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相似文献
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1.
离子注入材料改性用强流金属离子源   总被引:3,自引:3,他引:3  
为满足离子注入材料改性研究和实际应用的需要。研制了一个金属蒸汽真空弧(简称MEVVA)离子源.这是一新型离子源种,它利用阴极和阳极间的真空弧放电原理由阴极表面直接产生高密度金属等离子体,经一多孔三电极系统引出得到强流金属离子束.该源脉冲工作方式,已引出Al,Ti,Fe,Cu,Mo和W等离子,脉冲离子束流强度为0.6~1.26A,Ti的平均束流强度已达10mA.引出束流大小与源的工作参数、引出结构和电压以及阴极材料有关。该源没有气体负载,工作真空度为3×10~(-4)Pa。  相似文献   

2.
本文着重讨论了我校所研制的永磁冷阴极电子振荡型离子源的结构、放电稳定性、离子的引出及寿命等问题。本离子源产生硼、磷离子,工作气压1~2×10~(-2)乇,放电电流0~50毫安连续可调,引出电压为10仟伏或20仟伏,离子流可达2毫安,离子流密流为每安培放电电流0.7安/厘米~2。  相似文献   

3.
我们研制了用于薄膜工艺的宽束离子源.该源能提供20~3000cV,束流强度最大达100mA 的宽离子束,可根据不同工艺要求,产生均匀束、会聚束及球状发散束等不同束形,并按不同的引出束能量,采用三栅、双栅或单栅引出系统.其最大气耗量为1.2Pa·m~3/s,放电室工作气压1.33×10~(-2)Pa(10~(-4)Torr 量级),可用 N_2、O_2、Ar 及 CH_4等工质工作.它已在离子束溅射镀膜、离子束直接淀积成膜及离子束辅助镀膜工艺得到了应用.证明其性能良好,稳定可靠.本文论述源的工作原理、结构、工作特性及多功能引出系统,并讨论了放电稳定性及薄膜工艺对离子源的要求.  相似文献   

4.
为了适应多种元素离子注入的需要,研制了一种多元素离子源。离子源的工作温度范围较宽,最高可以达到14O0℃,能够产生多种元素的离子,将蒸发炉和放电室结合在一起,使结构比较简单。现已产生了汞、铋、金三种重元素的离子,束流一般可达200μA,能量分散度在20~50ev范围内。当束流在50μA时,束的归一化亮度可达10~(11)A·m~(-2)·rad~(-2),在最佳情况下可达10~(12)A·?~(-2)·rad~(-2)。质谱分析表明,汞、铋、金三种离子含量都在90%以上。最高引出电压为30KV。  相似文献   

5.
为研究电感耦合式射频离子源性能受离子束流、功率强度、工质流量和栅间电压的影响,以束流直径11 cm射频离子源为对象,完成了射频离子源点火起弧关键物理参数的设计和选择,设计并搭建了电感耦合式射频离子源性能试验系统,通过试验研究了射频放电中离子束流、射频功率、工质流量、栅间电压之间的规律。结果表明:射频离子源试验系统设计合理,能够可靠稳定地工作,真空度低于1. 0×10~(-3)Pa的氩工质条件下离子束能量大范围独立可调,在100~1 500 eV范围引出80~460 mA的离子束流,当工质流量一定时,离子源离子束流随射频功率的增大以1 mA/W比率增加,射频功率一定时,离子源束流强度随工质流量增大,在20 sccm时,离子源束流强度至稳定值或者略微增加,合理控制离子源工作参数可以提高离子源工作性能和效率。  相似文献   

6.
我校近代物理系等离子体物理教研室从1980年夏开始筹建表面磁约束稳态装置,于今年六日建成。现在,该装置运行正常、性能稳定,已测出等离子体的基本参数与外加条件的依赖关系,并已安排八○级学生在该装置上做等离子体诊断实验。该装置容积为50升,本底真空度可达2×10~(-6)乇,充氩气压强可在10~(-3)~10~(-5)乇范围内进行控制,等离子体电子密度在10~8~10~(12)[厘米]~(-3),电子温度在0.5~8电子伏特范  相似文献   

7.
本工作通过对过去测定铝在硅中的固溶度的部分文章和数据较详细的分析,采用液相外延方法在温度区域700℃到1000℃之间,测得固溶度界于4×10~(18)~1.5×10~(19)atoms/cm~3,计算出相应的分凝系数,推得硅熔点1415℃的分凝系数为1.8×10~(-3),微分溶解热0.6eV。  相似文献   

