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AIN/128°Y-X LiNbO_3层结构的声表面波特性研究
作者姓名:陈岗
作者单位:湖南师范大学职业技术学院
摘    要:本文对A1N/128°Y-X LiNbO_3层结构的声表面波特性进行了研究。得到此层结构在较小的A1N膜厚时,不但具有延时温度系数(TCD)为零的特性;而且,在零TCD时,有高的机电耦合系数(k)及良好的频响特性。

关 键 词:声表面波  层结构  延时温度系数  机电耦合系数  频响特性  叉指换能器  劲化
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