半导体芯片工业中仿真模拟计算软件的应用

一种重要的计算机仿真技术──有限元数值模拟方法──在半导体芯片工 艺过程中的具体应用，及在计算机辅助设计与制造（ＣＡＤ＆ＣＡＭ）领域是很重要 的，它还可以完成人力无法承担的高温、低温等恶劣环境下的测试、预报、勘查等 工作。文中列举的半导体芯片在一系列环境工况条件变化过程中的温度场数值模拟 结果，保证半导体芯片自始至终温差在量级１０－２－１０－１（℃）之间。