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目前,作为集成电路以及纳米加工主流工艺的光学光刻技术.由于其受到光学衍射极限的物理限制.在16nm线宽及其以下节点的结构制造中,其技术复杂性和设备制造成本大大增加。纳米压印作为一种高分辨率、高效率、低成本和操作过程简单的技术,引起了各国研究人员的广泛关注。然而纳米压印中不可避免引入的机械压力又会引发纳米结构几何变形、变尺寸结构填充不均匀等问题。本项目针对常规纳米压印存在的问题,基于介电聚合物的电流体动力学行为研究.提出了利用电场力替代机械力的电驱动模塑技术.在保持纳米压印突出优势的前提下.克服或避免了机械压力引发的技术性难题.成功实现了15nm节点结构的高保真复型以及深宽比8的大深宽比纳米结构成型。 相似文献
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WLD-4D型多道光电直读光谱仪是北京瑞利分析仪器有限公司在原有直读光谱仪基础上研制开发的新型多道直读光谱仪,是集光学、机械、电学、计算机、分析等技术领域为一体的大型科学仪器,广泛应用于冶金系统、各类机械制造、质检及科研机构等领域,是冶金炉前快速定量分析、金属材料质量监控的必备仪器。WLD-4D型多道光电直读光谱仪,是北京市工业促进单位2005年科技创新项目。 相似文献
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新型微结构光栅的基础研究 总被引:2,自引:0,他引:2
采用微电子工艺技术和衍射光学技术相结合 ,可以设计加工出新型的微结构光栅 ,实现以往传统光栅很难实现的新功能。本文报道了我们课题组在新型微结构光栅基础研究方面取得的最新研究成果。我们首次设计并加工出了 4种新型微结构光栅 :六角阵列泰伯效应光栅、色分离光栅、双层计算机全息图和圆环达曼光栅。这些新型微结构光栅对发展新型光电子器件有实际用途 相似文献
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针对国家重大光学工程等对大口径非球面光学零件的高精度加工迫切需求,在“十五”期间已取得的研究成果基础上,突破数字化高精度光学制造、新型磨削、新型抛光机理及方法、大口径光学非球面超精密设备研制、优化集成和加工工艺规范方面的关键技术和瓶颈问题,研究开发出具有国际先进水平和自主知识产权的大口径光学非球面加工机床和成套应用工艺,部分解决禁运和替代进口问题,提高我国在大口径非球面超精密加工领域的核心竞争力和整体水平。 相似文献
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纳米制造是支撑纳米技术、信息技术和生物技术走向应用的基础.是制造业发展的方向。而纳米制造科学与技术中的基础问题.则是研究纳米制造的根本。本文在概述了纳米制造的基本概念之后,详细介绍了国内外纳米制造科学与技术中基础问题的研究进展.并在最后对于纳米制造科学与技术的未来研究进行了展望。 相似文献
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本文主要介绍了晶圆加工中的几何参数的纳米精度在线测量的原理、方法和测量仪器研究。针对化学机械抛光( CMP )中晶圆表面的金属膜厚的高精度快速在线和离线检测技术的要求,通过数值模拟和理论分析,研究了涡流传感器的参数对其灵敏度的影响规律,得到了提高灵敏度的新方法;实验验证了一种减小提离高度对膜厚测量精度影响的测量方法的有效性,并设计开发了快速多频测试系统;设计了电涡流在线和离线检测系统,并成功应用于国家重大专项项目“超低下压力化学机械抛光装备样机”中,实现了用电涡流方法进行全自动、快速、多模式、大提离条件下的晶圆金属膜厚度纳米级分辨率在线测量和晶圆抛光后铜膜厚度离线全局测量。 相似文献
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大型重载多连杆压力机主要适用于薄板件拉伸、成形、弯曲、校正、冲裁等各种冷冲压工艺,是制造汽车覆盖件等的关键冲压设备,广泛应用于汽车、电器等工业部门及国防工业。经过多年技术引进和改进创新,我国大型机械压力机的产品品种和质量都取得了巨大进步,但与国际先进水平相比仍存在差距。结合我国锻压机床行业的实际需要,本课题开展大型重载多连杆压力机性能优化设计及其关键技术研究,建立大型重载多连杆压力机杆系性能分析和优化设计的技术与方法,开发大型重载多连杆压力机性能分析与优化设计软件,为我国企业自主开发大型重载多连杆压力机提供技术支撑。 相似文献
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《中国基础科学》2019,(2)
中子散射技术以其独特的研究优势成为前沿科学研究和新材料、新工艺研发等众多研究领域的有力工具,我国中子科学平台的建设与发展在推动国家科技原始创新方面具有不可替代的作用。中子关键部件研制、新技术新方法开发及重点应用领域关键问题等方面的重点攻关,将有力推动我国中子散射科学平台建设、发展和应用自主化进程。本研究拟开展的具体研究内容主要包括:(1)中子散射光学关键部件;(2)二维高分辨大面积GEM中子探测器;(3)中子自旋回波和全散射技术;和(4)先进工程材料中子无损测试分析。其中,中子光学、探测器等关键部件的成功国产化,将有力推动中子科学平台利用效能的大幅提升,中子自旋回波和全散射技术的成功应用将使我国现有测试方法在研究尺度和测试精度方面实现突破,而中子无损测试分析技术在高温合金、镁合金和不锈钢阀杆内部应力、织构和纳米析出相等方面的成功应用,将有力推动中子无损测试分析技术在我国航空航天、核工业等工程材料领域的推广与应用。 相似文献
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一台直径达2.4米的巨型天文望远镜日前运抵云南丽江的高美古天文台,这是我国目前最大的天文望远镜,预计到今年8月就可以投入观测使用。云南天文台台长李焱说,该望远镜是由英国TTL公司制造的,价值高达3000多万元,具有一流的光学质量,而且成像清晰,跟踪和指向精度都非常 相似文献
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