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| 用于微电子工业的激光束技术 | |
| 引用本文： | D.R.Whitehouse ,R.W.Ilgenfritz ,胡瑞明.用于微电子工业的激光束技术[J].华中科技大学学报(自然科学版),1972(2). |
| 作者姓名： | D.R.Whitehouse R.W.Ilgenfritz 胡瑞明 |
| 作者单位： | 43科研组 |
| 摘 要： | 目前,实用而可靠的激光系统已可用于微电子工业。本文主要描述激光束与物质的相互作用,激光器的重要特性,以及掺钕钇铝石榴石(Nd:YAG)和二氧化碳(Co_2)激光器的重要特性数据,上述两种激光器已经证明是工业中的两名干将。然后指出焊接,钻孔和划片等工作需要多大的能量和(?)冲宽度,且概要地说明物质加工的能量学。当微电子工业和激光工业成熟时,这些和其他方面的新的应用,肯定会利用激光束加工的。 |
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