|
|||||
|
|
| 矩形反应器的速度分布和质量输运 | |
| 引用本文： | 金希卓,刘明登,耿焕珍.矩形反应器的速度分布和质量输运[J].吉林大学学报(理学版),1985(2). |
| 作者姓名： | 金希卓 刘明登 耿焕珍 |
| 作者单位： | 吉林大学 (金希卓，刘明登)，北京东光电工厂(耿焕珍) |
| 摘 要： | 本文将Andrew对水平基座的矩形反应器的速度分布和质量输运的分析推广到有小角度的倾斜基座反应器上,计算了不同倾角时各截面的速度分布,分析了外延层厚度均匀性、基座宽度利用率与反应器几何参数之间的关系。最后通过引入质量输运系数校正因子,计算了倾斜基座上纵向生长速率,分析和计算结果与生产中的测试结果基本吻合。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |