| 电子工业的静电防护 |
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| 引用本文： | 葛自良,刘海兰,马宁生. 电子工业的静电防护[J]. 自然杂志, 2002, 24(3): 157-161 |
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| 作者姓名： | 葛自良 刘海兰 马宁生 |
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| 作者单位： | 同济大学物理系 |
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| 摘 要： | 随着电子工业的飞速发展，静电在电子产品的生产和使用中的危害日趋严重，造成巨大的经济损失，美国电子工业部门每年因静电造成的损失高达100亿美元，英国为35亿英磅，日本70％的半导体器件损坏是由静电引起的。随着电子产品的微细化，高度集成化发展，电子器件的静电敏感度阈值趋于低下，电子工业生产过程的静电防护更凸现其迫切性。
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| 关 键 词： | 电子工业 静电防护 静电危害 静电放电 电荷积聚 |
Electrostatic Discharge Protection for Electronic Industry |
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| Ge Zi-liang,Liu Hai-lan,Ma Ning-sheng. Electrostatic Discharge Protection for Electronic Industry[J]. Chinese Journal of Nature, 2002, 24(3): 157-161 |
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| Authors: | Ge Zi-liang Liu Hai-lan Ma Ning-sheng |
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