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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 531 毫秒
1.
目前,作为集成电路以及纳米加工主流工艺的光学光刻技术.由于其受到光学衍射极限的物理限制.在16nm线宽及其以下节点的结构制造中,其技术复杂性和设备制造成本大大增加。纳米压印作为一种高分辨率、高效率、低成本和操作过程简单的技术,引起了各国研究人员的广泛关注。然而纳米压印中不可避免引入的机械压力又会引发纳米结构几何变形、变尺寸结构填充不均匀等问题。本项目针对常规纳米压印存在的问题,基于介电聚合物的电流体动力学行为研究.提出了利用电场力替代机械力的电驱动模塑技术.在保持纳米压印突出优势的前提下.克服或避免了机械压力引发的技术性难题.成功实现了15nm节点结构的高保真复型以及深宽比8的大深宽比纳米结构成型。  相似文献   

2.
WLD-4D型多道光电直读光谱仪是北京瑞利分析仪器有限公司在原有直读光谱仪基础上研制开发的新型多道直读光谱仪,是集光学、机械、电学、计算机、分析等技术领域为一体的大型科学仪器,广泛应用于冶金系统、各类机械制造、质检及科研机构等领域,是冶金炉前快速定量分析、金属材料质量监控的必备仪器。WLD-4D型多道光电直读光谱仪,是北京市工业促进单位2005年科技创新项目。  相似文献   

3.
微纳制造技术是从纳米材料制备到器件应用的核心技术。面向微纳器件制造和系统集成,发展不同于传统微纳加工技术的低成本、高精度、绿色环保的纳米结构制造技术,是未来新型纳米结构器件的重要发展方向。绿色印刷技术作为增材制造方式,能耗少、材料普适性高,可望对新型纳米结构器件制造技术产生变革性影响。本文简要介绍了国家重点研发计划"绿色印刷制造技术与纳米结构器件系统集成应用"项目及其研究进展。  相似文献   

4.
如果能把一台望远镜放在人造卫星上发射到太空,就可能使人类的"千里眼"梦想变为现实,而大口径光学镜片的制造是其中的关键技术。本文简要介绍了相关国家973计划项目的主要研究内容,重点介绍了为获得纳米面形精度的大口径非球面镜而开发的具有新原理的新一代可控柔体加工技术,包括磁流变(MRF)和离子束(IBF)加工等可控柔体加工技术。  相似文献   

5.
新型微结构光栅的基础研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
采用微电子工艺技术和衍射光学技术相结合 ,可以设计加工出新型的微结构光栅 ,实现以往传统光栅很难实现的新功能。本文报道了我们课题组在新型微结构光栅基础研究方面取得的最新研究成果。我们首次设计并加工出了 4种新型微结构光栅 :六角阵列泰伯效应光栅、色分离光栅、双层计算机全息图和圆环达曼光栅。这些新型微结构光栅对发展新型光电子器件有实际用途  相似文献   

6.
针对国家重大光学工程等对大口径非球面光学零件的高精度加工迫切需求,在“十五”期间已取得的研究成果基础上,突破数字化高精度光学制造、新型磨削、新型抛光机理及方法、大口径光学非球面超精密设备研制、优化集成和加工工艺规范方面的关键技术和瓶颈问题,研究开发出具有国际先进水平和自主知识产权的大口径光学非球面加工机床和成套应用工艺,部分解决禁运和替代进口问题,提高我国在大口径非球面超精密加工领域的核心竞争力和整体水平。  相似文献   

7.
我国虽已成为世界制造大国,但还不是制造业强国,关键成套装备、科学仪器设备和关键材料仍主要依靠进口,产品附加值低,资源消耗大,国际竞争力弱.必须依靠科技创新,提高我国装备制造业整体水平,才能满足经济建设、国防安全和国际竞争的需要.  相似文献   

8.
本文分析了江苏省大型科学仪器共享服务平台建设的背景及运行现状,介绍了该省在仪器资源共享方面的具体做法及取得的成效,在对共享服务平台管理实践深入研究的基础上,提出了促进仪器资源共享的意见和建议。  相似文献   

9.
科学仪器设备在科学研究和经济社会发展中具有战略性地位,是抢占科技前沿的必备工具。当前,我国高端科学仪器设备发展相对落后,已成为严重制约自主创新能力进一步提升的重要影响因素之一。本研究分析了我国科学仪器设备发展中,在自主创新能力提升,技术创新体系、产业链体系、产业技术公共服务平台体系、政策支撑体系以及投融资体系等的构建存在的不足,并提出了有针对性的发展建议。  相似文献   

10.
纳米制造是支撑纳米技术、信息技术和生物技术走向应用的基础.是制造业发展的方向。而纳米制造科学与技术中的基础问题.则是研究纳米制造的根本。本文在概述了纳米制造的基本概念之后,详细介绍了国内外纳米制造科学与技术中基础问题的研究进展.并在最后对于纳米制造科学与技术的未来研究进行了展望。  相似文献   

11.
本文主要介绍了晶圆加工中的几何参数的纳米精度在线测量的原理、方法和测量仪器研究。针对化学机械抛光( CMP )中晶圆表面的金属膜厚的高精度快速在线和离线检测技术的要求,通过数值模拟和理论分析,研究了涡流传感器的参数对其灵敏度的影响规律,得到了提高灵敏度的新方法;实验验证了一种减小提离高度对膜厚测量精度影响的测量方法的有效性,并设计开发了快速多频测试系统;设计了电涡流在线和离线检测系统,并成功应用于国家重大专项项目“超低下压力化学机械抛光装备样机”中,实现了用电涡流方法进行全自动、快速、多模式、大提离条件下的晶圆金属膜厚度纳米级分辨率在线测量和晶圆抛光后铜膜厚度离线全局测量。  相似文献   

