静电卡盘与晶圆之间稀薄气体传热的影响因素

通过在晶圆背面填充稀薄气体的方式来对晶圆进行冷却或加热是等离子体刻蚀工艺中的一项关键技术。该文对晶圆与静电卡盘之间的稀薄气体传热问题进行了解析建模,给出了一个适用于整个气压范围的气体导热解析表达式,并用直接模拟Monte Carlo方法验证了其准确性。基于该解析模型,还对气体压强、狭缝距离、热适应系数和气体温度等影响传热系数的参数进行了研究,发现狭缝距离和气体温度对传热系数影响较弱,即静电卡盘表面形貌(如凸台高度等)和刻蚀温度对于静电卡盘与晶圆之间的传热效果影响不大;而气体压强和热适应系数都表现出对传热系数有明显的影响。因此,在实际的刻蚀工艺中,可以通过调节气体压强来改变静电卡盘与晶圆之间的传热效果。     

计算混气泥浆柱井底压力的新方法

本文在考虑气体在泥浆中滑脱以及气体重量的情况下,推导出了计算混气泥浆柱动态井底压力(BHP)的公式(备有软件),并与过去通用的不考虑气体滑脱和气体重量的计算方法进行了对比。由此得出结论:在2000～4000m井深条件下,气体滑脱对井底压力有明显影响,其绝对误差可达1.92MPa,相对误差可达5.8％。气体重量对井底压力也有影响,其绝对误差为0.77MPa,相对误差为2.3％。     

气体流量对石英增强型光声光谱检测精度的影响

石英增强型光声光谱(QEPAS)检测技术在痕量气体浓度检测方面具有灵敏度高、可靠性好、系统体积小等优势。以二氧化碳(CO2)为目标气体,深入研究不同气体流量对QEPAS检测系统精度的影响。通过Fluent ANSYS仿真软件对气体流场进行分析,完成对不同流量情况下气室内压强和流速的仿真。通过基于QEPAS的CO2气体检测系统的实验,研究了气室压强对气体浓度检测的影响。实验结果表明通过控制气体流量使得气室内的压强为1.08e-1~1.48e-1 Pa时,检测信号与气体浓度之间线性关系良好,相关系数R=0.99971,系统相对误差为0.5%,系统检测下限为72ppm。     

理想气体的压强与它的微观本质的教学讨论

文章从分子动理论的观点阐明理想气体性质和压强的本质。根据气体动理论的基本观点和理想气体的微观模型可以推导出理想气体的压强公式,从而可以说明理想气体压强的微观本质。压强是大量气体分子对容器器壁连续不断地碰撞结果产生的。     

关于节流膨胀和绝热膨胀的几个基本概念

一、引言利用气体的节流膨胀和绝热膨胀作为获得低温的手段在致冷技术中有广泛地应用。这两种过程的降温原理是一般热力学教程中的典型课题,但多数教材受篇幅限制,对这一问题的分析笔墨偏少。以气体的节流膨胀为例,推出节流膨胀前后两态焓相等后,即以(((?)T)/((?)P))_H来描述温度与压强的变化关系,以致使同学们产生种种疑问:过程是不可逆的,为什么用可逆过程的热力学关系计算?既然这过程同时又是绝热的,为什么不按可逆绝热过程处理?引     

囚禁有限unitary费米气体的压强与状态方程

目的研究非对称与球对称简谐势阱中有限unitary费米气体的压强与状态方程。方法运用分数不相容统计法。结果求出了非对称与球对称简谐势阱中有限unitary费米气体的压强张量以及压强与内能的关系,导出了球对称势阱中的状态方程并给出了低温强简并近似和高温弱简并近似。结论揭示了有限unitary费米气体系统压强的有限尺度效应,给出了有限尺度效应判据。指出了球对称简谐势阱中有限unitary费米气体的压强在空间3个方向上各向同性与非对称势阱中压强张量在空间3个方向各向异性的特征,阐明了非对称势阱中沿着势阱圆频率低的方向压强张量高,沿着势阱圆频率高的方向压强张量低的规律,揭示了压强张量在空间3个方向各向异性的物理本质。     

脉冲激光烧蚀铕粒子速度劈裂的蒙特卡罗模拟

采用蒙特卡罗方法,模拟了烧蚀铕粒子输运动力学过程,得到了铕粒子电流随时空演化曲线,模拟结果与实验数据符合较好.探讨了环境气体压强对速度劈裂的影响,研究结果表明,环境气体压强对速度劈裂有较明显的影响.当靶-衬间距为60 mm时,铕粒子速度劈裂的范围为10～220 Pa;当环境气体压强为120 Pa时,速度劈裂现象最明显,烧蚀粒子的质量对速度劈裂的压强范围起决定性作用.     

受空气浮力影响的称重实验

物体的质量和重量是否与运动速度有关?是否与带电状态有关?为什么陀螺旋转起来后"重量"会变轻?为什么电容器充电后"重量"会变轻?为什么气球充电后会向上飘?实验物体体积增加,导致空气的浮力增加,是产生称重变化的原因。物体的质量和重量与运动速度无关,与带电状态基本无关。     

气体内部互压强不同于气体对容器壁的压强

本文指出一种修正理想气体状态方程方法的不妥，并说明范德瓦尔斯气体内部任意两部分之间的相互作用压强（以下称互压强）与气体对容器壁的压强（以下称壁压强）的不同。     

He—Ne激光管着火电压与气体压强关系的研究

本文报告了He—Ne激光管的着火电压与管内不同气体组分的压强关系的实验研究,得出He、Ne气体分压强比p_(He)∶p_(Ne)=10∶1,7∶1、5∶1以及纯He、纯Ne的五条着火电压Vz∝气体压强p的特性曲线,并对这些曲线作了分析与讨论。     

