| 微驱动器及其驱动原理 |
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| 引用本文： | 胡敏,刘莹,周新,陈兵芽,刘晓阳.微驱动器及其驱动原理[J].江西科学,2006,24(2):143-146,152. |
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| 作者姓名： | 胡敏 刘莹 周新 陈兵芽 刘晓阳 |
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| 作者单位： | 1. 南昌大学机电工程学院,江西,南昌,330029
2. 南昌大学,江西,南昌,330029 |
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| 基金项目： | 中国科学院资助项目;江西省教育厅科研项目 |
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| 摘 要： | 微机电系统(MEMS)是20世纪80年代在微电子技术的基础上兴起的一门应用技术。其中,微驱动器是微机电系统的重要组成部分。主要介绍了电磁驱动、静电驱动、压电驱动、形状记忆合金(SMA)驱动及热驱动等,介绍了它们各自的优缺点及其应用,对其应用前景进行了简要分析。
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| 关 键 词： | 微机械 微驱动器 驱动方式 驱动原理 |
| 文章编号： | 1001-3679（2006）02-0143-05 |
| 收稿时间： | 2005-07-07 |
| 修稿时间： | 2005-07-072006-02-22 |
Microactuators and Their Application |
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| HU Min,LIU Ying,ZHOU Xin,CHEN Bing-ya,LIU Xiao-yang.Microactuators and Their Application[J].Jiangxi Science,2006,24(2):143-146,152. |
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| Authors: | HU Min LIU Ying ZHOU Xin CHEN Bing-ya LIU Xiao-yang |
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| Institution: | 1. School of Mechanical and Electrical Engineering, Nanchang University ,Jiangxi Nanchang 330029 PRC; 2. Nanchang University ,Jiangxi Nanchang 330029 PRC |
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| Abstract: | The Micro Electro Mechanical Systems(MEMS) is an application technique foundation based on the micro-electronics technical foundation in 1980's.Among them,the microactuators are the important part of the MEMS.The paper introduces many kinds of actuating ways including electromagnetic actuator,static electric actuator,piezoelectric actuator,the SAM actuator and heats actuator.What's more,the paper introduces the advantage,weaknesses and special applications of these actuators.And at last,analyses the applications of the microactuators. |
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| Keywords: | Micromachine Microactuators Actuating ways Actuating principle |
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