基于电流体动力学的电驱动纳米模塑技术

目前,作为集成电路以及纳米加工主流工艺的光学光刻技术．由于其受到光学衍射极限的物理限制．在16nm线宽及其以下节点的结构制造中,其技术复杂性和设备制造成本大大增加。纳米压印作为一种高分辨率、高效率、低成本和操作过程简单的技术,引起了各国研究人员的广泛关注。然而纳米压印中不可避免引入的机械压力又会引发纳米结构几何变形、变尺寸结构填充不均匀等问题。本项目针对常规纳米压印存在的问题,基于介电聚合物的电流体动力学行为研究．提出了利用电场力替代机械力的电驱动模塑技术．在保持纳米压印突出优势的前提下．克服或避免了机械压力引发的技术性难题．成功实现了15nm节点结构的高保真复型以及深宽比8的大深宽比纳米结构成型。     

浅析负性显影技术

负性显影作为近年来出现的显影技术，应用于半导体器件制造的光刻工艺中，通过使用特殊的溶剂使得图像反转，能够形成高分辨率的图案，在纳米级器件的制造方面具有广阔的应用前景。     

突破30纳米

远紫外线光刻技术能让芯片制造商生产尺寸小于30纳米的电路,而这也让摩尔定律的延续成为可能对摩尔定律的担忧从上世纪90年代就开始了,连英特尔公司也感到了压力。该公司制造技术部副总裁兼制造技术工程部总经理JaiHakhu在日前举行的3iiSightSemiconductorEvent(由风险投资公司3i公司和无晶圆厂半导体协会共同发起的会议)上警告,“如果半导体设备供应商不能设计出创新的和可承受的解决方案,摩尔定律将会受到阻碍。”要让芯片中的晶体管数量每隔18个月翻一番,就必须实现在一个硅晶圆上加载更多更小的晶体管和更精细的微结构。芯片行业的风…     

一维ZnO纳米结构的表面发光机理及调控研究

ZnO是一种宽禁带半导体材料,在紫外及紫蓝光发光二极管(LED)、激光二极管(LD)等光电器件方面具有很大的潜在应用前景.近年来,纳米ZnO材料因其突出的光电性能、丰富的结构形态以及易于生长等特点,成为纳米发光材料与器件研究中新的热点.     

纳米制造基础研究的相关进展

纳米制造是多学科的新型交叉研究领域。对其基础研究的深入展开可为前沿制造技术的进步提供有力支撑。在过去的20多年里，基于纳米制造的探索已展示出宽广的发展前景，并将在多个行业为社会带来巨大的经济效益。本文在简要介绍纳米制造背景、意义及应用的同时，着重描述国内外在纳米制造基础领域的研究现状，以及天津大学微纳制造实验室（MNMT）近年来所取得的研究进展。并对纳米制造基础研究进行展望。     

北京大学科技园重点成果

北京大学信息科学技术学院量子电子学研究所，经过多年的努力创新，已经掌握制造现代工业核磁共振分析仪的关键技术，多项产品技术达到国际先进水平，并获得国家专利。该所自行研制的光电子技术相关产品，包括各种波段的高精密半导体激光器、宽带飞秒激光器、多功能光镊、小型核磁成像仪、各种精密锁相器与光电调制器、工业遥控与遥测设备等，已具备产业化条件，形成50～100台／年，产值2000万元的市场规模。     

纳米制造科学与技术中的基础问题研究进展

纳米制造是支撑纳米技术、信息技术和生物技术走向应用的基础．是制造业发展的方向。而纳米制造科学与技术中的基础问题．则是研究纳米制造的根本。本文在概述了纳米制造的基本概念之后,详细介绍了国内外纳米制造科学与技术中基础问题的研究进展．并在最后对于纳米制造科学与技术的未来研究进行了展望。     

纳米绿色印刷图案化技术研究进展

微纳制造技术是从纳米材料制备到器件应用的核心技术。面向微纳器件制造和系统集成,发展不同于传统微纳加工技术的低成本、高精度、绿色环保的纳米结构制造技术,是未来新型纳米结构器件的重要发展方向。绿色印刷技术作为增材制造方式,能耗少、材料普适性高,可望对新型纳米结构器件制造技术产生变革性影响。本文简要介绍了国家重点研发计划"绿色印刷制造技术与纳米结构器件系统集成应用"项目及其研究进展。     

“光刻机”的概念、技术及其在专利文献中的分布

光刻机技术是大规模集成电路制造领域中的核心技术。文章介绍了光刻机的概念、结构及其简要技术发展历程,并列举和解释了光刻机技术领域的重点技术术语,此外,针对光刻机技术的专利文献查新检索,总结了光刻机技术在专利文献分类中的分布情况。     

新技术让手机没电也能用

在需要发送一条重要的短信时,手机电池刚好没电,想必很多人都遇到过这种郁闷的事情。随着美国工程师研发出一项神奇的新技术,这种郁闷将成为过去。这项技术被称之为"环境背反射技术",利用电视和Wi-Fi信号让设备之间进行通讯同时还可将其作为能量源。环境背反射技术由华盛顿大学的研究人员研发。他们制造了无需电池的小型设备,所安装的天线能够探测、利用和反射可被其他类似设备获取的电视信号。通过发射现有信号进行信息交互,两台设备彼此间可以进行通讯。华盛顿大学计算机学与工程学助理教授希亚姆·     

