行分析 .最后给出了利用该方法计算对称振子天线互阻抗的实例 ,计算结果证明了该方法的有效性 .     

工作流的信息处理模型浅论

本文介绍了信息处理模型,并结合工作流技术阐述了工作流的信息处理模型,对信息系统的建设是具有十分重要意义的。     

基于Labview的信号处理虚拟实验平台

为便于学生更好地理解信号处理类课程中抽象的概念、原理及分析方法,基于Labview构建了信号处理虚拟实验平台,包含基本信号的产生、信号的运算、采样定理、图像处理、声音采集以及滤波器设计等相关实验,并以采样定理和DCT图像压缩为例,阐明了利用Labview实现信号处理的方法.     

1394总线多视觉传感器并行图像采集处理技术

文章在控制架构中,利用1394总线传输速度快的优点,把多传感器的控制信号网络与图像数据传输信号网络合而为一,简化了整个控制系统,并在DSP图像处理单元里采用了可编程的FLASH存储器。结果证明,该测量系统不仅能满足在线实时测量的要求,而且还具有很好的通用性,可满足不同被测对象的需要。     

面向视频处理的高效二维流存储系统

为了解决高度并行的视频处理中存储系统的瓶颈问题,设计了一种高效的基于流的二维存储系统.该系统完成了二维逻辑空间到物理上多路并行存储器模块的映射.在二维逻辑空间中的每一个数据阵列都可以根据给出的基地址、二维偏移量、长度、数据粒度来进行灵活的流访问.数据在物理存储器上进行了交织存放以支持行阵列和列阵列的同时访问.该交织算法在之前的交织算法基础上做了面向流访问的改进.实验结果表明,在实时视频处理中,所述的二维流存储系统可以减少平均约32.0%的存储器访问率,以及25.4%的实时处理所需要的时钟周期数.     

移动通信信号阵列处理的自由度分析

在无线移动通信中采用阵列处理技术已成为改善系统性能及增加系统容量的重要方法。文中分析了空域处理和空时处理在消除TDMA信号多径环境下码间干扰 (ISI)和共道干扰(ICI)的阵列自由度。计算机仿真结果说明了分析结论的正确性。