| 测量微球覆层厚度的X射线衍射法 |
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| 作者姓名： | 周上祺 石泉 任勤 彭倩 应诗浩 李聪 |
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| 作者单位： | 周上祺,石泉,任勤,ZHOU Shang,SHI Quan,REN Qin(重庆大学,材料科学与工程学院,重庆,400030);彭倩,应诗浩,李聪,PENG Qian,YING Shi-hao,LI Cong(中国核动力研究设计院,核燃料及材料国家级重点实验室,四川,成都,610041)
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| 基金项目： | 核燃料及材料国家重点实验室资助项目 |
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| 摘 要： | 对采用X射线衍射测量微球覆层厚度的方法进行研究,首先在建立微球X射线衍射数学模型的基础上,利用1组已知厚度和X射线衍射线积分强度的标样,用计算机模拟求解的方法,得到微球衍射线积分强度和覆层厚度的关系.然后,在相同条件下进行待测试样的X射线衍射实验,将其衍射线积分强度代入求解模型得到的结果中就能得到待测试样的覆层厚度.实验结果表明,X射线衍射法是可行的,具有快速、方便、非破坏、不接触等特点.
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| 关 键 词： | 微球 厚度测量 X射线衍射法 计算机模拟 |
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