当前国际形势的讨论问题

(1)如何理解今天的斗争形势有利于阿拉伯人民的争取民族独立?如何理解在东风压倒西风形势之下,世界将进入新的历史阶段?(2)如何理解黎巴嫩人民起义和伊拉克共和国成立的重大意义和影响?这是不是标志着阿拉伯人民的反对帝国主义斗争进入了新的阶段?(3)帝国主义为什么不可怕?帝国主义的弱点在哪     

矿井瓦斯气体的浮升与压强扩散

论述了存在于矿井空气中两种状态的瓦斯气体所具有的上升运动或趋势的作用因素。矿井空气中局部瓦斯或局部较高浓度瓦斯的气体对象，由于存在小于周围环境气体的密度差，会在浮力作用下浮升；矿井空气中的瓦斯气体分子在压强梯度的作用下产生压强扩散，通常由于空气重力产生方向向下的压强梯度，瓦斯气体分子具有上升的运动或趋势     

环形分布器内气体变质量流动及压强分布规律

利用激光多普勒测试技术等对环形分布器内气体变质量流动规律和压强分布进行了研究.环形流道内周向压强分布呈非单调变化,在距离气体进口30～60°处压强最低.环形通道内存在大量循环气流和强烈湍动,切向速度分量远大于径向速度分量,导致周向压强分布的非单调变化.     

大气压强与高度的精密公式

在许多热力学书上都有大气压与高度关系的玻尔兹曼公式,P=P_0e~((-mgz)/RT)式中P是高度为Z处的大气压强,P_o为海平面上的大气压强,μ为空气的摩尔质量,R为普适气体常数,T为气体的温度。但上式是在假定大气温度为常数的情况下推导出来的.而实际情况是大气的温度与高度有关,从表一可以看出,大气温度随高度增加而降低。因此,用玻尔兹曼公式计算出的压强与实测值比较,误差较大,例如在10Km处误差可达17％。     

光泵远红外激光工作气体压强的最佳值

本文研究光泵远红外激光器的最佳工作气体压强。采用3能级系统模型,求解量子系统的密度矩阵方程,再用迭代运算法计算远红外激光的输出功率密度。激光器的远红外输出功率密度是泵浦激光功率密度I_p,泵浦频偏x,远红外信号的频偏y,工作气体压强P的函数。改变工作气体压强的值,可求得I_s-P的关系曲线。理论求得的P的最佳值与实验结果很好相符。     

钾掺杂单壁碳纳米管吸附CO_2气体的Monte Carlo模拟研究

减少化工企业对大气层的二氧化碳(CO_2)排放量以避免温室效应仍然是当前环境保护的重要任务之一.为促进研发储存和分离CO_2的纳米材料,采用巨正则蒙特卡洛(Monte Carlo)方法模拟了温度为300K时一系列压强下CO_2气体在不同类型的钾掺杂单壁碳纳米管中的吸附情况.结果表明:碱金属钾的掺杂可以在一定条件下显著提高碳纳米管对CO_2气体的吸附能力.由等温吸附曲线和吸附热曲线可知,多数情况下钾原子的掺杂量越大、钾原子嵌入管壁越深,则吸附能力越强.然而必须注意,某一压强下钾掺杂碳纳米管对CO_2气体的吸附量不仅受纳米管和气体分子之间的作用力强度的影响,还取决于吸附空间的大小;特定压强下的吸附量是这两种因素综合作用的结果.     

实际气体压强的一种研究方法

考虑到实际气体分子之间的相互作用,利用正则分布,按照气体压强的统计解释,得到了实际气体的压强方程。     

工作压强及气体流量对陶瓷过滤器压差影响的研究

陶瓷过滤器是一种有效的高温气体净化装置,研究表明气体净化循环过程中的系统压力降是影响净化效率的关键因素。为了得到理想的净化效率,研究气体净化过程及其反冲过程中系统的压力降变化具有重要的意义。本文将通过实验对陶瓷过滤器的工作压强和气体流量对压降的影响进行讨论,初步得出压降随工作压强和气体流量的变化关系。     

高炉气流压强梯度场研究及其理论和实际意义

煤气流影响高炉炉料及渣铁运动的基本力学因素不是热风(煤气)压强的绝对值或总压差,而是压强梯度矢量场的性质。本文通过理论推导和实验论证压强梯度是作用于炉料及渣铁的一种体积力,并证明局部压强梯度超过炉料容积重量是炉内发生悬料的力学条件。对成渣带、风口循环区外以及渣铁滴落带的液相行为作了分析。此外,压强梯度是描述流速场和压强场,建立高炉散料流体力学模型的重要杠杆,而流体力学模型又是传热和传质模型的基础,从本研究得出指导生产的重要结论。     

基于石墨烯强化MQL的GH4169合金铣削表面质量研究

为了改善GH4169合金铣削加工的表面质量,基于微量润滑(MQL)技术,将石墨烯纳米粒子添加到植物油基切削液中以强化其冷却润滑性能.结合正交试验方案,采用极差分析和方差分析方法,研究了MQL参数(石墨烯质量分数、切削液流量、气体压强)对表面粗糙度的影响规律,并得到了最优的参数组合.研究结果表明,石墨烯质量分数对GH4169合金铣削加工表面粗糙度的影响是最显著的,其次是气体压强,最后是切削液流量;同时,最优的表面粗糙度为0.406μm,最优参数组合为石墨烯质量分数0.1%,切削液流量60mL/h,气体压强0.6MPa;适当的MQL参数可以显著地改善切削区的冷却润滑状态,从而改善表面质量,降低表面粗糙度.