| 基于In2O3膜HSGFET型功函数O3传感器的研究 |
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| 引用本文： | 牛文成,俞梅,周雅光,张福海,李华伟,贾云芳,那兴波,罗伟栋. 基于In2O3膜HSGFET型功函数O3传感器的研究[J]. 南开大学学报(自然科学版), 2002, 35(2): 19-22 |
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| 作者姓名： | 牛文成 俞梅 周雅光 张福海 李华伟 贾云芳 那兴波 罗伟栋 |
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| 作者单位： | 南开大学微电子科学系，南开大学微电子科学系，南开大学微电子科学系，南开大学微电子科学系，南开大学微电子科学系，南开大学微电子科学系，南开大学微电子科学系，南开大学微电子科学系 天津，300071，天津，300071，天津，300071，天津，300071，天津，300071，天津，300071，天 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 ( 6 9876 0 2 3)，天津市自然科学重点基金 ( 99380 0 6 1 1 ) |
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| 摘 要： | 本文以In2O3及其混合物为敏感材料，采用悬浮栅结构和功函数方法，研究出可在室温下工作的HSGFET型功函数O3传感器，并给出传感器对O3响应曲线以及实验结果的理论分析等。
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| 关 键 词： | In2O3膜 HSGFET型 功函数 O3传感器 |
| 文章编号： | 0465-7942(2002)02-0019-04 |
| 修稿时间： | 2001-05-24 |
HSGFET WORK FUNCTION OZONE SENSORS BASED ON In2O3 LAYERS |
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| NIU Wencheng,YU Mei,ZHOU Yaguang,ZHANG Fuhai,LI Huawei,JIA Yunfang,NA Xingbo,LUO Weidong. HSGFET WORK FUNCTION OZONE SENSORS BASED ON In2O3 LAYERS[J]. Acta Scientiarum Naturalium University Nankaiensis, 2002, 35(2): 19-22 |
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| Authors: | NIU Wencheng YU Mei ZHOU Yaguang ZHANG Fuhai LI Huawei JIA Yunfang NA Xingbo LUO Weidong |
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| Abstract: | HSGFET work function ozone sensors based on In 2O 3 sensitive layers operating at room temperature are studied. The sensor characteristics sensing to ozone are given and experiment results are also discussed. |
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| Keywords: | indium oxide leyers hybrid suspended-gate field-effect transistor(HSGFET) work function ozone sensors |
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