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| YWD—1A型扫描电子显微镜的背散射电子成象 | |
| 作者姓名： | 陈尔纲 木崇俊 |
| 摘 要： | 现在的扫描电镜几乎毫无另外地有背散射电子成象系统。这是由于在扫描电镜里,背散射电子象比二次电子象虽然在信号强度、分辨率等方面赶不上二次电子成象,但是背散射电子象具有一些二次电子象所比不上的优点,如能观察高蒸汽压样品,原子序数Z的反差较高,在正常工作电压下信噪比较高,消除了电荷积累造成的假象等等。 背散射电子探测方式可以是多种多样的。可以是与二次电子的探测共用一个Everhart探测系统;可以是用独立的Everhart系统专门探测背散射电子,把其放在适当的位置,以图达到最好的效果;可以是几个Everhart探测系统放置在样品附近的不同位置,以期从不同的角度探测需要的背散射电子;可以是用一可塑性光导管代替Everhart系统中的玻璃光 |
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