三峡工程液压启闭机控制技术

三峡水利枢纽工程是世界顶级水利工程，其设备的功能、技术指标和可靠性要求极高，既要先进、又要高度可靠，系统还要有充分的开放性。三峡二期工程共64台大型液压启闭机，包括导流底孔6套22台、泄洪深孔6套23台、排漂孔2台套、排沙孔3台套、电站进水口快速门14台套，分布在近2公里的大坝涵洞中，安装分散、空间窄小、环境潮湿，既要能现地操作，还要能远程集中控制。鉴于以上特点，对控制系统设备的设计和制造提出了很高要求。     

波形控制能量负反馈激光焊接机技术及产业化

激光焊接技术在工业加工领域的应用前景日益广泛，技术日益成熟，已成为集光、机、电、计算机和材料等多个学科技术于一体的先进制造方法。材料和设备方面的进步使激光焊接成为可能，这早在欧洲已经得到了证明。激光焊接技术对传统工业的改造将发挥愈来愈显著的作用。     

基于第一原理的双势垒磁性隧道结中量子阱共振隧穿效应研究

理论和实验研究表明，单壁碳纳米管在1．5GPa压强下存在结构相变。研究人员推测，伴随这种结构相变，其电学性质也存在转变，由金属性转变为半导体性。中科院物理所吕力研究组与清华大学以及美国和澳大利亚合作者，测量了单壁碳纳米管束的电阻随压强、温度和磁场的依赖关系，发现随着压强增加，在1．5GPa附近碳纳米管束发生从金属到半导体的相变。     

文明的引擎复印机

原始的复印设备 复印是文明传播的引擎，它使人们改变了自己的想法。第一台真正意义上的复印机出现在1780年，由詹姆斯·瓦特设计制造，当然，人们熟悉这个名字因为他还是现代蒸汽机的发明者。     

砷化镓基量子级联激光器研究取得重要进展

量子级联激光器(QCL)是一种基于子带间电子跃迁的中红外波段单极激光光源,其工作原理与通常的半导体激光器截然不同,它利用垂直于纳米级厚度的半导体异质结薄层内由量子限制效应引起的分离电子态,在这些激发态之间产生粒子数反转。该激光器有源区是由耦合量子阱多级串接组成(通     

太空“千里眼”的神奇光学制造技术

如果能把一台望远镜放在人造卫星上发射到太空,就可能使人类的"千里眼"梦想变为现实,而大口径光学镜片的制造是其中的关键技术。本文简要介绍了相关国家973计划项目的主要研究内容,重点介绍了为获得纳米面形精度的大口径非球面镜而开发的具有新原理的新一代可控柔体加工技术,包括磁流变(MRF)和离子束(IBF)加工等可控柔体加工技术。     

纳米复合磁性材料的腐蚀规律与防护技术研究

纳米复合磁性材料是国际学术界的热点和前沿课题，是功能材料发展之方向，在电子、电工、国防、信息等领域有迫切需求，应用范围几乎覆盖所有高科技产业和国防工业，弄清纳米复合磁性材料的一些关键基础问题对发展我国高科技产业具有重大科学和应用意义。但是磁性材料在服役环境下的腐蚀是导致磁性衰减和消磁的最重要因素。本项目通过研究纳米复合磁性材料的高温氧化行为、腐蚀规律，以及高温使役条件下的防护涂层及其制备技术，为其提高它们的耐蚀性能、提高磁性材料部件的工作可信度，延长相关器件的使用寿命奠定基础。在国家重点基础研究发展计划（973）项目资助下，我们对NdFeB基磁体的常温电化学腐蚀与防护以及SmCo基磁体的高温氧化与防护卓有成效地开展了工作，现就后者的研究成果做简要介绍。     

纳米生物技术发展现状及展望

一、纳米生物技术发展现状 1.纳米生物分析与诊断技术 在生命科学研究领域,生物分析研究手段微型化、平行实验能力、灵敏度等一直有待于改进.采用普通荧光标记方法有精度和分辨率的限制,高通量生物分析体系的设计又受放大方法的速度和成本这一瓶颈制约.采用生物分子的纳米粒子(如量子点)标记的纳米生物分析技术平台则可以突破这些限制.量子点是胶状的纳米晶态半导体,由于其具有独特的发光性,已作为一种新的发光探针而备受关注.     

揭秘“精密机械之王”

大型光学系统及高端科学仪器对我国科学研究、国防安全、经济建设和社会民生等各领域的进步和发展具有极其重要的作用。其发展的重要趋势是:视场不断增大,分辨力不断提高,相应地要求光学元器件扩大口径和提高精度。而光栅是一类以机械刻划方式制造的具有宏观尺度的纳米精度周期性特种功能结构,是大型光学系统和科学仪器的核心光学元件,需要纳米级的加工精度和表面粗糙度,这不仅要求打破传统的光学精密机械制造原理及系统控制策略,实现纳米级的长行程超精密定位技术,还需要研究制造原理和质量控制的评价标准。传统的光栅制造技术及制造装备已经无法满足上述要求,严重制约了我国在这一领域的战略发展。因此,本文简要介绍了大面积光栅制造相关国家973计划项目的主要研究内容,重点介绍了为获得纳米刻线精度的大面积光栅而研制的具有新原理、新技术的大面积高精度光栅机械刻划系统。     

纳米

从尺寸大小来说,通常产生物理化学性质显著变化的细小微粒的尺寸在0.1微米以下(注1米=100厘米,1厘米=10000微米,1微米=1000纳米,1纳米=10埃)。即100纳米以下,因此定义:颗粒尺寸在1-100纳米的微粒称为超微粒材料,也是一种纳米材料。纳米金属材料是20世纪80年代中期研制成功的,后来相继问世的有纳米半导体薄膜,纳米陶瓷、纳米瓷性材料、纳米生物医学材料等。材料是一切事物的物质基础。从科学技术发展的历史看,一种崭新技术的实现,往往需要崭新材料的支持。如果