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| 在硅的无坩堝区域提純过程中关于利用湿氢除硼的几个問题 | |
| 引用本文： | 郭维廉,郑云光,何世存,邵景倫.在硅的无坩堝区域提純过程中关于利用湿氢除硼的几个問题[J].天津大学学报(自然科学与工程技术版),1964(2). |
| 作者姓名： | 郭维廉 郑云光 何世存 邵景倫 |
| 作者单位： | 天津大学无线电材料与元件教研室，天津大学无线电材料与元件教研室，天津大学，天津大学 63年无綫电材料与元件专业毕业生，63年无綫电材料与元件专业毕业生 |
| 摘 要： | 本文讨论了在湿氢条件下,进行硅的无坩堝区域提纯时,所遇到的几个问题。主要包括:氢气实际露点和氢气流量的关系;控制湿氢中水汽量的方法;最佳水汽量的选择和最佳湿氢提纯效率等问题。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |