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| EFFECTSOFVARIOUSTEMPERATURESOFSUBSTRATESANDANNEALINGSONTHEOPTICALANDELECTRICALPROPERTIESOFNON－STOICH | |
| 摘 要： | 讨论了用ｅ型电子枪热蒸法制备的非化学计量的ＺｎＯ薄膜的光电性能。采用了ＸＰＳ等方法，实验结果表明，对于不同的基底温度及掺杂浓度，ＺｎＯ薄膜Ｏ／Ｚｎ比不同，光电性能也因此而异，本研究还对最佳成膜工艺进行了探讨。 |
| 关 键 词： | 基底和退火温度，非化学计量薄膜，e型抢热蒸法 |
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