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| SOI技术的现状、趋势和挑战 | |
| 引用本文： | 郝好山,张献图.SOI技术的现状、趋势和挑战[J].河南教育学院学报(自然科学版),2000,9(2):25-27. |
| 作者姓名： | 郝好山 张献图 |
| 摘 要： | 本文通过讨论SOI芯片的制作、SOI电路的特性、典型SOI器件的结构和性能阐述了SOI技术的现状，同时介绍了与SOI技术未来有关的一些关键问题．本文还强调了为了在商业领域与体硅材料竞争SOI材料面临的挑战。 |
| 关 键 词： | SOI技术 芯片 电路 绝缘体硅 介电质 |
Actuality Current and Challenge of SOI Technology |
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