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大气压微波等离子体光谱特性
引用本文:解宏端,孙冰,朱小梅,刘永军. 大气压微波等离子体光谱特性[J]. 大连海事大学学报(自然科学版), 2008, 34(4): 91-94
作者姓名:解宏端  孙冰  朱小梅  刘永军
作者单位:大连海事大学环境科学与工程学院,辽宁大连116026
基金项目:国家自然科学基金  
摘    要:为研究气体组分及微波功率对等离子体特性的影响,测量了大气压下混合气体的微波等离子体光谱强度,分析了不同气体配比和微波功率下等离子体中激发态氧原子发射光谱的变化规律.实验结果表明:随着混入氧气量的增加,等离子体中激发态氧原子数量先增加后减小,在氩气流量为4 L/min,微波输入功率为400 W,氧气流量为40 cm3/min时,激发态氧原子数量达到最大;微波功率的增加首先导致等离子体中的激发态粒子数量增加,进而导致电离态粒子数量增加.

关 键 词:微波等离子体  光谱强度  激发态粒子

Spectroscopic characterization of microwave plasma under atmospheric pressure
XIE Hong-duan,SUN Bing,ZHU Xiao-mei,LIU Yong-jun. Spectroscopic characterization of microwave plasma under atmospheric pressure[J]. Journal of Dalian Maritime University, 2008, 34(4): 91-94
Authors:XIE Hong-duan  SUN Bing  ZHU Xiao-mei  LIU Yong-jun
Abstract:
Keywords:
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