| 椭偏法研究ZrO2薄膜的宽光谱特性 |
| |
| 引用本文： | 唐帆斌,肖峻,马孜.椭偏法研究ZrO2薄膜的宽光谱特性[J].西南民族学院学报(自然科学版),2015(2):192-196. |
| |
| 作者姓名： | 唐帆斌 肖峻 马孜 |
| |
| 作者单位： | 西南民族大学电气信息工程学院;西南技术物理研究所 |
| |
| 基金项目： | 西南民族大学研究生“创新型科研项目”(NO.CX2014SP268) |
| |
| 摘 要： | 为了获得ZrO2薄膜的光学常数,采用了德国SENTECH生产的SE850宽光谱反射式光谱型椭偏仪,测量和分析了用光控自动真空镀膜机沉积在K9玻璃基底上的两个单层ZrO2薄膜样品,得到了ZrO2薄膜在380nm"2300nm宽光谱上的光学常数曲线和薄膜厚度.结果表明:样品1采用Cauchy模型和Tauc-Lorentz模型得到的厚度和光学常数结果一致;对样品2把单层ZrO2薄膜分成三层得到的均方差(MSE)比没有分层的均方差少0.381,分层得到的ZrO2薄膜的厚度的测量值与TFCalc软件的计算值非常接近,同时得到薄膜的折射率曲线.测量结果对ZrO2薄膜的薄膜设计和多层膜的制备有一定参考价值.
|
| 关 键 词： | ZrO2薄膜 椭偏仪 薄膜厚度 光学常数 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
|
