非晶态GeSb_2Te_4薄膜在热退火过程中的FCC亚稳晶相和六方稳定晶相 |
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引用本文: | 薛松生.非晶态GeSb_2Te_4薄膜在热退火过程中的FCC亚稳晶相和六方稳定晶相[J].科学通报,1992,37(12):1075-1075. |
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作者姓名: | 薛松生 |
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作者单位: | 中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所 上海 201800,上海 201800,上海 201800 |
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摘 要: | 一、引言 自1970年,Ovshinsky首次报道利用硫系合金薄膜的可逆结构相变来进行光学数据存贮以来,Te基合金由于具有大的光吸收、低的热导率和适当的晶化特性而得到了广泛的研究,如TeGeSbS,TeSeGa,TeGeSnAu,TeGe,GeSbTe等,其中以GeSb_2Te_4化合物半导体材料最具有吸引力。Yamada报道了GeSb_2Te_4材料的光记录特性,可用50(ns)激光脉
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关 键 词: | Gesb_2Te_4相交记录介质 FCC亚稳相六方相 非晶态真空热退火 |
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