| 强流离子束辐照加热过程的数值计算 |
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| 引用本文： | 田人和.强流离子束辐照加热过程的数值计算[J].北京师范大学学报(自然科学版),1992,28(1):49-54. |
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| 作者姓名： | 田人和 |
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| 作者单位： | 北京师范大学低能核物理研究所，北京师范大学低能核物理研究所，北京师范大学低能核物理研究所，北京师范大学低能核物理研究所，北京师范大学低能核物理研究所 100875 北京市新外大街，100875 北京市新外大街，100875 北京市新外大街，100875 北京市新外大街，100875 北京市新外大街 |
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| 摘 要： | 考虑瞬态的热传导过程,用有限差分方法计算了强流恒定离子束辐照过程的温度效应.由温升曲线的计算可知,对中等以上的注量率(>10~(13)cm~(-2)s~(-1))来说,快速注入过程都将是非稳态的,由此可知对强流离子束辐照过程进行瞬态热传导分析是必要的.若注量固定,晶片表面温度与离子能量的关系在低能部分(<100keV)很平缓,在高能部分很陡峭,在大注量注入情况下,降低靶座温度以抑制晶片表面温升是可行的方法之一.
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| 关 键 词： | 离子注入 离子束辐照 加热 |
A NUMERICAL ANALYSIS OF HEATING PROCESS OF A HIGH CURRENT ION BEAM IRRADIATION |
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| Tian Renhe Gu Yongti He Kaifen Lu Wuxing Zhang Huixing Institute of Low Energy Nuclear Physics,Beijing Normal University,Beijing,PRC.A NUMERICAL ANALYSIS OF HEATING PROCESS OF A HIGH CURRENT ION BEAM IRRADIATION[J].Journal of Beijing Normal University(Natural Science),1992,28(1):49-54. |
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| Authors: | Tian Renhe Gu Yongti He Kaifen Lu Wuxing Zhang Huixing Institute of Low Energy Nuclear Physics Beijing Normal University Beijing PRC |
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| Institution: | Tian Renhe Gu Yongti He Kaifen Lu Wuxing Zhang Huixing Institute of Low Energy Nuclear Physics,Beijing Normal University,100875,Beijing,PRC |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ion implantation non-linear thermoconduction equation numerical analysis |
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