| CVD金刚石膜的压阻及其温度特性 |
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| 引用本文： | 孔春阳,王万录,廖克俊,马勇,方亮.CVD金刚石膜的压阻及其温度特性[J].重庆师范大学学报(自然科学版),2003,20(4):5-9. |
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| 作者姓名： | 孔春阳 王万录 廖克俊 马勇 方亮 |
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| 作者单位： | 1. 重庆师范大学,物理系,重庆,400047
2. 重庆大学,理学院应用物理系,重庆,400044 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(69486001) |
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| 摘 要： | 在Fuchs-Sondheimer(F-S)薄膜理论的基础上，通过求解弛豫近似下的Bohzmann方程，求出了P-型金刚石膜的电导率。在价带分裂模型下得到了压阻的计算公式，计算了微应力作用下金刚石膜的压阻，压阻和应力的变化(△ε)有比较好的线性关系，张应力情况下压阻大于零，压应力情况下压阻小于零。从理论上给出了压阻和温度的关系，计算了压阻随温度的变化，压阻随着温度的上升而单调减小。
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| 关 键 词： | 金刚石薄膜 压阻 价带分裂 CVD 温度特性 Bohzmann方程 电导率 半导体材料 |
| 文章编号： | 1672-6693(2003)04-0005-05 |
| 修稿时间： | 2003年6月5日 |
The Piezoresistances and its Temperature Characteristic of CVD Diamond Films |
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| KONG Chun-yang,WANG Wan-lu,LIAO Ke-jun,MA Yong ,FANG Liang.The Piezoresistances and its Temperature Characteristic of CVD Diamond Films[J].Journal of Chongqing Normal University:Natural Science Edition,2003,20(4):5-9. |
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| Authors: | KONG Chun-yang WANG Wan-lu LIAO Ke-jun MA Yong FANG Liang |
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| Institution: | KONG Chun-yang~1,WANG Wan-lu~2,LIAO Ke-jun~2,MA Yong ~1,FANG Liang~2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | diamond films piezoresistance valence band split-off CVD |
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