12.
大型重载多连杆压力机主要适用于薄板件拉伸、成形、弯曲、校正、冲裁等各种冷冲压工艺,是制造汽车覆盖件等的关键冲压设备,广泛应用于汽车、电器等工业部门及国防工业。经过多年技术引进和改进创新,我国大型机械压力机的产品品种和质量都取得了巨大进步,但与国际先进水平相比仍存在差距。结合我国锻压机床行业的实际需要,本课题开展大型重载多连杆压力机性能优化设计及其关键技术研究,建立大型重载多连杆压力机杆系性能分析和优化设计的技术与方法,开发大型重载多连杆压力机性能分析与优化设计软件,为我国企业自主开发大型重载多连杆压力机提供技术支撑。  相似文献   

13.
中子散射技术以其独特的研究优势成为前沿科学研究和新材料、新工艺研发等众多研究领域的有力工具,我国中子科学平台的建设与发展在推动国家科技原始创新方面具有不可替代的作用。中子关键部件研制、新技术新方法开发及重点应用领域关键问题等方面的重点攻关,将有力推动我国中子散射科学平台建设、发展和应用自主化进程。本研究拟开展的具体研究内容主要包括:(1)中子散射光学关键部件;(2)二维高分辨大面积GEM中子探测器;(3)中子自旋回波和全散射技术;和(4)先进工程材料中子无损测试分析。其中,中子光学、探测器等关键部件的成功国产化,将有力推动中子科学平台利用效能的大幅提升,中子自旋回波和全散射技术的成功应用将使我国现有测试方法在研究尺度和测试精度方面实现突破,而中子无损测试分析技术在高温合金、镁合金和不锈钢阀杆内部应力、织构和纳米析出相等方面的成功应用,将有力推动中子无损测试分析技术在我国航空航天、核工业等工程材料领域的推广与应用。  相似文献   

14.
1立项背景 精锻是通过塑性成形直接得到形状及尺寸精度接近或达到零件要求的一种先进制造技术,具有节材、节能,并提高产品性能的优点,美国和日本等都将其列为增强制造业竞争力的核心技术。我国是制造业大国,材料与能源消耗很大,因此研发精锻成形工艺及装备具有重要的意义。例如,汽车底盘上80%以上的零件均可采用精锻工艺生产,仅以汽车齿轮来看,由于结构复杂、精度要求高,采用切削工艺制造时费工费料且难以加工,  相似文献   

15.
大型科学仪器设备(以下简称大型仪器)是国家科技创新体系建设的重要基础和支撑条件.建立共享服务机制是提高大型仪器的综合使用效益、减少重复购置和浪费、实现科技资源优化配置的有效举措.沈阳地区大型仪器共享服务工作始于1997年,是原国家科委首批确立的八个试点省市之一.在推进本地区的大型仪器共享服务工作中,沈阳市科技局围绕国家科技基础条件平台建设工作的总体要求,积极学习借鉴兄弟省市好的经验和做法,紧密结合本市科技自主创新体系建设的具体任务,不断地进行探索和创新,并取得一些成效.  相似文献   

16.
一台直径达2.4米的巨型天文望远镜日前运抵云南丽江的高美古天文台,这是我国目前最大的天文望远镜,预计到今年8月就可以投入观测使用。云南天文台台长李焱说,该望远镜是由英国TTL公司制造的,价值高达3000多万元,具有一流的光学质量,而且成像清晰,跟踪和指向精度都非常  相似文献   

17.
《中国科技成果》2014,(13):77-78
近年来,我国高大综合性建筑与大型地下空间的火灾呈不断上升趋势,而且火灾规模越来越大,损失也越来越严重;其次,这些复杂建筑的大量出现也给我国的防火设计和相关防火规范的修订带来了新难题。如何防止火灾突破防火分区大面积蔓延,提高复杂建筑的防排烟效率,提升人员疏散逃生及灭火救援能力,确保钢结构耐火性能等已成为消防安全的突出问题。因此,开展高大综合性建筑与大型地下空间的火灾防控技术课题研究具有重要的现实意义。  相似文献   

18.
《中国科技成果》2011,(5):59-59
近年来,我国整体工业水平不断提高,特别是石油、石化、电力行业的快速发展,无缝钢管仍将具有稳定的需求;每年国家需要进口直径在720mm~920mm、强度≥440MPa的大直径、高精度无缝钢管12~14万吨.因此,开发研制大型管材矫直机是我国国民经济发展的需要.  相似文献   

19.
我国为数众多价格昂贵的科学仪器在实际使用中存在"三低"现象:管理水平低、共享程度低、使用效率低。建设仪器资源开放共享平台是解决"三低"问题的必要手段,仪器资源开放共享绩效评价在平台建设实践中是急需突破和解决的问题。本文介绍重庆大型科学仪器资源共享平台多年来通过探索在实践中创立的绩效评价机制的详细内容,重点分析绩效评价指标的设计,并以多年来运行情况为例,分析其实际效果,指出平台绩效评价机制的主要问题,并提出最终解决"三低"问题的努力方向。  相似文献   

20.
《中国科技成果》1999,(1):25-120000
一、主要技术内容 220KV级大型变压器是我国输变电网路中的主设备.过去由于我国能源建设比较落后,省内大型变压器需求量较少.随着我国电力工业的飞速发展,输变电工程的改造和新建项目的逐渐增多,对220KV级产品的需求量也越来越大.因此开发推广此项目产品对加速电力工业的发展,调整工厂产品结构,增加工厂经济效益,具有极其重要的意义.  相似文献   

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