| 激光CVD制备a-Si∶H/a-SiC∶H多层非晶薄膜的方法及其光学特性研究 |
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| 引用本文： | 吴鼎祥. 激光CVD制备a-Si∶H/a-SiC∶H多层非晶薄膜的方法及其光学特性研究[J]. 应用科学学报, 1993, 0(2) |
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| 作者姓名： | 吴鼎祥 |
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| 作者单位： | 上海科学技术大学 |
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| 摘 要： | 介绍利用激光的光化学反应来分解气体制备α-Si:H/α-SiC:H多层非晶薄膜的方法,并对应用XPS等手段测得的这种非晶薄膜的光学特性进行了讨论.
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| 关 键 词： | 激光CVD 多层非晶膜 X线光电子分光法 光化学反应 |
A METHOD TO FORM a-Si:H/a-SiC:H MULTILAYER AMORPHOUS FILM WITH LASER CVD AND THE RESEARCH OF ITS OPTICAL CHAR ACTERISTICS |
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| WU DINGXIANG. A METHOD TO FORM a-Si:H/a-SiC:H MULTILAYER AMORPHOUS FILM WITH LASER CVD AND THE RESEARCH OF ITS OPTICAL CHAR ACTERISTICS[J]. Journal of Applied Sciences, 1993, 0(2) |
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| Authors: | WU DINGXIANG |
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| Affiliation: | Shanghai University of Science and Technology |
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| Keywords: | laser chemical vapor deposition multilayer amorphous film X-ray photoelectron spectroacopy photochemical reaction |
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