| 硼碳氮薄膜的制备及其光透过性质研究 |
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| 引用本文： | 王玉新,郑亚茹,冯克成. 硼碳氮薄膜的制备及其光透过性质研究[J]. 辽宁师范大学学报(自然科学版), 2007, 30(3): 304-306 |
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| 作者姓名： | 王玉新 郑亚茹 冯克成 |
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| 作者单位： | 辽宁师范大学,物理与电子技术学院,辽宁,大连,116029;长春理工大学,理学院,吉林,长春,130022 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（59831340） |
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| 摘 要： | 利用射频磁控溅射方法以不同的氮气分压比（1/10-2/3）在玻璃衬底上制备出一组硼碳氮薄膜.傅里叶变换红外光谱测量发现样品的组成原子之间均实现了原子级化合.氮气分压比对薄膜的组分和透过率有很大影响,其通过改变薄膜组分而影响透过率,并且碳原子数小的样品具有较高的透过率.
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| 关 键 词： | 射频磁控溅射 硼碳氮薄膜 傅里叶变换红外光谱 透过率 |
| 文章编号： | 1000-1735（2007）03-0304-03 |
| 修稿时间： | 2006-11-23 |
Preparation and transmission properties of boron carbon nitride thin films |
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| WANG Yu-xin,ZHENG Ya-ru,FENG Ke-cheng. Preparation and transmission properties of boron carbon nitride thin films[J]. Journal of Liaoning Normal University(Natural Science Edition), 2007, 30(3): 304-306 |
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| Authors: | WANG Yu-xin ZHENG Ya-ru FENG Ke-cheng |
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| Affiliation: | 1. School of Physics and Electronic Technology, Liaoning Normal University, Dalian 116029, China; 2. College of Science, Changchun University of Science and Technology, Changchun 130022, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | RF magnetron sputtering BCN thin films FTIR transmittance |
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