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| 磁控溅射CNx薄膜的结构与硬度关系研究 | |
| 作者姓名： | 郑伟涛 李海波 王煜明 J.E.Sundgren |
| 作者单位： | 吉林大学材料科学系!长春130023，吉林大学材料科学系!长春130023，吉林大学材料科学系!长春130023，DepartmentofPhysics，LinkopingUniversity!S-58183LinkopingSweden |
| 基金项目： | 吉林省科学与技术发展计划项目基金!(批准号 :980 544 )的部分资助 |
| 摘 要： | 对磁控溅射生长在单晶Si(001)衬底上的CN |
| 关 键 词： | 硬度 显微结构 磁控溅射 薄膜 氮化碳 |
| 收稿时间： | 1998-08-14 |
| 修稿时间： | 1998-10-28 |
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