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杂志ISSN号
AIN/128°Y-X LiNbO_3层结构的声表面波特性研究
作者姓名:
陈岗
作者单位:
湖南师范大学职业技术学院
摘 要:
本文对A1N/128°Y-X LiNbO_3层结构的声表面波特性进行了研究。得到此层结构在较小的A1N膜厚时,不但具有延时温度系数(TCD)为零的特性;而且,在零TCD时,有高的机电耦合系数(k)及良好的频响特性。
关 键 词:
声表面波
层结构
延时温度系数
机电耦合系数
频响特性
叉指换能器
劲化
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