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| 溅射氩气压强对AZO薄膜光电性能的影响 | |
| 引用本文： | 王坤,傅刚,刘志宇.溅射氩气压强对AZO薄膜光电性能的影响[J].科技咨询导报,2011(6):42-43. |
| 作者姓名： | 王坤 傅刚 刘志宇 |
| 作者单位： | 广州大学物理与电子工程学院,广州,510006 |
| 摘 要： | 采用磁控溅射方法在玻璃村底上制备出了Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,研究了溅射过程中不同置气压强对薄膜光学、电学和微结构等方面性能的影响.XRD测试结果表明,所制备的薄膜均具有呈c轴择优取向的纤锌矿结构.当氩气压强为0.3Pa时AZO薄膜的电阻率降至2.77×10-3Ωcm,可见光平均透过率为93%. |
| 关 键 词： | AZO薄膜 溅射 氩气压强 电阻率 透过率 |
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