| 气动膜片式多材料微液滴按需喷射技术研究 |
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| 作者姓名： | 谢丹 张鸿海 舒霞云 肖峻峰 曹澍 |
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| 作者单位： | [1]华中科技大学机械科学与工程学院微系统中心,武汉430074 [2]武汉光电国家实验室微光机电系统研究部,武汉430074 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（批准号：50775087）资助项目 |
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| 摘 要： | 微滴喷射是通过产生微米级的液滴实现微量流体精确分配的技术之一,是一种不同于传统减法制造的非接触式、数据驱动的加法式制造技术,代表了现代制造工艺新的发展方向.本文提出了可用于多种材料的气动膜片式按需喷射技术并构建了用于在线观测并分析液滴形成过程的基于延时触发的图像在线采集系统.利用该装置,进行了微液滴喷射的一致性分析,研究了设备结构参数及控制参数与液滴大小及喷射速度的关系,并分析了粘度及表面张力对流体喷射过程的影响.此外,制作了直径约为160.5μm的Sn63Pb37焊球和与基底接触面直径约为346.94μm的光固化胶胶滴阵列图型.实验表明,该气动膜片式按需喷射系统结构简单、可靠性好、耐受高温,可用于包括聚合物、低熔点胶材、高熔点金属的多材料微液滴喷射,在微电子和微系统封装、三维打印、有机半导体器件制作以及生命科学与化学分析等制造领域具有较大的发展潜力.
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| 关 键 词： | 微液滴 按需喷射 气动膜片式 多材料 |
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