8.
通过实验摸索了小型PIG型离子源的磁路和结构,对离子源的放电电流和尺寸关系找到了一些最佳值。利用强磁场和非均匀磁场提高了等离子体密度。在(?)16×10(毫米)的放电小室中(在气压<1.5×15~(-5)(?)条件下)获得了300微安以上的放电电流,解决了制造小直径中子管的一个难题。  相似文献   

9.
TC轴子研究     
本文建立了TC轴子的一般模型,给出了TC轴子的质量,衰变寿命和TC轴子与其它粒子的耦合形式。考虑到天体物理与宇宙学的观测事实,可将TC轴子的衰变常数限制在8×10~(11)eV相似文献   

10.
本文报导了一个强直流输出的双等离子体氢(氘)离子源.当引出电压为18kv 时,可输出100mA 的氢离子流.利用90°偏转磁分析器对引出束流的质量成分作了分析,质子比可达到64%.采用多缝探针法和离子束感光法测定了束流发射度和亮度.在输出流强为50mA,束能量为16kev 时,束流的归一化发射度(相空间面积×βΥ/π)和归一化亮度分别为0.48mm·mrad 和4.4×10~6A/cm~2·rad~2.在不同的工作参数下,测定了源的运行特性.  相似文献   

11.
熵理论研究的进展和意义   总被引:1,自引:0,他引:1  
  相似文献   

12.
本文从浆液输送时阻力与动力的匹配,泥浆灌注后在采空区中的分布以及浆材对泥浆分布的影响等方面对黄泥灌浆效率不高、防火效果不好进行了分析。得出要提高灌浆的效率必须有合理的动力与阻力匹配,要提高灌浆的效果,就必须在保证浆材质量的前提下,以合理的灌浆方式和合理的灌浆量来保证灌浆质量,从而达到灌浆应具有的效果。图3,表1,参1。  相似文献   

13.
本文通过对企业情报信息概念的确立,阐述了企业情报信息的流向和内容,以及在产生企业情报信息时的随机性和在市场经济中企业情报信息竞争性特有的形式和含义,提出了如何将在企业生产经营活动中产生的无序的情报信息有序化,和在获取企业情报信息激烈的竞争中及时掌握有用的企业情报信息。进而讨论了建立企业情报信息系统,全方位地搜集企业内,外部的情报信息,使企业情报信息为企业决策提供依据,在市场经济中发挥它的功效。  相似文献   

14.
本文研究弹塑性圆棒的颈缩,材料被认为是可压缩的。运用有限变形理论。获得了分岔荷载。  相似文献   

15.
根据体操技术动作的内在规律,编制相似技术动作教学程序,把要学习和掌握的动作技能置于教师的控制下,使教学过程的顺序性、经济性、实效性均达到最佳程度.  相似文献   

16.
西河位于南充市西郊,是嘉陵江的一条支流,近几年来,由于缺乏管理,污染极其严重。为综合治理西河,我们对河岸陆生维管植物及其生境进行了调查,并进而提出了对河岸治理的相应措施,供治理西河参考。  相似文献   

17.
本文阐明了在超晶格中电子透射共振的机理,并将它与晶格中电子共振散射作了详细的比较,其理论计算的结果对超晶格某些原子层和分子层以及极薄的半导体层结构的研究都有重要意义,并为设计一种新型的放大率很高的量子放大器——透射共振量子放大器提供了理论计算的依据.  相似文献   

18.
本文证明了下面两点:(1)设A 是n×n 矩阵,那么A 相似于(?)为若当块矩阵,它仅有一个特征值和一个线性无关的特征向量.(2)者|λI-A|=(λ-λ_1)~(r_1)-(λ-λ_2)~(r_2)…(λ-λ_3)~(r_3),其中λ_1,λ_2,…,λ_3两两不同,那么dimN(A-λI)~(r(?))=r_(?)(i=1,2,…,8)其中Ⅳ(A-λ_1I)~(r(?))={α|α∈U~n,(A-λI)~(r(?))·α=0}.U~n 是n 维列向量.  相似文献   

19.
本文研究脉冲星的周期变化与地壳运动的关系,指出:(1)由地震引起的板块运动和板内运动会影响观测到的脉冲星的脉冲周期的变率,特别是一些周期变率较小的脉冲星,这种影响将产生显著的观测效应;(2)分析现代脉冲星的观测资料,有助于研究板块结构,板块运动和地震预报.  相似文献   

20.
本文通过对元素周期系中,各元素的结构分析,很方便地找到了对元素的不规则性的解释。  相似文献   

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